sfj-261型氦質(zhì)譜檢漏儀使用說明書-資料下載頁
2025-05-23 18:08本頁面
【正文】 如果出現(xiàn)上表未列出之錯誤，請與生產(chǎn)商或經(jīng)銷商聯(lián)系 六 附錄61 氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器．其質(zhì)譜原理如圖所示。接收器離子源磁場輕離子重離子氦離子氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜學(xué)原理燈絲發(fā)射出來的電子在電離室內(nèi)來回的振蕩，與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進(jìn)入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，軌道半徑 式中R ——離于偏轉(zhuǎn)軌道半徑（cm） B ——磁場強(qiáng)度（T） ——離子的質(zhì)（量）／（電）荷比（正整數(shù)） U ——離子加速電壓（V）由上式可知，當(dāng)R、B為定值時(shí)，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。 62 氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散原理如圖所示。SFJ－261型氦質(zhì)譜檢漏儀為逆擴(kuò)散型。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比）即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。機(jī)械泵進(jìn)氣口氦檢漏口質(zhì)譜室分子泵分子泵進(jìn)氣口機(jī)械泵分子泵出氣口機(jī)械泵出氣口分子泵進(jìn)氣口逆擴(kuò)散的氣體被抽出的氣體逆擴(kuò)散原理逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高，261型氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000Pa（一般常規(guī)檢漏儀為100Pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命長等優(yōu)點(diǎn)。 63 常用單位的換算631 壓強(qiáng)單位的換算PaTorrmbarbaratm1 Pa11021051051 Torr13311031031 mbar10011031031 bar105750100011 atm10576010131632 漏率單位的換算Pam3/sTorrL/SmbarL/SatmmL/S1 Pam3/s1101 TorrL/S11 mbarL/S11 atmmL/S1 64 常用檢漏方法檢漏的目的是確定被檢件漏孔的位置和漏率，這些目的是通過采用一些標(biāo)準(zhǔn)的檢漏方法實(shí)現(xiàn)的。采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。根據(jù)不同的檢漏目的，基本上有五種檢漏方法。641 噴吹法——確定漏孔位置該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統(tǒng)對其抽真空并達(dá)到真空銜接與質(zhì)譜管溝通，然后用噴槍向可疑漏孔噴吹氦氣。當(dāng)有漏孔存在時(shí)，氦氣就通過漏孔進(jìn)入質(zhì)譜管被檢測。下圖是噴吹法原理示意圖。裝有氦氣的壓力容器噴槍被檢件漏孔檢漏儀噴吹法檢漏的靈敏度高，質(zhì)譜管不易受污染，但是檢大容器時(shí)可能有真空抽不下來的情況，可能要加輔助真空設(shè)備。 642 吸入法——確定漏孔位置裝有氦氣的壓力容器吸槍檢漏儀漏孔被檢件又稱吸槍檢漏，如圖15，將專用吸槍聯(lián)接在儀器檢漏口上，被檢件則充入規(guī)定壓力的氦氣（純氦氣或一定比例含氦的混合氣）。檢漏時(shí)，讓吸槍沿可疑漏孔處慢慢移動，若被檢件有漏孔，氦氣自漏孔漏出，被吸槍吸入送至儀器的質(zhì)譜管而被檢測。吸入法檢漏靈敏度相對噴吹法要低，但是其檢漏口真空主要是由吸槍流量決定的，所以不受被檢件容積的限制，適合檢測大的容器。 643 鐘罩法——測總漏率將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進(jìn)入被檢件，最終達(dá)到質(zhì)譜管被檢測（圖l－6）。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個(gè)泄漏點(diǎn)和每個(gè)漏點(diǎn)的準(zhǔn)確位置。裝有氦氣的壓力容器罩被檢件漏孔檢漏儀可以看出鐘罩法是基于噴吹法的一種檢漏方法。 644 背壓法——測總漏率電子元器件進(jìn)行氣密性檢測時(shí)常用背壓法。檢漏前用專用加壓容器向被檢件壓入氦氣（由壓力和時(shí)間控制壓入的量），然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入專用檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實(shí)施檢漏。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進(jìn)入檢漏罐，最終到達(dá)質(zhì)譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率。圖1－7為背壓法檢漏示意圖。檢漏儀壓入氦的被檢件密閉的容器漏孔 645 輔助真空系統(tǒng)對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，檢漏儀的真空度可能抽不上去，使檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對被檢件的抽速。最簡單的輔助真空系統(tǒng)只需一個(gè)機(jī)械泵和兩個(gè)閥門（圖18），復(fù)雜的系統(tǒng)可由前級泵、次級泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔等組成。次級泵可用擴(kuò)散系或羅茨泵，前級系最好用氣鎮(zhèn)式機(jī)械泵。檢漏儀輔助機(jī)械泵閥 七 售后服務(wù)71 售后服務(wù)合肥皖儀科技有限公司：服務(wù)電話； 0551—7114684銷售電話： 0551—7114680傳 真： 0551—5329040地 址： 安徽省合肥市高新區(qū)天達(dá)路71號華億科技園皖儀大廈郵 編： 23008844
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