sfj-261型氦質(zhì)譜檢漏儀使用說明書-預(yù)覽頁
【正文】 器1常閉5輸出繼電器2常開6輸出繼電器2公共端7輸出繼電器2常閉8輸出繼電器3常開9輸出繼電器3公共端10輸出繼電器3常閉11GND12檢漏口真空輸出13漏率信號輸出1415漏率指數(shù)電壓輸出14V對應(yīng)于14，0V對應(yīng)于0234 電子系統(tǒng)示意圖RS232/485數(shù)傳模塊CPU電氣系統(tǒng)示意圖 （電源模塊隱含） 輸入模塊輸出控制模塊控制模塊顯示模塊離子源電源模塊 各模塊功能如下表所示：模塊名稱功 能 簡 介CPU整個電子系統(tǒng)的核心，協(xié)調(diào)所有的操作都顯示模塊顯示漏率，壓力等數(shù)據(jù)控制模塊按鍵輸入以便完成相應(yīng)的操作輸入模塊采樣數(shù)據(jù)并傳送給CPURS232數(shù)傳模塊與外部232設(shè)備通訊，也可接線控器輸出控制模塊控制繼電器，電磁閥的動作，以實現(xiàn)檢漏、停止等操作和氣路切換離子源電源模塊控制離子源的電源*儀器運行時, 離子源電源模塊所在的“電氣部分”有高壓，請不要觸摸，請不要隨意打開機箱后蓋及電氣盒蓋。設(shè)備顯示啟動畫面。報警閾值的設(shè)定：設(shè)定報警的閾值進入設(shè)定后，按[報警閾值]圖標進入如下畫面。要設(shè)定指數(shù)10則按指數(shù)所在的位置然后在鍵盤上輸入相應(yīng)的值即可。音量設(shè)定：設(shè)定報警音量的大小進入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），然后按下[音量]，可進入如下畫面：按[+]或[]可選擇相應(yīng)的音量，在每次更改音量后喇叭會響一聲，以便讓用戶知道現(xiàn)在的音量有多大。濾波方式設(shè)定儀器在停機或待機狀態(tài)下進入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[濾波方式]，進入如下畫面：通過[+]/[]改變?yōu)V波方式動態(tài)濾波：動態(tài)濾波精度高，但響應(yīng)速度略慢。真空模式：真空模式下負壓檢漏，且不響應(yīng)吸槍控制信號。 手動：需要按面板上的[調(diào)零]才可以進入本底扣除方式。 設(shè)定此值后，顯示的值會自動乘上此值。485口的速率可調(diào)，建議使用默認9600，否則可能會造成通訊穩(wěn)定性不高。 注：上下限值的單位為mbar1時間設(shè)定儀器在停機或待機狀態(tài)下進入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[時間]，進入如下畫面如要修改時間，可按數(shù)字后在鍵盤上直接輸入。進入檢漏畫面后顯示為：檢漏模式是否調(diào)零中音量指示漏率指示檢漏口壓力此時可以對被測工件進行噴氦檢漏，漏率的數(shù)值在漏率指示區(qū)顯示。5 調(diào)零（校零）儀器處于檢漏狀態(tài)時，可按「調(diào)零」可扣除當前本底信號，使儀器指示的讀數(shù)為絕對漏率。32 其他檢漏方法的操作321 吸入法檢漏吸入法檢漏的操作與噴吹法基本操作相同，所不同的是：檢漏口接的不是被檢測工件而是專用的吸槍。 四 維護41 基本維護項目411 漏率校準長時間不用或每天開機后進行一次。n 加油：拆下，加油孔堵頭，然后將專用的機械泵油從此孔裝入，注意不要超過MAX線，重新裝好加油孔堵頭即可。五 常見故障和處理51 常見故障和處理故障分類故障現(xiàn)象檢查和排除方法電源開機后無顯示機械泵不運轉(zhuǎn)散熱風(fēng)扇不轉(zhuǎn)電源插座有無~220V插頭與插座是否接觸良好電源開關(guān)是否接觸保險管是否損壞開機后無顯示機械泵不運轉(zhuǎn)檢查電氣盒中變壓器是否接頭是否松動檢查到顯示模塊連接線是否松動風(fēng)扇風(fēng)扇不轉(zhuǎn)檢查風(fēng)扇是否正常檢查風(fēng)扇插座是否松動機械泵開機后有顯示，機械泵不轉(zhuǎn)檢查機械泵電源檢查機械泵機械泵響聲不正常檢查機械泵各連接卡箍檢查檢漏口是否密封檢查機械泵油面機械泵不OK檢查是否有大漏分子泵分子泵不OK檢查分子泵電源檢查及分子泵信號線檢查分子泵各接口是否連接好顯示顯示錯誤，無顯示檢查顯示模塊電源檢漏口真空檢漏口真空抽不下去檢查電磁閥V2燈絲離子源燈絲不加電檢查分子泵檢查離子源插座離子源反復(fù)加電檢查離子源插座按鍵按鍵不起作用檢查按鍵是否損壞按鍵不起作用儀器不停的鳴叫檢查是否有按鍵一直按下說明 如果出現(xiàn)上表未列出之故障，請與生產(chǎn)商或經(jīng)銷商聯(lián)系 52 錯誤代碼及其排除錯誤代碼含義檢查排除E01分子泵出錯重新啟動儀器E02機械泵出錯重新啟動儀器E03燈絲斷路更換燈絲E04檢漏口壓力過高檢查檢漏口是否連接好E05A/D錯誤更換A/DE06燈絲保護重新啟動儀器E07氦峰失準檢查離子源電壓E08其他故障告知廠家說明 如果出現(xiàn)上表未列出之錯誤，請與生產(chǎn)商或經(jīng)銷商聯(lián)系 六 附錄61 氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器．其質(zhì)譜原理如圖所示。SFJ－261型氦質(zhì)譜檢漏儀為逆擴散型。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命長等優(yōu)點。L/SatmL/S11 atm641 噴吹法——確定漏孔位置該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統(tǒng)對其抽真空并達到真空銜接與質(zhì)譜管溝通，然后用噴槍向可疑漏孔噴吹氦氣。 642 吸入法——確定漏孔位置裝有氦氣的壓力容器吸槍檢漏儀漏孔被檢件又稱吸槍檢漏，如圖15，將專用吸槍聯(lián)接在儀器檢漏口上，被檢件則充入規(guī)定壓力的氦氣（純氦氣或一定比例含氦的混合氣）。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準確位置。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐，最終到達質(zhì)譜管。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對被檢件的抽
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