【正文】 裝等新型低成本封裝技術(shù)，為半導(dǎo)體照明產(chǎn)品進(jìn)一步降低成本提供技術(shù)支撐，光源模組光效＞，顯色指數(shù)大于。（企業(yè)牽頭申報(bào)）閽誑詡匭規(guī)覦蓯穩(wěn)棄鍾鑭偉約繆銑鏗。.稀土材料先進(jìn)稀土材料制備及應(yīng)用技術(shù)下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。高濃度轉(zhuǎn)化用稀土改性催化材料面向化工行業(yè)中的高濃度高效轉(zhuǎn)化問(wèn)題，研發(fā)高活性納米耐硫變換稀土催化劑與凈化劑，在濃度＞條件下實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)化率＞，形成百?lài)嵓?jí)規(guī)模以上催化劑生產(chǎn)能力。氬纈論燦誄剎縭紐敗彈蟻諦彎飩銖櫚。脫硫脫硝耦合一體化稀土關(guān)鍵材料研發(fā)多功能高豐度稀土超微孔陶瓷催化材料，煙氣深度除塵和脫硫脫硝耦合一體化裝置捕集率＞，在溫度≤℃條件下脫硫脫硝率≥，煙氣處理成本低于元。（企業(yè)牽頭申報(bào)）釧獼襤誆讒葒練綞夠蝕氬雜驤淪鍘鈹。.高性能纖維及復(fù)合材料高性能纖維及復(fù)合材料制備關(guān)鍵技術(shù)下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。小絲束聚丙烯腈碳纖維高模化關(guān)鍵技術(shù)以國(guó)產(chǎn)小絲束聚丙烯腈碳纖維為基礎(chǔ)原料，突破高溫石墨化關(guān)鍵技術(shù)，在年產(chǎn)十噸級(jí)以上裝備上制備出高強(qiáng)高模碳纖維，拉伸模量≥（離散系數(shù)≤）、拉伸強(qiáng)度≥（離散系數(shù)≤）、斷裂延伸率≥（離散系數(shù)≤）。憮擠虯頗賄亙積膾詆髕佇頁(yè)贛輇鎧櫪。聚丙烯腈碳纖維規(guī)模應(yīng)用技術(shù)開(kāi)發(fā)重點(diǎn)支持拉伸強(qiáng)度≥、拉伸模量≥及以上的國(guó)產(chǎn)低成本碳纖維在能源、交通、工業(yè)等民用領(lǐng)域的復(fù)合技術(shù)和規(guī)模應(yīng)用，級(jí)國(guó)產(chǎn)碳纖維及其復(fù)合材料價(jià)格具有國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)能力，碳纖維年用量不低于噸。（企業(yè)牽頭申報(bào)）諦嗚藎學(xué)軟網(wǎng)瓔螢厭湞鈾縟緊囑鋁鋼。高強(qiáng)高模碳纖維檢測(cè)評(píng)價(jià)技術(shù)及應(yīng)用驗(yàn)證建立高強(qiáng)高模碳纖維的檢測(cè)、應(yīng)用評(píng)價(jià)體系，向應(yīng)用單位提供每批次不小于公斤小絲束高強(qiáng)高模碳纖維的編織預(yù)浸產(chǎn)品，完成檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)編制和高強(qiáng)高模碳纖維特征指紋的建立，實(shí)現(xiàn)初步應(yīng)用驗(yàn)證。嚇鱧騰窶邏鷥?yōu)]觀藺躉羥嚀廩腡銅撐。.高品質(zhì)特殊鋼海洋工程用特殊鋼關(guān)鍵技術(shù)下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。海洋平臺(tái)用高強(qiáng)韌特殊鋼及復(fù)合板開(kāi)發(fā)開(kāi)發(fā)海洋平臺(tái)用高錳高強(qiáng)韌中厚鋼板和全軋制鋼鈦復(fù)合板，中厚鋼板屈服強(qiáng)度≥、斷面收縮率≥、沖擊功（℃）≥，復(fù)合板厚度≥、界面結(jié)合強(qiáng)度≥，配套焊接材料的焊縫強(qiáng)度、耐蝕性能與母材匹配。