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正文內(nèi)容

多晶硅安全技術規(guī)范-資料下載頁

2025-10-30 05:39本頁面

【導讀】本標準規(guī)定了多晶硅。生產(chǎn)過程產(chǎn)生的各類危害因素應采取的基本安全技術措施,包括總圖平面布局與。通道、防火防爆、防雷防靜電、電氣安全、生產(chǎn)裝置安全、防塵防毒、防噪聲、防護用品、多晶硅作業(yè)安全和安全管理等方面內(nèi)容。本標準適用于中華人民共。和國境內(nèi)用氯硅烷法、硅烷法生產(chǎn)多晶硅的生產(chǎn)企業(yè)。下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。用文件,其隨后所有的修改單或修訂版均不適用于本標準,然而,鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本?!段kU化學品建設項目安全許可實施辦法》國家安全生產(chǎn)監(jiān)督管理總?!段kU化學品安全管理條例》國務院令第344號?!短胤N設備安全監(jiān)察條例》國務院令第373號?!秶鴦赵宏P于進一步加強企業(yè)安全生產(chǎn)工作的通知》國發(fā)[2020]23號?!秶鴦赵宏P于進一步加強企業(yè)安全生產(chǎn)工作的通知》的實施意見》安監(jiān)總管三。目安全設施"三同時"工作的通知》安監(jiān)總管一字[2020]67號。藝高技術產(chǎn)業(yè)化擴建項目安全預評價報告》

  

【正文】 設施的知識及其危險性,了解有關安全規(guī)定及在發(fā)生事故或出現(xiàn)故障時必須采取的措施。 氫氣站操作人員,必須經(jīng)過嚴格培訓,經(jīng)考核合格后方可上崗操作。 熱能轉(zhuǎn)換工藝控制及一般規(guī)定 按照設計要求向工藝系統(tǒng)提供不同溫度,不同壓力的高溫水或高溫導熱油,生產(chǎn)操作時按照工藝技術規(guī)程、安全操作規(guī)程(或作業(yè)指導書)執(zhí)行。 嚴格控制向不同的工藝系統(tǒng)提供的高溫水或高溫導熱油的溫度,壓力,更改參數(shù)必須經(jīng)過技術負責人批準,不得私自更改,更改參數(shù)時應有相應的安全 保障。 高溫水或高溫油的成分要經(jīng)分析確認符合要求。未經(jīng)檢驗或不合格的,不能投入生產(chǎn)使用。 加熱設備、各種泵類等生產(chǎn)設備的操作應按照安全操作規(guī)程進行,保證備用設備的完好,運行時設備出現(xiàn)故障有備用設備投用。 蒸汽加熱通入加熱設備時要嚴格按照操作規(guī)程升溫、升壓,以防損壞設備。經(jīng)常檢查蒸汽壓力,使壓力控制在工藝指標范圍內(nèi)。 各安全附件要嚴格按要求定期校驗。 循環(huán)冷卻水工藝控制及一般規(guī)定 按照設計要求向工藝系統(tǒng)提供循環(huán)冷卻水,生產(chǎn)操作時按照工藝技術規(guī) 程、安全操作規(guī)程(或作業(yè)指導書)執(zhí)行。 嚴格控制向不同的工藝系統(tǒng)提供的循環(huán)冷卻水的溫度、壓力;更改參數(shù)需經(jīng)過技術負責人批準,不得私自更改,更改參數(shù)時應有相應的安全保障。 19 循環(huán)冷卻水的水質(zhì)符合 GB 500502020 的規(guī)定,水質(zhì)穩(wěn)定劑須經(jīng)化驗并確認符合要求才能投入生產(chǎn)使用;水質(zhì)穩(wěn)定劑的存放地點符合安全要求。 各種泵類等生產(chǎn)設備的操作應按照安全操作規(guī)程進行,保證備用設備的完好;設備故障時應切換備用設備,并立即進行維修。 操作人員必須經(jīng)過培訓,考核合格后方可上崗。 工業(yè)廢水排放管理規(guī)定 工業(yè)廢水排放管理的具體要求: 遵守《中華人民共和國水污染防治法》的規(guī)定,公司污酸、酸性污水處理后外排水質(zhì)須達到 GB8978— 1996《污水綜合排放標準》表四一級排放標準,即: PH 6— 9 COD 100mg/l SS 70mg/l 石油類 5mg/l 氟化物 10mg/l BODCr 20mg/l NH3— N 15mg/l 嚴防在生產(chǎn)過程中超標準排放酸性廢水,危害人體健康和污染周圍環(huán)境。 