【正文】 的損壞稱之。五、結論與建議 安全基準架構化學品供應系統(tǒng)安全基準之基本架構，分成三章節(jié)，分述如下：第一章 基準總則：為化學品供應系統(tǒng)安全本基準之目的、適用范圍及名詞解釋。執(zhí)行過程中并召開相關之說明會三場。 化學品供應系統(tǒng)之基準內容，分類順序考慮對人員、環(huán)境、料或設備等層面之危害分類。本安全基準之制定將化學品供應系統(tǒng)以區(qū)域安全設施分別考量其區(qū)域范圍內相關之危害及設置之安全基本要求。 化學品供應系統(tǒng)安全實務解析：安全基準建立之時，與有關半導體廠及光電廠合作訪談參觀，結合實務之作業(yè)了解與現(xiàn)場分析，適時回饋至數(shù)據(jù)匯整流程，以修正本基準之完整性。目錄志謝 Ⅰ摘要 Ⅱ目錄 Ⅳ圖目錄 Ⅴ表目錄 Ⅴ一、前言 1二、研究目的 4三、實施方法 5四、結果與討論 8 潛在危害與作業(yè)區(qū)分類 8 國內外數(shù)據(jù)匯整與草案制定 9 實務分析與討論 10 安全基準匯整與修正 11五、結論與建議 13 安全基準架構 13 安全基準條文 13 討論及建議 24六、參考文獻 26附件(二) 半導體及光電廠化學品供應系統(tǒng)安全基準建立期中報告數(shù)據(jù)(三) 期中及期末報告審議記錄數(shù)據(jù)(四) 安全基準草案研討說明會參與廠商及相關人員名單(五) 化學品供應系統(tǒng)安全基準說明會記錄及廠商回復意見(六) 化學品供應系統(tǒng)安全基準、說明、意見及參考數(shù)據(jù)匯整表圖目錄圖一 全球半導體業(yè)之災害損失(19851994) 3圖二 化學品供應系統(tǒng)安全基準執(zhí)行流程 7圖三 液體化學品供應系統(tǒng)流程架構圖 9表目錄表一 日本半導體制程災害事故分析表 2表二 半導體廠及光電廠化學品供應系統(tǒng)安全基準說明會時程表 11一、前言近年來園區(qū)產業(yè)之重大工安意外事故頻傳，雖歸因于安全管理制度未能有效發(fā)揮與落實，但對于化學品之儲存、供應、使用…等安全基準無統(tǒng)一規(guī)范標準之參考依據(jù)，致使無法有效發(fā)揮及落實安全管理，造成意外事故發(fā)生。摘要近年來園區(qū)產業(yè)之重大工安意外事故頻傳，由新竹科學園區(qū)民國83年至87年災害分析數(shù)據(jù)顯示，與化學品接觸引發(fā)之職業(yè)災害占發(fā)生災害類型之第二位。并由日本半導體制程災害事故分析顯示，液體類化學品造成的災害事故高達61%，為能有效發(fā)揮與落實安全管理制度，期建立半導體廠及光電廠液體化學品之儲存、供應、使用相關規(guī)范、標準，使各廠能有統(tǒng)一之安全基準為管理參考依據(jù)，使業(yè)者透過安全基準規(guī)范，以有效發(fā)揮及落實安全管理，避免意外事故之發(fā)生。由新竹科學園區(qū)83年至87年災害分析數(shù)據(jù)顯示，與化學品接觸引發(fā)之職業(yè)災害占發(fā)生災害類型第二位，并由日本勞工部對日本半導體制程災害事故所做的一份分析顯示，如表一，由液體類化學品造成的害事故高達61%，其中酸/堿液體占51%、有機可燃性液體也高達10%之多，所以對于液體類化學品的使用、輸送及管理不可輕忽。由數(shù)據(jù)匯整與分析，并配合供應系統(tǒng)安全實務解析，建立化學品供應系統(tǒng)安全基準之基本架構及草案條文之內容。