蕁問(wèn)羆趨鉦紹畢詵倫創(chuàng)摻輯騫驕鐺鄒。海洋建筑結(jié)構(gòu)用不銹鋼筋材料開(kāi)發(fā)開(kāi)發(fā)耐氯離子腐蝕用高強(qiáng)不銹鋼鋼筋，鋼筋屈服強(qiáng)度≥、強(qiáng)屈比≥、延伸率≥、耐蝕性≥，開(kāi)展相關(guān)服役性能評(píng)價(jià)及應(yīng)用研究。鶴軫緦鯢錸騫暫謹(jǐn)聹紇鴉潰賻濕鐃擁。.高性能膜材料高性能分離膜材料的規(guī)?；P(guān)鍵技術(shù)下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。分子篩催化劑清潔生產(chǎn)用膜材料與應(yīng)用技術(shù)面向石化行業(yè)分子篩催化劑清潔生產(chǎn)需求，研究腐蝕性環(huán)境下的高性能低成本膜材料、高裝填密度和高電流效率膜組件，開(kāi)發(fā)膜法分子篩催化劑清潔生產(chǎn)新工藝，建成千噸級(jí)催化劑生產(chǎn)示范，實(shí)現(xiàn)水回用率＞。（企業(yè)牽頭申報(bào)）纖蠑絳擁鎊種擴(kuò)賾鵓鍾軺鮐籟郵鋮輻。面向溶劑循環(huán)利用的蒸氣滲透膜與應(yīng)用技術(shù)針對(duì)化工溶劑循環(huán)利用問(wèn)題，開(kāi)發(fā)高裝填密度的蒸氣滲透膜和大型組件的一次成形密封技術(shù)，形成膜與精餾耦合的溶劑循環(huán)利用工藝，建成萬(wàn)噸級(jí)溶劑循環(huán)利用示范裝置，膜組件裝填密度＞，節(jié)能以上。顆緯纊繅閽額幘轅絀強(qiáng)紀(jì)蘊(yùn)廣媽銪憫。.第三代半導(dǎo)體材料及應(yīng)用第三代半導(dǎo)體集成封裝技術(shù)下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。高密度封裝工藝技術(shù)與關(guān)鍵材料開(kāi)展與第三代半導(dǎo)體器件相關(guān)的晶圓級(jí)三維封裝技術(shù)和高密度封裝關(guān)鍵材料研究，開(kāi)發(fā)高密度封裝用基板材料、微納米互連封裝材料與工藝，研發(fā)高性能、小型化智能電源模塊，轉(zhuǎn)換效率、工作溫度＞℃，滿(mǎn)足電力電子、高速通信等領(lǐng)域的應(yīng)用需求。灤潔篤鈳顱瑪媽鉅騍蟻師巔騍萊鉺躥。.納米材料與器件(在計(jì)劃納米研究指南方向，按照計(jì)劃程序申報(bào))（以下內(nèi)容摘自計(jì)劃申報(bào)指南）（）二維三維石墨烯材料與器件的可控制備及示范應(yīng)用研發(fā)超高比表面積二維三維石墨烯材料的低成本、規(guī)?；煽刂苽浼夹g(shù)，比表面積＞、體電荷遷移率＞，實(shí)現(xiàn)石墨烯材料在光通信、光催化制氫、生物傳感與檢測(cè)等領(lǐng)域的示范應(yīng)用。銚幘礱倫饋閥嚨錚礙鬢饋銃贖鰱銠彌。（）能量轉(zhuǎn)換與存儲(chǔ)用納米器件制備及其檢測(cè)技術(shù)突破高效能量轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)用新型單分散性納米能源材料規(guī)?；苽渑c器件，實(shí)現(xiàn)新型非硅全固態(tài)太陽(yáng)能電池效率＞，單體儲(chǔ)能器件能量密度≥；開(kāi)發(fā)以下空間分辨率光電綜合測(cè)試技術(shù)與裝備，滿(mǎn)足納米材料與器件表界面空間高分辨特性分析要求。揮兗瘋湯魎漲劉鑷頎湞諦碩籮爺銬賒。（）致霾汽車(chē)尾氣治理關(guān)鍵納米催化材料技術(shù)研發(fā)達(dá)到國(guó)排放標(biāo)準(zhǔn)的汽車(chē)尾氣催化凈化用納米催化材料及其工程制備關(guān)鍵技術(shù)，開(kāi)發(fā)納米催化凈化器，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)和裝車(chē)示范應(yīng)用。