廢水處理工 作必須嚴格執(zhí)行操作程序,對廢水進行處理達標排放。同時對水質(zhì)、水量進行監(jiān)測并做好監(jiān)測記錄,未經(jīng)處理或處理未達標的廢水嚴禁排入下水道。 廢水經(jīng)處理后,回用率必須大于 80% 廢水處理系統(tǒng)必須一用一備,確保在極端情況下廢水處理達標 三廢處理站接觸強酸、酸性廢水、石灰等危險化學品,其儲存、使用要嚴格按照國家有關化學危險品的規(guī)范、要求進行,以免發(fā)生灼傷。 生產(chǎn)作業(yè)場所的排水應實行清污分流,含有可燃液體及有害物質(zhì)的污水不得直接排入下水道,應排入污水處理裝置,經(jīng)處理后 ,符合當?shù)丨h(huán)保部門排放標準后,再排入指定位置。 供配電設備安全運行技術 110kV 電源應有兩條以上供電回路。 各 10kV 配電站均為雙回路供電,母聯(lián)具有備自投功能。當一路電源事故跳閘時,可自動切換至另一電源供電。其設計容量應滿足單電源帶全部負荷運行。 應自備 10kV 柴油發(fā)電機組。在發(fā)生 110kV 電源全部停電情況時,柴油機組能夠快速自啟,并帶載運行;機組容量必須滿足消防水泵、導熱油泵、UPS 電源、空壓機等保安負荷的功率需求。 所有變配電站均為兩臺 及以上配變變壓器運行,互為備用,其低壓具有手動合環(huán)運行功能,變壓器容量應滿足單臺變壓器同時帶低壓全部負荷運行。 低壓 UPS 電源均為雙回路供電,一路電源失壓時可以自動進行電源切換。保障儀表及中控設備電源正常運行的連續(xù)性。 為避免 10kV 母線在接地時出現(xiàn)諧振情況,在 10kV 各母線段加裝消除諧振裝置 ,保障供配電系統(tǒng)安全運行。 包裝、檢驗、貯存與運輸 包裝 20 多晶硅產(chǎn)品的包裝按照 GB/T 250742020(太陽能級多晶硅)。包裝場地環(huán)境應在萬 級潔凈間內(nèi)進行。應在包裝內(nèi)附有與包裝內(nèi)涂料產(chǎn)品完全一致的化學品安全技術說明書。 包裝標志 多晶硅產(chǎn)品的包裝標示按照 GB/T 250742020(太陽能級多晶硅)。 檢驗 應按照國家標準、行業(yè)標準或企業(yè)標準的規(guī)定進行檢驗,保證進廠的原料和出廠的產(chǎn)品符合標準的技術要求。 應有滿足質(zhì)量檢測的場所設施和儀器,其檢驗場所應有符合安全使用的化學分析室、恒溫恒濕室、高溫室、精密儀器室(天平室)等。 化學危險品的貯存 危險化學品貯存場所的建筑結(jié)構(gòu)、電氣、通風、調(diào)溫、消防設置及貯存量限制等應符合 GB 156031995(常用化學危險品貯存通則)、 GB 179141999(易燃易爆性商品儲藏養(yǎng)護技術條件)的規(guī)定。 除液氯、氯硅烷外, 列入 GB 122682020(危險貨物 品名表)的危險化學品應儲存在專用的倉庫中。 劇毒品應在專用倉庫內(nèi)單獨隔離,限量儲存。劇毒品儲存應執(zhí)行雙人收發(fā)、雙人記賬、雙人雙鎖、雙人運輸、雙人使用的“五雙”制度,并應裝設視頻安防監(jiān)控系統(tǒng)。 6 安全管理 安全管理體系 企業(yè)應以保證多晶硅生產(chǎn)過程安全、衛(wèi)生為目標,建立全員安全生產(chǎn)責任制和相應的安全標準化管理體系。 企業(yè)應結(jié)合實際,根據(jù)國家法律、法規(guī)制定并執(zhí)行安全生產(chǎn)規(guī)章制度,實行標準化管理。安全生產(chǎn)管理規(guī)章制度包括以下主要內(nèi)容: 1)、安全生產(chǎn)責任制; 2)、識別和獲取適用的安全生產(chǎn)法律法規(guī)、標準及其他要求; 3)、安全生產(chǎn)會議制度; 4)、安全生產(chǎn)費用管理制度; 5)、安全生產(chǎn)獎懲管理; 6)、管理制度評審和修訂; 7)、安全培訓教育; 8)、特 種作業(yè)人員管理; 9)、管理部門、基層班組安全活動管理; 10)、風險評價; 11)、安全檢查及隱患治理; 12)、重大危險源管理; 13)、變更管理; 14)、事故管理; 15)、防火、防爆管理,包括禁煙管理; 16)、消防管理; 17)、倉庫、罐區(qū)安全管理; 18)、關鍵裝置、重點部位安全管理; 19)、生產(chǎn)設施管理,包括安全設施、特種設備等管理; 