【正文】 具、測試樣品（涂有 光刻膠的測試樣品，帶有金標記的 樣片，用于聚焦的樣品）等。鮒簡觸癘鈄餒嬋鏘戶潑閡諏。. 提供通用樣品臺， 采用卡鉗的方式固定小樣片，樣品尺寸最大為 。瞇毆蠐謝銀癩嘮閣蹺贗襝攖。. 提供用于寫場精細校準的，和用于測量束電流的法拉第杯。. 提供專業(yè)工作站一套， 寸平板顯示器，已預裝好 系統(tǒng)和專業(yè)的電子束曝光軟件。閔屢螢馳鑷雋劍頌崗鳳測際。. 軟件指標. 基于 系統(tǒng)的軟件包。使用 語言形式，方便用戶設定參數(shù)，進而實現(xiàn)全自動運行。檁傷葦開閾燈傘饉諧糧茲繃。. 多用戶環(huán)境，每個用戶可以使用獨立的文件和參數(shù)。. 具有遠程控制 功能的詳細任務列表。. 無縫集成 編輯器，可對曝光圖形進行分層設計（ 層），具有處理復雜圖形的能力。鄭餼腸絆頎鎦鷓鮞嚶錳鉻廄。. 數(shù)據(jù)輸入格式可以為, , 等. 多種掃描方式可供選擇，如：?矢量掃描模式，線性掃描或蛇形掃描。?可曝光任意形狀的單像素點或線。?圓形掃描模式，用于圓形或環(huán)形結構的掃描填充，保證圖形邊緣的光滑，以及低數(shù)據(jù)量的快速處理。?縱向、橫向，或按照任意角度的方向掃描。?位圖光柵掃描,等等。. 圖形對準，用戶可手動完成，或全自動方式完成。. 集成的成像和尺寸度量功能，用于圖形后期測量分析。. 所有軟件均由原廠提供，無第三方軟件。 拉曼光譜附件主機系統(tǒng)光譜儀設計：* 光譜儀采用反射鏡無色差消像差或消像散、消色差的單級光譜儀設計，系統(tǒng)通光效率棄鈾縫遷馀氣鰷鸞覲廩脫轉(zhuǎn)。儀器采用 級激光安全等級標準和模塊化高穩(wěn)固設計。 儀器的研究級顯微鏡、高分辨率光柵、高性能探測器，以及光學系統(tǒng)的主要部件與澆鑄合金基座整體結合，保證系統(tǒng)高穩(wěn)定性。 調(diào)誶續(xù)鷚髏鋮饅喪劉藪顯澮。*儀器整體設計具有激光安全保護暗室，避免物鏡暴露在背景光中，消除潛在的危險。. 靈敏度：單點常規(guī)靈敏度:單晶硅三階峰的信噪比優(yōu)于，可觀察到四階峰。 光譜重復性：優(yōu)于177。 共聚焦技術： 軟件控制機械式針孔式真共聚焦技術，以保證層析測量的精度。雙光闌光學設計：針孔與狹縫處于同一共軛位置，簡化光學傳遞元件，提高拉曼信號傳遞效率，保證共焦與非共焦下都能實現(xiàn)高靈敏度。計算機控制針孔與狹縫自動切換。厲聳紐楊鱔晉頇兗蓽驃鶚騅。 空間分辨率：橫向分辨率 微米 ，光軸方向縱向分辨率 微米* 自動光路準直：儀器自動準直激光激發(fā)光路、拉曼信號傳遞光路與白光光路至顯微鏡載物臺上的微米級樣品點上,自動實現(xiàn)全光路共軸與能量優(yōu)化。苧璦籮藶黃邏閂巹東澤達藥。. 激光激發(fā)組件 高亮度高穩(wěn)定長壽命固體激光器，激光輸出功率179。, 空間模式。鴿攝禱鋅儀憚銼嚕緡贊綁塵。 或半導體激光器，激光輸出功率179。, 空間模式。 瑞利濾光裝置：各激發(fā)波長均采用長壽命雙瑞利濾光片與激光線濾光片 低波數(shù)測量能力: 、所對應拉曼測量低波數(shù)到。（低波數(shù)測量檢測條件白光響應曲線低頻截止區(qū)透射點位于， 并測量位于的硫磺拉曼峰位）。簞嗇癲剴凈趕鉤嬙鱷鳧徑鉍。 樣品點激光功率控制衰減：到樣品激光功率調(diào)節(jié)級 針對每個激發(fā)波長，分別采用優(yōu)化閃耀角高通光效率高分辨光柵：至少包含線, 線, 線等光柵頑鷙瑪濱廈峴轆庫糞糧驪癬。. 探測器 配置國際知名公司或品牌探測器 真空密封，致冷溫度至少186?？刂啤?可見與近紅外增強，量子效率 處 ，處漬閫熾訣團諳賡戰(zhàn)餛錳貨齏。 暗噪聲163。電子像元秒， 讀出噪聲: 電子像元（模式）.