納米催化劑顆粒產(chǎn)品平均粒徑＜，整車(chē)排放達(dá)到國(guó)標(biāo)準(zhǔn)，使用壽命年以上，顯著減少致霾尾氣排放。賧馴獨(dú)蛻鳩錒親闌熱躉瘡舉幟鈀鈹嶧。（）納米生物材料技術(shù)突破生物材料表面納米改性、三維集成打印等關(guān)鍵技術(shù),實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的生物學(xué)性能（滿(mǎn)足檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)要求，改性表面尺度＜）、個(gè)性化臨床需求（單個(gè)制品打印時(shí)間＜），促進(jìn)組織生長(zhǎng)和重建速度與質(zhì)量，研發(fā)制品達(dá)到臨床應(yīng)用目標(biāo)。堝銚瀦闈黿欞鵡頷鏃創(chuàng)嚶讀駭崗鈮貢。（）新型高分子納米復(fù)合材料規(guī)?；苽浼夹g(shù)突破高分子基納米復(fù)合材料規(guī)模化制備技術(shù)，開(kāi)發(fā)超耐磨納米復(fù)合材料（耐磨性提高，硬度＞）、低成本耐高溫復(fù)合材料（耐熱溫度提高）、納米復(fù)合導(dǎo)電膜纖維材料(直徑導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu))、分離用單分散聚合物納微球(孔徑、分布系數(shù)＜)，建成工業(yè)示范線并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品應(yīng)用。由企業(yè)牽頭實(shí)施。襪譚澇嘮會(huì)鎢鮚駒湯約閹撐資蝸鉍嬙。（）納米改性凝膠材料的制備與應(yīng)用技術(shù)研發(fā)納米改性高性能結(jié)構(gòu)功能一體化膠凝材料制備關(guān)鍵技術(shù)，提高材料環(huán)境適應(yīng)能力和界面過(guò)渡區(qū)粘結(jié)強(qiáng)度，膠凝材料的氯離子擴(kuò)散系數(shù)和抗凍性較現(xiàn)有國(guó)標(biāo)提高以上，材料耐久性提高，建立工業(yè)示范線并實(shí)現(xiàn)應(yīng)用。由企業(yè)牽頭實(shí)施。儀膩氬疇凜搗餑鯇銪鍛規(guī)陸篳鴟鉈諫。先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域.智能機(jī)器人工業(yè)機(jī)器人核心基礎(chǔ)部件應(yīng)用示范針對(duì)制約國(guó)產(chǎn)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)化瓶頸問(wèn)題，開(kāi)展核心基礎(chǔ)部件工程化及產(chǎn)業(yè)化研究，降低成本，提升國(guó)產(chǎn)機(jī)器人核心競(jìng)爭(zhēng)力。下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。綰盞檢謎參輝靜鶘斬強(qiáng)濃綹嶁痙鈰堝。機(jī)器人減速器研制及應(yīng)用示范針對(duì)國(guó)產(chǎn)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，開(kāi)展減速器設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試、壽命試驗(yàn)等技術(shù)研究，突破批量制造、裝配過(guò)程中產(chǎn)品可靠性和一致性等關(guān)鍵技術(shù)，研制不少于九個(gè)型號(hào)減速器，性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，并形成技術(shù)規(guī)范。在國(guó)產(chǎn)機(jī)器人上實(shí)現(xiàn)臺(tái)套示范應(yīng)用。（企業(yè)牽頭申報(bào)）驍朮殺馬國(guó)彥鐓虧運(yùn)蟻冊(cè)縣駑銫鉚詣。機(jī)器人精密諧波減速器研制及應(yīng)用示范針對(duì)國(guó)產(chǎn)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，突破傳統(tǒng)諧波齒形嚙合設(shè)計(jì)理論，攻克高精度諧波減速器設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試、試驗(yàn)評(píng)價(jià)技術(shù)，研制不少于十個(gè)系列高精度諧波減速器，性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，并形成技術(shù)規(guī)范。實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)銷(xiāo)售～萬(wàn)臺(tái)諧波減速器的規(guī)模。（企業(yè)牽頭申報(bào)）瓊壘攬廟嬪貸鐒沖總鬢鏟輪賊彥鉛嚙。機(jī)器人用精密軸承研制及應(yīng)用示范針對(duì)國(guó)產(chǎn)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，開(kāi)展機(jī)器人專(zhuān)用精密軸承設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試、壽命試驗(yàn)等技術(shù)研究，研制等截面薄壁、交叉圓柱滾子兩種系列軸承以及減速器、諧波減速器專(zhuān)用系列精密軸承，性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，并形成技術(shù)規(guī)范。在國(guó)產(chǎn)機(jī)器人、核心基礎(chǔ)部件上實(shí)現(xiàn)臺(tái)套示范應(yīng)用。（企業(yè)牽頭申報(bào)）鎬鷹擴(kuò)細(xì)幀嬸鉅參貲湞騰濟(jì)競(jìng)訕鑠訥。移動(dòng)操作機(jī)械臂核心技術(shù)研究及應(yīng)用示范面向新興制造業(yè)的需求，克服傳統(tǒng)固定基座機(jī)器人的局限，提升制造過(guò)程的柔性，以柔性裝配等復(fù)雜作業(yè)為目標(biāo)，突破移動(dòng)機(jī)械臂快速定位、快速示教、工件識(shí)別與視覺(jué)伺服、動(dòng)目標(biāo)自主定位與抓取等關(guān)鍵技術(shù)，研制移動(dòng)操作機(jī)械臂系統(tǒng)工程樣機(jī)，實(shí)現(xiàn)全方位移動(dòng)，機(jī)械臂不少于個(gè)自由度、最大伸展不小于，操作臂末端負(fù)載能力不小于，并在典型行業(yè)實(shí)現(xiàn)示范應(yīng)用。（企業(yè)牽頭申報(bào)）櫳隨憐辯慘誤輩堅(jiān)媼躍暫驂嶠齏鈴葉。專(zhuān)科型微創(chuàng)手術(shù)及手術(shù)輔助機(jī)器人系統(tǒng)的研制面向心腦血管、骨科等手術(shù)對(duì)智能化手術(shù)器械的迫切需求，解決手術(shù)機(jī)器人結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用成本低、安全可靠性高、易于操作維護(hù)等問(wèn)題，研制用于專(zhuān)科型的手術(shù)機(jī)器人，并開(kāi)展臨床試驗(yàn)。下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。轅遞幀鶼撣啞賂對(duì)詫刪鷓萊駔禮鐵褸。心腦血管實(shí)時(shí)介入機(jī)器人系統(tǒng)針對(duì)心腦血管微創(chuàng)介入手術(shù)，突破低劑量線影像平板探測(cè)、三維心腦血管重建、介入導(dǎo)管置入輔助機(jī)構(gòu)、組合導(dǎo)航等關(guān)鍵技術(shù)；研制心腦血管實(shí)時(shí)介入機(jī)器人樣機(jī)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)血管高精度實(shí)時(shí)三維重建以及介入導(dǎo)管在血管中的定位、定向與實(shí)時(shí)引導(dǎo)，借助機(jī)器人實(shí)現(xiàn)導(dǎo)管的自動(dòng)置入。完成不少于例臨床試驗(yàn)，并申請(qǐng)醫(yī)療器械生產(chǎn)許可證。嵐謳將雜梔褲諂強(qiáng)吳約這嘗貰鏘鈾勵(lì)。脊柱微創(chuàng)手術(shù)機(jī)器人系統(tǒng)針對(duì)微創(chuàng)脊柱類(lèi)手術(shù)，突破手術(shù)機(jī)械臂與術(shù)中影像設(shè)備的集成技術(shù)、患者術(shù)前術(shù)中影像匹配及三維重建、手術(shù)器械高精度動(dòng)態(tài)跟蹤、神經(jīng)電位監(jiān)測(cè)等關(guān)鍵技術(shù)，研制微創(chuàng)骨科手術(shù)機(jī)器人樣機(jī)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)術(shù)前規(guī)劃與術(shù)中影像的動(dòng)態(tài)融合、手術(shù)過(guò)程連續(xù)可視化、操作力反饋、神經(jīng)損傷預(yù)警、以及手術(shù)機(jī)械臂的半自主操作,并完成不少于例臨床試驗(yàn)。詰綾奐薌氈湊訕護(hù)蛻鍛給鈹竊戩鈿蝦。前交叉韌帶斷裂修復(fù)術(shù)中機(jī)器人輔助系統(tǒng)針對(duì)常見(jiàn)膝關(guān)節(jié)前交叉韌帶損傷修復(fù)手術(shù)對(duì)機(jī)器人輔助作業(yè)的迫切需求，以減輕醫(yī)生操作疲勞度、提高手術(shù)精確度與成功率為目標(biāo)，突破基于光學(xué)導(dǎo)航的空間精確定位、膝關(guān)節(jié)空間的方位及屈曲角度的精確控制、關(guān)節(jié)鏡下交叉韌帶隧道定位及鉆孔等關(guān)鍵技術(shù)，研制前交叉韌帶斷裂修復(fù)手術(shù)機(jī)器人輔助系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)關(guān)節(jié)鏡、穿刺針與導(dǎo)航系統(tǒng)的統(tǒng)一和半自主操作，并完成不少于例臨床試驗(yàn)。則濱囪銹漸蕘蘞曖儻強(qiáng)懷皚嶇詫鉀寫(xiě)。.智能制造精密與超精密加工技術(shù)面向硬脆材料薄壁復(fù)雜形面結(jié)構(gòu)件的生產(chǎn)制造，研究相關(guān)超精密加工工藝、裝備、工夾具、在機(jī)測(cè)量與監(jiān)控、工藝包等成套軟硬件系統(tǒng)，滿(mǎn)足高端產(chǎn)品和關(guān)鍵零部件研制需求。下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。脅悅嘸剄牽臨臠殲脫蟻騍齒饌儀鉬葒。硬脆材料薄壁復(fù)雜結(jié)構(gòu)件超精密加工技術(shù)與裝備針對(duì)航天航空高性能慣性導(dǎo)航儀等研制需求，研究硬脆材料薄壁復(fù)雜結(jié)構(gòu)件超精密磨削與拋光技術(shù)，開(kāi)發(fā)成套專(zhuān)用加工裝備、在位工具修整與監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，滿(mǎn)足加工零件厚度≤，面形精度≤μ，表面粗糙度≤的精度要求，形成小批生產(chǎn)能力并開(kāi)展應(yīng)用示范。（企業(yè)牽頭申報(bào)）鱷勞醫(yī)滿(mǎn)癭縵緹淀鷸魘購(gòu)誅貧糴鉆體。微納米壓印輥筒超精密制造技術(shù)及裝備針對(duì)寬幅多層微結(jié)構(gòu)陣列光學(xué)功能薄片制造需求，研究微納米壓印輥筒微結(jié)構(gòu)超精密加工、表面涂層、工具制備和質(zhì)量檢測(cè)等關(guān)鍵技術(shù)，研制出微納米壓印輥筒超精密加工技術(shù)及裝備，加工幅面，可加工微結(jié)構(gòu)精度≤μ，粗糙度≤的微納米壓印輥筒產(chǎn)品，在光學(xué)功能薄膜制造企業(yè)示范應(yīng)用。（企業(yè)牽頭申報(bào)）稟魯凍訟窮鳶纊獷緒濁硨撓積閉鉞艙。材料結(jié)構(gòu)一體化及非傳統(tǒng)制造工藝及裝備面向航空航天制造行業(yè)，攻克復(fù)合材料和難加工材料復(fù)雜構(gòu)件一體化加工和非傳統(tǒng)加工方法的加工工藝原理、工藝過(guò)程及參數(shù)優(yōu)化方法、裝備設(shè)計(jì)和制造等關(guān)鍵技術(shù)，研制新型結(jié)構(gòu)材料一體化加工和非傳統(tǒng)加工工藝裝備，形成工藝規(guī)范和工藝數(shù)據(jù)庫(kù)。下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。陰錳僥韞縱紓碩盤(pán)魴躍壺閭屜擺鈸臨。弱剛度復(fù)合材料超聲切削關(guān)鍵技術(shù)與裝備面向復(fù)合材料大型構(gòu)件的制造需求，研究弱剛度復(fù)合材料超聲切削工藝技術(shù)，研發(fā)五軸聯(lián)動(dòng)超聲振動(dòng)加工裝備、工具系統(tǒng)與工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，形成技術(shù)規(guī)范，要求振幅＞μ，加工曲面外形尺寸公差≤，在航空航天企業(yè)示范應(yīng)用。(企業(yè)牽頭申報(bào))滬賦麗嫵綻駢獫籌竅刪靚絎饋謖鈽聶。復(fù)合及特種耐高溫材料超高壓水射流加工裝備與工藝針對(duì)復(fù)合材料及特種耐高溫材料典型結(jié)構(gòu)零件，研究超高壓水射流加工工藝和控制方法、工藝參數(shù)優(yōu)化、智能補(bǔ)償、水射流核心部件設(shè)計(jì)等關(guān)鍵技術(shù)，研制軸超高壓水射流加工設(shè)備，形成工藝規(guī)范。水射流壓力，加工材料硬度＞,加工精度≤，在航空航天企業(yè)的典型結(jié)構(gòu)件加工中示范應(yīng)用。（企業(yè)牽頭申報(bào))鋼萵鹺禪恥磧澀繞顛約論勞財(cái)冊(cè)缽鹺。工業(yè)用低功耗、多功能微納器件與系統(tǒng)針對(duì)智能制造、工業(yè)無(wú)線傳感網(wǎng)發(fā)展對(duì)低功耗流量傳感器、多功能微納傳感器、無(wú)線傳感網(wǎng)節(jié)點(diǎn)微能源等需求，攻克高性能、多功能微納器件及系統(tǒng)的設(shè)計(jì)制造關(guān)鍵技術(shù)，研發(fā)出多功能微納傳感器及系統(tǒng)、微能源及系統(tǒng)、批量化流量傳感器產(chǎn)品，提高智能制造的核心競(jìng)爭(zhēng)力并支撐工業(yè)無(wú)線傳感網(wǎng)未來(lái)發(fā)展。下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。愷穡鴦賭塋頡櫧縲豬鍛瀠趕禍綁鈷緡。工業(yè)過(guò)程控制硅流量傳感器及系統(tǒng)針對(duì)智能制造對(duì)流量傳感器的大量需求，突破硅流量傳感器批量化制造技術(shù)、耐腐蝕沾污介質(zhì)防護(hù)技術(shù)、測(cè)試技術(shù)、可靠性技術(shù)、處理與控制電路等關(guān)鍵技術(shù)，形成高可靠性硅流量傳感器及系統(tǒng)批量生產(chǎn)技術(shù)規(guī)范，傳感器精度誤差≤，建立年產(chǎn)萬(wàn)套的生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)萬(wàn)套以上應(yīng)用。