壓阻式傳感器ppt課件-閱讀頁(yè)
2025-05-21 18:01本頁(yè)面
【正文】 擴(kuò)散電阻值隨溫度變化 靈敏度漂移 壓阻系數(shù)隨溫度變化 零 位 溫 漂 串、并聯(lián)電阻 靈敏度溫漂 串聯(lián)二極管 串聯(lián)電阻 Rs起調(diào)零作用 并聯(lián)電阻 RP起補(bǔ)償作用 3 . 靈敏度溫度補(bǔ)償 補(bǔ)償靈敏度漂移原理： 溫度升高時(shí)，靈敏度降低，這時(shí)如果提高電源電壓，使電橋輸出適當(dāng)增大，便可達(dá)到補(bǔ)償目的。 壓阻式傳感器的應(yīng)用 ? 1. 擴(kuò)散型壓阻式壓力傳感器 ? 2. 差頻壓阻式壓力傳感器 ? 3. 壓阻式加速度傳感器 1. 擴(kuò)散型壓阻式壓力傳感器 1低壓腔 2高壓腔 3硅杯 4引線 5硅膜片 在膜片位移量遠(yuǎn)小于膜片的厚度時(shí)，受均勻壓力的圓形硅膜 片上各點(diǎn)的徑向應(yīng)力 和切向應(yīng)力 ,可分別用下式計(jì)算 : r? t?220222023[ ( 1 ) ( 3 ) ]83[ ( 1 ) ( 1 3 ) ]8rtPrrhPrrh? ? ?? ? ??? ? ? ????? ? ? ? ???優(yōu)點(diǎn)： ? 擴(kuò)散型壓阻式壓力傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)就是體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，動(dòng)態(tài)相應(yīng)好，靈敏度高，滯后、蠕變小，頻率相應(yīng)高，性能穩(wěn)定，成本低，便于批量生產(chǎn)。也就是在選擇適當(dāng)?shù)木蚝蛿U(kuò)散電阻的位置，做成兩套相移振蕩器并連接寬帶放大器和頻率綜合器，將其組合在一起構(gòu)成差頻壓阻式壓力傳感器， 3 壓阻式加速度傳感器 ? 它的懸臂梁直接用單晶硅制成，四個(gè)擴(kuò)散電阻擴(kuò)散在其根部?jī)擅?
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