質量流量控制器技術說明書-資料下載頁
2025-07-14 02:06本頁面
【正文】 四氯化硅 SiCl4 四氟化硅 SiF4 硅烷 SiH4 二氯氫硅 SiH2Cl2 三氯氫硅 SiHCl3 六氟化硫 SF6 二氧化硫 SO2 四氯化鈦 TiCl4 六氟化鎢 WF6 氙氣 Xe 附錄二 氣體質量流量轉換系數使用說明質量流量控制器/質量流量計出廠時一般用N2標定，實際使用中如果是其它氣體，必要時可進行讀數修正。方法是以流量顯示儀的流量乘以流量轉換系數。如是單組份氣體，其轉換系數可在我廠產品技術說明書查得；如果多組份氣體（假定由n種氣體組成），請按下列公式計算其轉換系數C：基本公式：C=（Cp）其中：p為氣體的密度Cp為氣體的定壓比熱N為一固定系數（與該氣體的組份有關）對于混合氣體：N=N1(ω1/ωT)+N2(ω2/ωT)+…+Nn(ωn/ωT)導出公式：其中：ω1……ωn 為相應氣體的流量ωT………… 為混合氣體的流量ρ1……ρn為相應氣體的密度（數值見附錄一）Cρ1……Cρn為相應氣體的定壓比熱（數值見附錄一）N1…………Nn為相應氣體的分子構成系數,取值見下表.氣體分子構成舉例N取值單原子分子Ar He雙原子分子CO N2三原子分子CO2 NO2多原子分子NH3 C4H8說明：配合MT50系列流量顯示儀，實現對氣體的測量及控制。配合MT60系列流量積算儀，對氣體的瞬時流量和累積流量進行計量。配合MT51系列數字式流量顯示控制儀，可以實現RS232C,RS485與計算機的連接，同時，還可以實現計算機對流量計的自動控制，實現網絡化的自動控制。25 / 25目 錄特點及應用領域1S49系列質量流量控制器和質量流量計型號2主要技術原理2工作原理5安裝和接線6使用方法和操作步驟14注意事項15故障判斷和處理17附錄：氣體質量流量轉換系數1
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