橢偏測厚儀主要參數(shù)及工作原理-資料下載頁
2025-08-04 02:11本頁面
【正文】 展開后得到：式中： 求解得到兩個(gè)復(fù)根，由式知x的模應(yīng)該為1，在，中選取模更接近1的一個(gè)（另一個(gè)舍去），則x=，代入可得： —————————————— 3． 迭代法求解：根據(jù)實(shí)驗(yàn)測得的Ψ和Δ比較準(zhǔn)確，誤差可以忽略不計(jì)，x的模偏離1的主要原因是由于所給的的初值與實(shí)際值有較大的偏差引起的，所以可將的大小作為衡量誤差大小的一個(gè)標(biāo)志量。于是，可以任意給一個(gè)初值，將進(jìn)行多次迭代近似計(jì)算，直到小于某個(gè)指定的誤差（例如，取=）為止，即： —————————————— 此時(shí)的就是實(shí)際的薄膜折射率，由式可同時(shí)得到薄膜厚度d。4． 求薄膜的真實(shí)厚度：需指出的是，上述測得的薄膜厚度均為小于一個(gè)周期時(shí)的值，即：0≤2≤2，易知=2，由式可得：薄膜厚度的周期 薄膜的真實(shí)厚度 式中： 為正整數(shù)，膜厚的周期數(shù)； 為膜厚的周期； 為不同測量條件時(shí)所對應(yīng)的一個(gè)周期內(nèi)的厚度值。實(shí)驗(yàn)常采用改變?nèi)肷浣呛筒ㄩL的方法得到多組（，），并由 解得薄膜的真實(shí)厚度d。 6
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