壓阻式傳感器ppt課件-資料下載頁
2025-05-06 18:01本頁面
【正文】 ,可分別用下式計算 : r? t?220222023[ ( 1 ) ( 3 ) ]83[ ( 1 ) ( 1 3 ) ]8rtPrrhPrrh? ? ?? ? ??? ? ? ????? ? ? ? ???優(yōu)點： ? 擴散型壓阻式壓力傳感器的主要優(yōu)點就是體積小、結構簡單，動態(tài)相應好，靈敏度高，滯后、蠕變小，頻率相應高，性能穩(wěn)定，成本低，便于批量生產。 R C（ P 型 ）R CA 001 P硅晶片R C網絡頻率綜合器寬帶放大寬帶放大（ a ） 110 110 （ b ）（ c ）f ’ff差頻壓阻式壓力傳感器工作原理圖 （ a）分布阻容網絡； （ b）相移振蕩器； （ c）差頻振蕩壓阻 式壓力傳感器組合 獨立的相移正弦振蕩器振蕩頻率為： 62f RC??壓力的變化 ： 10 ()f f f f p? ? ? ?? 在實際應用中，為了提高傳感器的靈敏度和克服零點漂移，一般都采用差頻輸出的形式。也就是在選擇適當?shù)木蚝蛿U散電阻的位置，做成兩套相移振蕩器并連接寬帶放大器和頻率綜合器，將其組合在一起構成差頻壓阻式壓力傳感器， 3 壓阻式加速度傳感器 ? 它的懸臂梁直接用單晶硅制成，四個擴散電阻擴散在其根部兩面 。 擴散電阻 質量塊 基座 應變梁 a 上一頁 返 回 下一頁
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