21 20)、監(jiān)視和測量設備管理; 21)、安全作業(yè)管理,包括動火作業(yè)、進入受限空間作業(yè)、臨時用電作業(yè)、高處作業(yè)、起重吊裝作業(yè)、破 土作業(yè)、斷路作業(yè)、設備檢維修作業(yè)、抽堵盲板作業(yè)管理等; 22)、危險化學品安全管理,包括劇毒化學品安全管理及危險化學品儲存、出入庫、運輸、裝卸等; 23)、檢維修管理; 24)、生產(chǎn)設施拆除和報廢管理; 25)、承包商管理 26) 、供應商管理; 27)、職業(yè)衛(wèi)生管理,包括防塵、防毒管理; 28)、勞動防護用品(具)和保健品管理; 29)、作業(yè)場所職業(yè)危害因素檢測管理; 30)、應急救援管理; 、機構(gòu)、人員和培訓 企業(yè)主要負責人應具備與本企業(yè)從事的生產(chǎn)活動相適應的安全生產(chǎn)知識和管理能力并經(jīng)安 全考核合格后方可任職。 企業(yè)要設置安全生產(chǎn)管理機構(gòu)或配備專職安全生產(chǎn)管理人員。安全生產(chǎn)管理機構(gòu)要具備相對獨立職能。專職安全生產(chǎn)管理人員應不少于企業(yè)員工總數(shù)的 2%(不足 50 人的企業(yè)至少配備 1 人),要具備化工或安全管理相關專業(yè)中專以上學歷,有從事化工生產(chǎn)相關工作 2 年以上經(jīng)歷,取得安全管理人員資格證書。 企業(yè)應制定安全培訓教育管理制度,編制年度安全培訓教育計劃,制定安全培訓教育方案,建立培訓檔案,實施持續(xù)不斷的安全培訓教育,使從業(yè)人員滿足本崗位對安全生產(chǎn)知識和操作技能的要求。 企業(yè)必 須對新錄用的員工進行強制性安全培訓教育,經(jīng)過廠、車間、班組三級安全培訓教育,保證其了解危險化學品安全生產(chǎn)相關的法律法規(guī),熟悉從業(yè)人員安全生產(chǎn)的權利和義務;掌握安全生產(chǎn)基本常識及操作規(guī)程;具備對工作環(huán)境的危險因素進行分析的能力;掌握應急處置、個人防險、避災、自救方法;熟悉勞動防護用品的使用和維護,經(jīng)考核合格后方可上崗作業(yè)。對轉(zhuǎn)崗、脫離崗位 1 年(含)以上的從業(yè)人員,要進行車間級和班組級安全培訓教育,經(jīng)考核合格后,方可上崗作業(yè)。 特種作業(yè)人員必須參加由具有特種作業(yè)人員培訓資質(zhì)的機構(gòu)舉辦的培訓,掌握與其所 從事的特種作業(yè)相應的安全技術理論知識和實際操作技能,經(jīng)相關部門考核合格,取得特種作業(yè)操作證后,方可持證上崗。 對從事多晶硅生產(chǎn)有毒有害作業(yè)的人員,在上崗前、在崗期間應進行體檢,其健康狀況應符合工作性質(zhì)要求。 接觸氯化氫、粉塵、噪聲等崗位員工的職業(yè)禁忌癥應符合《職業(yè)健康監(jiān)護管理辦法》(衛(wèi)生部令第 23 號)的有關要求。 多晶硅生產(chǎn)企業(yè)接觸危險化學品的崗位應向作業(yè)人員告知其危險和預防、控制及防護方法,對貯存、運輸和廢棄的應急處理、急救技能應進行培訓。 采用新工藝、新技術、新材料或者使用新 設備,應了解、掌握其安全技術特性,采取有效的安全防護措施,并應對從業(yè)人員進行專門的安全生產(chǎn)教育和培訓。 廠區(qū)檢維修及作業(yè)安全管理 檢維修安全管理 22 企業(yè)應嚴格執(zhí)行檢維修管理制度,實行日常檢維修和定期檢維修管理。設備檢維修作業(yè)嚴格執(zhí)行《化學品生產(chǎn)單位設備檢修作業(yè)安全規(guī)范》( AQ30262020)的有關規(guī)定。 企業(yè)應制訂年度綜合檢維修計劃,落實“五定”,即定檢修方案、定檢修人員、定安全措施、定檢修質(zhì)量、定檢修進度原則。 企業(yè)在進行檢維修作業(yè)時,應執(zhí)行下列程序: 1)檢維修前: ⑴進行危險、有害因素識別; ⑵編制檢維修方案; ⑶辦理工藝、設備設施交付檢維修手續(xù); ⑷對檢維修人員進行安全培訓教育; ⑸檢維修前對安全控制措施進行確認; ⑹為檢維修作業(yè)人員配備適當?shù)膭趧颖Wo用品; ⑺辦理各種作業(yè)許可證; 2)對檢維修現(xiàn)場進行安全檢查; 3)檢維修后辦理檢維修交付生產(chǎn)手續(xù)。