【正文】 AY DATA分析 Gage RR %ContributionSource VarComp (of VarComp)Total Gage RR Repeatability Reproducibility 6 Op 6 Op*6 Part PartToPart Total Variation Study Var %Study Var %ToleranceSource StdDev (SD) (6SD) (%SV) (SV/Toler)Total Gage RR Repeatability Reproducibility 6 Op 6 Op*6 Part PartToPart Total Variation Number of Distinct Categories = 5量測系統(tǒng)對製程能力的總變異在 2～ 8% 間判定可接受量測系統(tǒng)對產(chǎn)品 規(guī)格的總變異在10～ 30% 內(nèi)判定可接受量具的鑑別分級能力 =5判定 OK68MSA FOR XRAY ANOVA分析三人三次量測全距 在紅線內(nèi)判定 OK量具的解析度 70%外在管制界線外3人 3次零件變異人與產(chǎn)品交互都在一直線3位量測者量測曲線膜厚儀69剝離 MSA 總結(jié) %tolerance %contributionNDC 判定膜厚儀 % % 5 可用於本專案但須列入長期改善計劃濃度分析儀% % 33 OK外觀 Between appraiserWithin appraiser KappaOK 70 確認(rèn)流程能力161。 計算流程能力膜厚製程能力 實 例 :71確認(rèn)流程能力72量測器具再現(xiàn)及再生性報告物件名稱 (編號 )： 量測器具：　　　　　　　　　　　日期：特性：　　　　　　 　　　　　量具編號： 　　　　　　　　　　執(zhí)行人：規(guī)格： 量具形式：由數(shù)據(jù)表得?。遥? 　　　 　　 Xdiff= Rp= 　量 測 分 析 ％製程變異　再現(xiàn)性 量具變異 (EV) EV＝ R * K1 ＝ ％ EV＝ 100（ EV／ TV）　　　＝ ％量測次數(shù) K12 3 　再生性 作業(yè)者變異 (AV) AV＝ √ (Xdiff * K2) － (EV ／ nr) ＝ ％ AV＝ 100（ AV／ TV）　　?。? ％零件數(shù)ｎ＝量測數(shù) r ＝作業(yè)人數(shù) 2 3K2 再現(xiàn)性＆再生性（ GRR） GRR＝ √ EV ＋ AV ＝ ％ GRR＝ 100（ G RR ／ TV） ＝ ％　零件變異 (PV) PV＝ Rp * K3 ＝ 零件數(shù) K3 ％ PV＝ 100（ PV ／ TV） ＝ ％2 3 4 5 6 　全變異 (TV) TV＝ √ ( GRR) ＋ PV ＝ 7 ndc ＝ (PV / GRR) ＝8 9 10 2 22 22 273量測系統(tǒng)分析（ＭＳＡ）理 由 校正合格：僅代表量具在正常操作下為合格 量測過程尚有人、量具及 SOP等之變異因素存在，會影響量測結(jié)果再現(xiàn)性 (EV量具變異 )：同一作業(yè)者量測同物品相同特性之量測再現(xiàn)能力定 義再生性 (AV人的變異 )：不同作業(yè)者量測同物品相同特性之量測再生能力零件間變異 (PV)：量測不同零件相同特性之變異GRR：即 EV＋ AV之加權(quán)平均數(shù)，為量具與人之變異情形全變異 (TV)：為 EV＋ AV＋ PV之加權(quán)平均數(shù)，為全部之總變異情形 原則要求 人員：平常經(jīng)常使用該量具人員或訓(xùn)練合格者 (可視情況選 23人， 其中 1人最好為品管 )對象：管制計劃中所使用之量測器具、設(shè)備 (同類別只選一支即可 )量具：量具刻度最好為規(guī)格界線之 1/10(至少 1/4)計量：一般依照產(chǎn)品類型取 510PCS，最好依規(guī)格公差範(fàn)圍以 常態(tài)分配方式取樣 ，樣本需予以編號做 法分析結(jié)果%GRR ： 10% OK ； 10~30% 尚可接受 ； 30% 以上需進(jìn)行改善先由一作業(yè)者先對各零件全部做第一次之量測後，接著再重複以上作業(yè) (一般需做23次 )，量測時必須以 “量測者不知前次量測結(jié)果 ”為原則，以確保資料之正確性再由另作業(yè)者同上述作業(yè)進(jìn)行量測結(jié)果填入數(shù)據(jù)表，在依公式計算出結(jié)果EV＞ AV：表示量具可能存在異?，F(xiàn)象AV＞ EV：表示人員訓(xùn)練及 SOP等可能存在異?，F(xiàn)象樣本檢具 (GONOGO)：一般依產(chǎn)品類型取 20PCS， NOGO部份最好需有 30% 以上，樣本需予以編號Ndc：一般需 10表示解晰能力足夠計量檢具各量測結(jié)果須 完全一樣 才判定 OK 74量測器具再現(xiàn)及再生性報告2 22 22 2物件名稱 (編號 )： 量測器具：　　　　　　　　　　　日期：特性：　　　　　　 　　　　　量具編號： 　　　　　　　　　　執(zhí)行人：規(guī)格： 量具形式：由數(shù)據(jù)表得?。?＝ 　　　 　　 Xdiff= Rp= 　量 測 分 析 ％製程變異　再現(xiàn)性 量具變異 (EV) EV＝ R * K1 ＝ ％ EV＝ 100（ EV／ TV）　　?。? ％量測次數(shù) K12 3 　再生性 作業(yè)者變異 (AV) AV＝ √ (Xdiff * K2) － (EV ／ nr) ＝ ％ AV＝ 100（ AV／ TV）　　　＝ ％零件數(shù) ｎ＝ 10量測數(shù) r ＝ 2作業(yè)人數(shù) 2 3K2 再現(xiàn)性＆再生性（ GRR） GRR＝ √ EV ＋ AV ＝ ％ GRR＝ 100（ G RR ／ TV） ＝ ％　零件變異 (PV) PV＝ Rp * K3 ＝ 零件數(shù) K3 ％ PV＝ 100（ PV ／ TV） ＝ ％2 3 4 5 6 　全變異 (TV) TV＝ √ ( GRR) ＋ PV ＝ 7 ndc ＝ (PV / GRR) ＝ 8 9 10 75謝謝觀看 /歡迎下載BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH