光電廠化學(xué)品供應(yīng)安全系統(tǒng)的建立-資料下載頁
2025-06-17 12:50本頁面
【正文】 頭必須密封。第五十九條為防止動力源異常導(dǎo)致化學(xué)品泄漏，危害性化學(xué)品設(shè)備附屬之動力源，應(yīng)置備可迅速使用之備用動力源。第六十條為防止誤操作，對化學(xué)設(shè)備之閥、旋塞或操作此等之開關(guān)、按鈕及動力源等，應(yīng)明顯標示開關(guān)方向。不使用者應(yīng)予加鎖、鉛封或施以同效措施，但供緊急使用者，不在此限。第八節(jié) 廢液處理第六十一條為避免兼容性問題產(chǎn)生危害：一、廢液必須使用兼容性材質(zhì)之收集容器。二、對不兼容性物質(zhì)必須提供獨立個別的排放系統(tǒng)。三、不兼容廢液不能使用同一輛化學(xué)手推車運輸。第六十二條易燃性液體必須使用合格之容器收集。第六十三條設(shè)置在次清凈室(subfab)之廢液收集柜應(yīng)有保護系統(tǒng)，準則如下：一、收集桶應(yīng)設(shè)液位計，并有高液位指示、警報。二、儲存桶須有防止物質(zhì)泄漏、溢出之第二道保護計設(shè)、容器或其它防制措施。三、當可燃性廢液容器設(shè)置于密閉化學(xué)柜中或其它密閉空間時，應(yīng)提供火災(zāi)防護，或FMRC認可之氣體抑制系統(tǒng)。四、在機臺及經(jīng)常注視之明顯位置，應(yīng)有廢液收集之泄漏偵測指示及警報。第九節(jié) 儲存柜/桶瓶容器/手推車/其它第六十四條為預(yù)防危害性化學(xué)品意外混合造成危害：一、儲存柜結(jié)構(gòu)需采用18gauge以上厚度之鋼材。來源于.... 中國最大的資料庫下載(18gauge==)二、儲存柜之門應(yīng)有自動關(guān)閉之設(shè)計。第六十五條儲存易燃性液體應(yīng)使用認可之安全容器。但當有高純度之需求時，可允許采用玻璃或塑料容器，每個容器容量限制≦1加侖。第六十六條為防止危害性化學(xué)品于運輸過程中發(fā)生危害，應(yīng)使用符合第六十七條安全功能設(shè)計或其它認可之化學(xué)手推車運輸傳送。第六十七條從事運輸或裝盛危險性化學(xué)品之手推車安全指引：一、必須有可關(guān)閉設(shè)計或防止傾倒之功能設(shè)計二、應(yīng)有預(yù)防溢流之能力設(shè)計三、運輸之容器，最大容量為5加侖(19公升)四、手推車總裝載容量不可超過55加侖(208公升)五、不兼容物不能使用同一輛化學(xué)手推車運輸六、手推車須有防止滑動之煞車裝置七、手推車不得超過額定荷重第六十八條為預(yù)防危害性化學(xué)品意外混合造成危害：一、危害性化學(xué)品應(yīng)存放在可關(guān)閉的儲存柜或工作區(qū)(cabinets and work station)。二、不兼容性化學(xué)品不能儲存在同一個儲存柜。三、酸液和可燃性液體不應(yīng)儲存在相同之柜內(nèi)。 第三章 管理及檢查第六十九條處置或使用危害物之勞工，應(yīng)施以必要之安全衛(wèi)生教育訓(xùn)練。第七十條對設(shè)置之化學(xué)設(shè)備或附屬設(shè)備，每二年定期施行自動檢查一次以上，記錄保存三年。第七十一條對壓力容器，應(yīng)每年實施定期檢查及清掃一次以上，記錄保存三年。第七十二條對局部排氣裝置每年應(yīng)定期實施自動檢查一次以上，發(fā)現(xiàn)異常時應(yīng)即采必要措施。第七十三條每周應(yīng)對有機作業(yè)場所檢點一次以上。有中毒之慮時，應(yīng)即采必要措施。第七十四條對中央主管機關(guān)指定之作業(yè)場所，應(yīng)實施作業(yè)環(huán)境測定。 討論及建議，對于后續(xù)各廠之應(yīng)用可將其納入安全目標來規(guī)劃，落實執(zhí)行并持續(xù)改進，以達安全生產(chǎn)、品質(zhì)控制之完美境界。，母法之源起委請管理局代為說明，另后續(xù)頒布時一并解釋此基準對新/舊廠落實度要求之時程規(guī)劃。在此建議可于新廠建廠規(guī)劃中要求新廠落實本安全基準，舊廠則定五年改善完成日期，可用改善積分方式制定鼓勵獎勵辦法，以提升安全基準之自動落實度。，能先執(zhí)行一個園區(qū)各廠落實度基線評鑒計劃，以供為園區(qū)頒布實施此基準后之績效追蹤考核。 六、參考文獻 William R. Acorn, Code Compliance for Advanced Technology Facilities, A Comprehensive Guide for Semiconductor and Other Hazardous Occupancies, Noyes Publications , 1993 Factory Mutual, FM, Data Sheet 77/1712,Semiconductor Fabrication Facilities, 1997 Factory Mutual, FM, Data Sheet 729, Flammable Liquids in Drums and Smaller Containers, 1997來源于.... 中國最大的資料庫下載 National Fire Protection Association, NFPA 318,Standard for the Protection of Cleanrooms, 1992 National Fire Protection Association, NFPA 30, Flammable and Combustible Liquids Code, 1990 Semiconductor Equipment and Materials International, SEMI S293A, Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment, 1996 中華民國勞工安全衛(wèi)生法，有機溶劑中毒預(yù)防規(guī)則，八十年六月 中華民國勞工安全衛(wèi)生法，特定化學(xué)物質(zhì)危害預(yù)防標準，八十年六月 中華民國勞工安全衛(wèi)生法，危險物及有害物通識規(guī)則，八十一年十二月 中華民國勞工安全衛(wèi)生法，勞工安全衛(wèi)生設(shè)施規(guī)則，八十三年六月1 中國國家標準CNS9329管系識別1 中國國家標準CNS9328安全用顏色通則1 中國國家標準CNS9330安全標示1 化學(xué)設(shè)備或附屬設(shè)備自動檢查基準1 堆高機定期自動檢查基準1 徐啟銘、周煌杰，半導(dǎo)體業(yè)安全衛(wèi)生問題淺論，工業(yè)安全科技，經(jīng)濟部工業(yè)局工業(yè)安全衛(wèi)生技術(shù)輔導(dǎo)團，民國八十七年十月1 林世昌、余榮彬、呂甄玲，新竹科學(xué)園區(qū)六大行業(yè)之職業(yè)災(zāi)害比較分析，工業(yè)安全科技，經(jīng)濟部工業(yè)局工業(yè)安全衛(wèi)生技術(shù)輔導(dǎo)團，民國八十七年十月 附件(一) 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)相關(guān)安全規(guī)范比較(二) 半導(dǎo)體及光電廠化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)安全基準建立期中報告數(shù)據(jù)(三) 期中及期末報告審議記錄數(shù)據(jù)(四) 安全基準草案研討說明會參與廠商及相關(guān)人員名單(五) 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)安全基準說明會記錄及廠商回復(fù)意見(六) 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)安全基準、說明、意見及參考數(shù)據(jù)匯整表31 / 31
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