x年春季學(xué)期微電子器件基礎(chǔ)-第二章-資料下載頁
2025-01-05 06:10本頁面
【正文】 在硫分壓大的氣氛中處理硫化鉛，產(chǎn)生鉛空位獲得 P型硫化鉛； 在鉛分壓大的氣氛中處理硫化鉛，產(chǎn)生硫空位獲得 N型硫化鉛； ? 通過控制成分及其比例改變化合物半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型 例 在真空中對(duì)氧化鋅進(jìn)行脫氧處理，產(chǎn)生氧空位獲得 N型氧化鋅； 負(fù)電性： 硫 — 鉛 — 負(fù)電性： 氧 — 鋅 — As As As Ga As Ga As Ga Ga Ga Ga Ga ? 砷化鎵半導(dǎo)體的本征點(diǎn)缺陷及其性質(zhì) Ga Ga Ga As As Ga As As As As Ga Ga VGa VAs 砷空位 產(chǎn)生 1個(gè)受主能級(jí)：（ EV+） eV 鎵空位 — 產(chǎn)生 2個(gè)受主能級(jí)： (EV+)、 (EV+)eV 鎵偏多或砷偏多，容易形成砷空位或鎵空位 As 負(fù)電性： Ga=， As= X X X X M X M VM M M X M X M M X M M M X X M M VX M負(fù)電性小的原子 X負(fù)電性大的原子 VM 正離子空位 VX 負(fù)離子空位 ? 離子半導(dǎo)體（硫化物、硒化物、氧化物）的本征點(diǎn)缺陷 X M X 強(qiáng)離子性化合物半導(dǎo)體庫侖排斥力大 ， 形成替位原子需較大能量 ， 反結(jié)構(gòu)缺陷少 。 B B Si Si A B A B Si Si Si Si Si Si GaGaGaGaB A AB A A A B A B A B A B BA A價(jià)電子少的原子 B價(jià)電子多的原子 ABA替代 B BAB替代 A ? 反結(jié)構(gòu)缺陷（替位原子） AB受主， BA 施主 AB 中性 受主 施主 位錯(cuò)原子與周圍 3個(gè)原子形成共價(jià)鍵， 1個(gè)不成對(duì)電子形成不飽和共價(jià)鍵。 位錯(cuò)原子與周圍 3個(gè)原子形成共價(jià)鍵，不飽和鍵俘獲 1個(gè)電子帶負(fù)電。 位錯(cuò)原子與周圍 3個(gè)原子形成共價(jià)鍵，失去不成對(duì)電子帶正電。 ? 硅、鍺半導(dǎo)體的位錯(cuò)能級(jí) 位錯(cuò)及其性質(zhì)和作用 壓縮區(qū) 伸張區(qū) 位錯(cuò)能級(jí) 位錯(cuò)能級(jí) iEc?iEc?位錯(cuò)在硅、鍺半導(dǎo)體中分別產(chǎn)生一個(gè)受主能級(jí)， Si半導(dǎo)體 Ge半導(dǎo)體 ① 位錯(cuò)附近存在一個(gè)隨距離增加而減弱的應(yīng)變場(chǎng) ② 位錯(cuò)附近一側(cè)晶體被壓縮，禁帶寬度增大；一側(cè)晶體被伸張，禁帶寬度減小 ③ 比格點(diǎn)原子大的雜質(zhì)原子傾向在晶體被伸張一側(cè)聚集，比格點(diǎn)原子小的雜質(zhì)原子傾向在晶體被壓縮一側(cè)聚集 ④ 降低雜質(zhì)激活能，雜質(zhì)沿位錯(cuò)擴(kuò)散速度大大增加 ⑤ 使晶體缺陷運(yùn)動(dòng) ⑥ 沿位錯(cuò)的化學(xué)腐蝕速度高 ⑦ 位錯(cuò)密度較高時(shí)，位錯(cuò)和雜質(zhì)補(bǔ)償，使電子或空穴濃度降低 ⑧ 位錯(cuò)可以運(yùn)動(dòng) ? 位錯(cuò)性質(zhì)及其影響 0()gc VE V??? ?? ? ?,c ???00,cEE? 形變常數(shù)（單位體積形變對(duì)應(yīng)的導(dǎo)帶底、價(jià)帶頂變化） 無位錯(cuò)導(dǎo)帶底、價(jià)帶頂 0cVV???0VV???? 位錯(cuò)附近半導(dǎo)體禁帶寬度的變化量 iEc? 0c c cE E E? ? ? 0E E E? ? ?? ? ?壓縮區(qū) 伸張區(qū) ? 替位雜質(zhì)、間隙雜質(zhì) ? 雜質(zhì)濃度、施主雜質(zhì)、受主雜質(zhì)、深能級(jí)雜質(zhì)、淺能級(jí)雜質(zhì) ? 多能級(jí)雜質(zhì)、雙性雜質(zhì)、雜質(zhì)補(bǔ)償、雜質(zhì)電離 ? 雜質(zhì)電離、雜質(zhì)束縛態(tài)（中性態(tài)）、雜質(zhì)電離能、施主離子、受主離子 ? 等電子雜質(zhì)、等電子絡(luò)合物、等電子陷阱 ? 位錯(cuò)、點(diǎn)缺陷、空位 ? 施主雜質(zhì)狀態(tài)的能帶表示 ? 受主雜質(zhì)狀態(tài)的能帶表示 ? 雜質(zhì)補(bǔ)償原理的能帶表示 第二章 要求掌握的內(nèi)容 ? 基本圖示 ? 基本概念 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH
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