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)吊裝作業(yè)應嚴格按照《化學品生產(chǎn)單位吊裝作業(yè)安全規(guī)范》AQ30212020 執(zhí)行。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)動火作業(yè)應嚴格按照《化學品生產(chǎn)單位動火作業(yè)安全規(guī)范》AQ30222020 執(zhí)行,對于可能有氯硅烷物料殘存的動火作業(yè)必須制定嚴格的置換方案,置換至無料味、檢測分析符合動火要求的方可進行相應作業(yè)。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)動土作業(yè)應嚴格按照《化學品生產(chǎn)單位動土作業(yè)安全規(guī)范》AQ30232020 執(zhí)行。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)斷路作業(yè)應嚴格按照《化學品生產(chǎn)單位斷路作業(yè)安全規(guī)范》AQ30242020 執(zhí)行。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)高處作業(yè)應嚴格按照《化學品生產(chǎn)單位高處作業(yè)安全規(guī)范》AQ30252020 執(zhí)行。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)盲板抽堵作業(yè)應嚴格按照《化學品生產(chǎn)單位盲板抽堵作業(yè)安全規(guī)范》 AQ30272020 執(zhí)行。 生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)受限空間作業(yè)應嚴格按照《化學品生產(chǎn)單位受限空間作業(yè)安全規(guī)范》 AQ30282020 執(zhí)行。 附錄 A 多晶硅生產(chǎn)企業(yè) 火災危險性分類和火災危險舉例 和火災危險舉例 (規(guī)范性附錄) 火災危險性分類及防爆等級 多晶硅生產(chǎn)的火災危險性按照 GB501602020(石油化工企業(yè)設計防火規(guī)范( 1999 版))第 3 章第 條規(guī)定。 A 表 1 可燃化學危險品的火災危險性分類 序號 危險化 學品名稱 危險 類別 閃點 ℃ 自燃點 ℃ 爆炸極限( V/V) 火災危險類別 下限 上限 1 超細硅粉 第 —— 775 160mg/m3 —— 乙類 23 易燃固體 3 硝酸 第 —— —— —— —— 乙類 10 壓縮氧氣 第 類 不燃氣體 —— —— —— —— 乙類 11 氫氣 第 易燃氣體 —— 400 甲 12 三氯氫硅 第 類遇濕易燃物品 175 甲 13 二氯二氫硅 第 有 毒氣體 —— 85 甲 14 熱導油 ? ? —— —— ? 防爆等級的劃分 爆炸性氣體環(huán)境危險區(qū)域按照 GB 500581992第 2 章第 2 節(jié)的規(guī)定劃分。 粉塵環(huán)境危險區(qū)域按照 GB 500581992 第 3 章第 2 節(jié)的規(guī)定劃分。 多晶硅生產(chǎn)車間火災危險性分類 氫氧站生產(chǎn)車間、氯化氫與三氯氫硅合成車間、氯硅烷分離與提純車間、多晶硅還原車間、還原尾氣回收與分離車間、氫氣灌區(qū)、氯硅烷灌區(qū)的火災類別為甲類、易燃易爆作業(yè)場所,屬爆炸性 氣體環(huán)境; 多晶硅破碎、硅粉庫生產(chǎn)車間火災類別為乙類,屬爆炸性粉塵環(huán)境;空分制氮、酸腐蝕生產(chǎn)車間火災類別為乙類,屬爆炸性氣體環(huán)境。 (見 A 表 2) A 表 2 多晶硅生產(chǎn)企業(yè)火災危險性分類舉例 類別 名稱 生產(chǎn)場所 火災危險類別 爆炸或火災環(huán)境 氯硅烷 三氯氫硅 二氯二氫硅 氫氣 熱導油 超細硅粉 硝酸 壓縮氧氣 注 :多晶硅最終產(chǎn)品本身不屬于易燃液體危險化學品,但生產(chǎn)時所使用的主要原料屬危險化學品,因
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