透鏡的拋光ppt課件-資料下載頁
2025-05-07 02:03本頁面
【正文】 。 ? 特點： ? 使用比普通拋光時用的柏油或樹脂更硬的材料（錫）做拋光模； ? 在拋光模和被拋光面之間保持有厚度為數(shù)倍于磨料顆粒尺寸的液體層； ? 工件與拋光模之間的相對速度很大，達到~。 ? 磁流變拋光技術(shù)實質(zhì)上是一種計算機控制小磨頭拋光拋光技術(shù)，其磨頭是由磁流變拋光液在磁場作用下形成的 “ 柔性 ” 磨頭，其形狀和硬度可以由磁場實時控制。 ? 磁流變拋光液在磁場作用下形成的 “ 柔性 ”磨頭，其形狀和硬度可以有磁場實時控制。通過對工件各個帶區(qū)在拋光區(qū)滯留時間的控制便可控制去除量，進而修改整個面形。 ? 磁流變拋光的關(guān)鍵環(huán)節(jié)： ? 磁流變拋光液。要求無磁場時流動性好，有磁場時流變性好，硬度變的很大而且響應(yīng)快。 ? 對磁性拋光頭的各種參數(shù)要能準(zhǔn)確控制。 ? 等離子體輔助拋光（ PACE）是一種利用化學(xué)反應(yīng)來去除表面材料而實現(xiàn)拋光的方法。 ? 拋光機理：也是一種計算機控制小磨頭拋光拋光技術(shù)，此時的拋光頭是由氣體在 RF激勵作用下產(chǎn)生的活性等離子體組成?；钚缘入x子體與工件表面物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成易揮發(fā)的混合氣體，從而將工件表面材料去除。 幾種材料及其拋光氣體和化學(xué)反應(yīng)式 材料 拋光氣體 反應(yīng)方程式 石英 CF4 SiO2+CF4SiF4+CO2 SiC NF3 SiC+NF3SiFx+CFy Be Cl2 Be+Cl2BeCl2 ? PACE拋光的特點 ? 工件不受機械壓力，無相應(yīng)的機械變形和損傷 ? 無亞表面損傷 ? 無污染、工件邊緣無畸變 ? 材料去除率控制精度高 ? 應(yīng)用范圍廣，加工球面和非球面難易程度相當(dāng)。 ? 離子束拋光用被加速的離子與工件表面原子核直接產(chǎn)生彈性碰撞，將能量直接傳給工件材料的原子，使其逸出表面從而將材料去除。 ? 離子束拋光的特點： ? 離子拋光去除材料的最小單位是原子，所以理論上可以獲得高的加工精度。 ? 可以加工球面、平面和非球面；可以加工的材料多，玻璃、石英、陶瓷、晶體、半導(dǎo)體材料、不銹鋼等。 ? 表面不出現(xiàn)變形和產(chǎn)生應(yīng)力及裂紋等缺陷。 ? 設(shè)備復(fù)雜、價格昂貴，需要采用電子計算機、高精度干涉儀、高真空裝置等設(shè)備。 離子束拋光流程 初拋光 干涉儀檢驗 測出面形誤差矩陣 確定離子束位置和停留時間 離子束加工 結(jié)束 7. 磨料彈性濺射拋光（彈性發(fā)射加工） ? 基本思想： 用細顆粒磨料與工件表面進行碰撞，如果其應(yīng)力場的大小比材料原先存在的缺陷之間的距離還要小的話，就能產(chǎn)生晶格數(shù)量級的彈性破壞，以至不會留下產(chǎn)生彈性變形的表層。 特點： ? 與浮法拋光的差別在于采用比較軟的聚氨脂轉(zhuǎn)動球作為拋光模。 ? 與浮法拋光的相似之處是：在球拋光模與工件表面保持液體層，此層的厚度要比磨料顆粒尺寸大得多；工件和拋光模的相對速度很大，大 3m/s；工件和拋光模的壓力非常大，達到 500kPa，大約高出浮法拋光 3個數(shù)量級。 超光滑表面粗糙度的測量 ? ? 可測平面、凸面、凹面、非球面 ? 觸針為金剛石探頭 ? 分辨能力為幾個納米 ? 移動頭中裝有兩個干涉儀 ? 一、干涉法 ? 由顯微鏡、干涉儀、成像傳感器、中間接口和微計算機等構(gòu)成。 ? 采用邁克爾遜干涉儀（美國 WYKO公司） ? 采用諾馬斯基干涉儀（美國 ZYGO公司） ? 二、臨界角法 ? 變位測量原理： 當(dāng)試樣表面位于物鏡的焦點位置時，通過物鏡的反射光成為平行光束入射到臨界角棱鏡上；如試樣表面位置發(fā)生變化，通過物鏡的光線成為發(fā)散或會聚光入射到臨界角棱鏡上。采用光電器件可以感知到這種變化。 三、用掃描隧道顯微鏡（ STM）測量表面粗糙度 ??? mh 22/?)/2e x p ()2/( ???? zzVtJ ??式中， he /2??Jt為隧道電流； z為探針與試樣表面的距離；Ｖ為電壓； h為普朗克常數(shù)； m為電子質(zhì)量； φ是功函數(shù)； e為電子電荷。 作業(yè) : ? 零件的光圈數(shù) N和局部光圈 Δ2N。 ? φ52mm、曲率半徑 R=291mm的平凸透鏡。拋光凸面后，用波長如圖所示光圈。當(dāng)周邊加壓時，條紋從邊緣向中心移動。求加工零件實際的曲率是多少？ ? 面時，在相互垂直的兩個方向上光圈如圖所示。計算光圈數(shù) N和象散光圈 Δ1N。 8 10 A
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