依液體化學品供應系統(tǒng)流程架構(參考圖三)，本安全基準內容劃分成概述、收貨區(qū)、儲存區(qū)、儲槽、分配輸送房、清凈室、輸送系統(tǒng)管線及廢液處理等項目，再各別考量對人員、設備、物料環(huán)境等訂定安全基準條文內容。后續(xù)草案完成說明會并修改內容，于八十七年十二月呈送臺灣半導體業(yè)協(xié)會查及園區(qū)工安委員會安全基準小組審議，針對于此草案內容于八十七年十二月三十一日召開期末審查會議，重點內容如下： 本規(guī)范雖無母法之依據(jù)，仍取用之安全基準之名稱，其后名稱之修改由管理局統(tǒng)籌修改頒布。安全基準說明會參與人員共有100多人，與會名單如附件(四)所列。第二章 區(qū)域安全設施：為本安全基準之主要內容，整個供應系統(tǒng)以區(qū)域性來劃分，對各區(qū)域安全制定相關安全基準條文，區(qū)域分成：概述、收貨區(qū)、儲存區(qū)、儲槽、分配輸送房、清凈室、輸送系統(tǒng)管線及廢液處理等。四、 穿墻：passthrough，墻周圍有通路可使化學品、產品、裝備或組件由墻的一邊傳送到墻的另一邊。第六條設備中化學物質之使用開口應有警告標示。第十一條為預防化學物質之腐蝕及泄漏，對設置具有腐蝕性物質之化學設備，其相接觸部份：一、采用不易腐蝕之材質構筑或施以內襯。第十五條危害化學物質泄漏，致有危及勞工之虞時：一、應立即使勞工避難。其管系之掛牌、識別顏色及記號，應依「中國國家標準9329管系識別」規(guī)定辦理。第二十四條堆高機應實施每日作業(yè)前檢點、每月及每年定期檢查，每月及每年定期檢查記錄保存三年。第二十八條可燃性及腐蝕性液體之儲存應采用無穿墻之儲藏柜或儲存房。第三十四條對儲存危害性物質設備，因改造、修理或清掃等而拆卸該設備之作業(yè)或必須進入內部作業(yè)時，為預防配管不致流入危害性物質，應將閥、旋塞等設計為二重關閉或設置盲板等。第三十八條為預防危害性化學品意外混合造成危害：一、危害性化學品應存放在可關閉的的儲存柜或工作區(qū)(cabinets and work station)。四、運送使用之單一最大容器應小于1加侖。第四十五條清凈室內使用可燃性液體，應使用容量小于1加侖()之不銹鋼安全罐分裝至小容器。第五十一條對易燃性及可燃性液體之分配輸送組件應使用認可的型式。第五十七條對易燃性及可燃性液體之整體分配輸送系統(tǒng)應具備以下安全設施及功能：一、超流保護。不使用者應予加鎖、鉛封或施以同效措施，但供緊急使用者，不在此限。四、在機臺及經常注視之明顯位置，應有廢液收集之泄漏偵測指示及警報。三、酸液和可燃性液體不應儲存在相同之柜內。 討論及建議，對于后續(xù)各廠之應用可將其納入安全目標來規(guī)劃，落實執(zhí)行并持續(xù)改進，以達安全生產、品質控制之完美境界。在此建議可于新廠建廠規(guī)劃中要求新廠落實本安全基準，舊廠則定五年改善完成日期，可用改善積分方式制定鼓勵獎勵辦法，以提升安全基準之自動落實度。第七十條對設置之化學設備或附屬設備，每二年定期施行自動檢查一次以上，記錄保存三年。來源于.... 中國最大的資料庫下載(18gauge==)二、儲存柜之門應有自動關閉之設計。二、對不兼容性物質必須提供獨立個別的排放系統(tǒng)。三、在使用端及分流點有手動關斷閥。第五十三條加壓系統(tǒng)應具備以下安全要點：一、為防止著火時壓力急遽上升，需有自動減壓排放閥及手動閥，排放至安全區(qū)域。第四十六條清凈室內運輸可燃性液體應避免使用玻璃容器儲存。六、