低溫真空泵原理與結(jié)構(gòu)-資料下載頁
2025-06-26 03:34本頁面
【正文】 下時減少得很快。在壓力低于1103托(這個區(qū)域氣體處于分子流區(qū))，由于導(dǎo)熱引起的傳熱通?？梢院雎?。在低溫領(lǐng)域中，它被稱為絕熱真空。對比一下這時的導(dǎo)熱性能與通用的熱偶真空計，它的工作原理是從1103托至l托范圍內(nèi)的熱傳導(dǎo)系數(shù)的變化為基礎(chǔ)的。輻射熱是低溫泵的主要熱負(fù)荷，對要承受輻射熱的低溫泵有兩點要求：第一，盡可能多的反射來自真空室的輻射熱；第二，低溫泵應(yīng)該能吸收難以反射掉的輻射熱。一些很潔凈的電拋光真空室對低溫泵輻射熱極小，但多數(shù)情況是真空室壁面上吸附了水蒸汽后輻射熱量幾乎與黑體輻射相等。由于輻射熱是溫度的4次方的函數(shù)。如果在真空室有對低溫泵產(chǎn)生輻射的高溫?zé)嵩?，就容易地使低溫泵熱?fù)荷過大，因而，用水冷擋板來把真空室中的高溫?zé)嵩磁c低溫泵屏蔽開。低溫泵冷板應(yīng)該拋光良好，在降溫過程中就能反射輻射熱，但是，一旦薄的水層凝結(jié)在低溫表面，就會使表面變成吸收熱輻射的熱學(xué)黑體表面。在低溫泵中由于氣體冷凝所產(chǎn)生的熱負(fù)荷通常很小，但有一個例外的情況是當(dāng)?shù)蜏乇糜糜谠跒R射臺中抽氬時。冷凝氬產(chǎn)生的熱負(fù)荷大多數(shù)由制冷機二級承擔(dān)。冷凝1托升/。制冷機二級溫度隨著氬流量的增大而上升。由于通常需要同時把氫保持在活性炭上，低溫泵的流量設(shè)定應(yīng)以低溫板溫度不大于20K為標(biāo)準(zhǔn)(這時的流量為最大流量)。一般在設(shè)定流量時的壓力為1103托，如果在濺射鍍膜工藝需要更高的氬氣壓力，那么就需要在低溫泵前安裝一個節(jié)流閥來把工作壓力減少到使進入泵口時壓力為1103托。
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