（企業(yè)牽頭申報(bào)）謫櫚鯪鮫蟻狹攛節(jié)閑歸動(dòng)溝壽隨鉗鴛。工業(yè)無(wú)線傳感網(wǎng)節(jié)點(diǎn)微能源設(shè)計(jì)與制造針對(duì)工業(yè)無(wú)線傳感網(wǎng)發(fā)展對(duì)傳感網(wǎng)節(jié)點(diǎn)高能量密度微能源的需求，攻克微型燃料電池、微型能量收集器設(shè)計(jì)、制造、封裝、集成、測(cè)試、可靠性等關(guān)鍵技術(shù)，研究能量?jī)?chǔ)存與管理技術(shù)，研發(fā)出高能量密度微能源系統(tǒng)，其中微型燃料電池單元輸出功率密度，在工業(yè)無(wú)線傳感網(wǎng)示范應(yīng)用。（企業(yè)牽頭申報(bào)）嗆寶驃戰(zhàn)譏閏懼蘚澆螞錐馳餃柵鉦績(jī)。制造裝備檢測(cè)用多功能微納傳感器及系統(tǒng)針對(duì)制造裝備狀態(tài)檢測(cè)對(duì)多功能微納傳感器的需求，突破壓力、振動(dòng)、溫度傳感器及其系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造、集成、測(cè)試等關(guān)鍵技術(shù)，解決微納傳感器在寬溫度范圍（~176。）中工作的可靠性問(wèn)題，研發(fā)出壓力、振動(dòng)、溫度傳感器及其系統(tǒng)，其中振動(dòng)傳感器精度誤差≤，并實(shí)現(xiàn)在高溫鑄造等行業(yè)的示范應(yīng)用?，撡I(mǎi)馬縷誣瀏峽譏鐋魘犖萇讞貲鈺鯢。基于集成電路工業(yè)平臺(tái)的設(shè)計(jì)與制造針對(duì)我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展對(duì)批量化、智能化產(chǎn)品的巨大需求，充分發(fā)揮集成電路設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造的技術(shù)潛力，攻克與集成電路（）兼容的設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)等關(guān)鍵共性技術(shù)，研制一批能夠提升產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品，支撐物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。下設(shè)個(gè)研究方向，執(zhí)行期限年。麼顓颮鋇譖鋰堝說(shuō)樅濁榿娛磧單鈀紡。與集成電路設(shè)計(jì)兼容的設(shè)計(jì)技術(shù)針對(duì)與集成化發(fā)展的趨勢(shì)，以設(shè)計(jì)工具環(huán)境為基礎(chǔ)，突破器件、系統(tǒng)、工藝級(jí)的建模、模擬、優(yōu)化等關(guān)鍵技術(shù)，解決與協(xié)同設(shè)計(jì)問(wèn)題，建立器件庫(kù)和相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)檢測(cè)電路庫(kù)，形成不少于個(gè)經(jīng)過(guò)生產(chǎn)線驗(yàn)證的集成化單元庫(kù)，提高與的庫(kù)復(fù)用能力?？v鈞頂產(chǎn)賺棲疊賬郟躍專(zhuān)鈥憲緶鈕髖。工藝兼容的制造與驗(yàn)證平臺(tái)針對(duì)單片集成批量化制造發(fā)展需求，以或以上工藝線為基礎(chǔ)，突破與工藝兼容的表面加工、體加工、硅直接鍵合等關(guān)鍵技術(shù)，解