共聚焦顯微鏡 配置、 、物鏡明暗場照明 彩色攝像系統(tǒng)，可在計算機上顯示存儲圖像 高精度快速拉曼三維掃描成像自動平臺：、方向最小步長精度微米，方向最小步長精度微米；光譜采集速度：張秒；最大一次成像面積： ；，和二維拉曼成像；方向三維立體拉曼成像；雙屏顯示，雙屏顯示技術，進行拉曼成像與數(shù)據(jù)分析。鐸輜澠頂嫻塊謂斕痹廩矯詼。. 附件拉曼快速成像專用計算機工作站：優(yōu)于 處理器（）,至少內(nèi)存，大于硬盤， 位操作系統(tǒng)，優(yōu)于英寸雙顯示屏。搶觀淚婭師謳論櫚陣蘚塹挾。國產(chǎn)拉曼制樣工具包：液體不銹鋼樣品池、表面增強劑、進口鍍鋁載玻片、移液器、進口物鏡鏡頭清洗紙、洗耳球，標準硫磺品，單晶硅片、防塵儀器罩）賊組櫻種愨單蝕渾潷騾雛閩。國產(chǎn)光學平臺（ ）*拉曼偏振附件：激光偏振軟件自動控制水平和垂直取偏；拉曼信號軟件自動控制水平和垂直選偏；拉曼信號可從度自動連續(xù)選偏。圓漣檸賡搗蕷艫燁錘澤謳結。 能譜儀探測器：硅漂移（）電制冷探測器， 有效面積，超薄窗設計，獨立真空； 能量分辨率： 保證優(yōu)于；元素分析范圍: ～探測器輸出最大計數(shù)率優(yōu)于，可處理最大計數(shù)率優(yōu)于可以進行元素成分的點、線、面分析操作培訓和售后服務供應商提供完善的售后服務。維修保養(yǎng)服務完善、儀器出現(xiàn)問題能響應迅速。供應商在中國大陸地區(qū)具有多個售后服務站，具有不少于名可以從事聚焦離子束電子束雙束電鏡售后應用的本土工程師。蟄彎擼鯁棖佇緡癟槧贊瀅勁。提供完整的人員技術培訓，培訓天數(shù)不少于天。提供場地測試和改造服務，采用交鑰匙工程來驗收場地和整體設備。三、設備安裝與售后服務要求質(zhì)保期自驗收合格之日起年、供貨周期自合同生效后個月以內(nèi)、安裝調(diào)試周期個月。提供操作人員免費培訓一周以上。售后服務包括：及時的技術支持、儀器故障的及時上門維修（小時內(nèi)響應）、儀器保養(yǎng)維護指導?？商峁┌惭b場地的振動、電磁情況測試，提供隔振、電磁屏蔽的裝修改造服務。義淨擁捫毆脅紙窺鈑鳧剝贛。設備驗收要求、設備到貨后由設備供應商和用戶在場共同開箱驗貨。上述所有涉及到的設備，交貨時按供應商的裝箱單逐項檢驗簽收。產(chǎn)品須有產(chǎn)地證明、合格證或保修單。如有缺漏或損壞件，須在個工作日內(nèi)更換全新的相同件。
、設備的安裝調(diào)試由供應商負責，基本功能調(diào)試完成期不得超過個工作日。在安裝調(diào)試中如因遇到暫時無法解決的技術問題（雙方認可）不能達到規(guī)定的技術狀態(tài)時，必須保證在現(xiàn)有系統(tǒng)環(huán)境正常運行的前提下，個工作日內(nèi)給出明確的技術答復并實施新的調(diào)試方案。
、設備正常運行為唯一驗收標準。驗收指標均可以達到供應商在投標文件中應答的情況后用戶才能簽署驗收報告。驗收時如發(fā)現(xiàn)中標人在投標時存在虛假指標響應情況，采購人將取消合同并依法追究中標人的責任，中標人必須承擔由此給采購人帶來的一切經(jīng)濟損失。綏驊懸縉澀鷂禍紳撻糧錛湯。五、需執(zhí)行的標準
保證儀器設備功能正常，各項技術參數(shù)符合相關國家標準、行業(yè)標準及采購技術要求。六、交貨地點：北京理工大學良鄉(xiāng)校區(qū)工業(yè)生態(tài)樓品目：場發(fā)射透射電子顯微鏡 數(shù)量：臺套 一、儀器功能場發(fā)射透射電子顯微鏡是材料科學和生物科學中十分重要的分析工具?？梢赃M行樣品的形貌分析，結構分析和成分分析，新型透射電鏡甚至能進行三維的形貌及成分分析。形貌分析：獲得非晶材料的質(zhì)厚襯度像，多晶材料的衍射襯度像和單晶薄膜的相位襯度像。結構分析：進行電子衍射，原子位錯，孿晶類型，晶界結構等研究。成分分析：小到納米尺度的微區(qū)或晶粒的成分分析。高端場發(fā)射透射電鏡應具有亞原子級別的分辨率和三維重構功能，因此該儀器是探索物質(zhì)微觀本質(zhì)和特性的強有力工具。饅鎖開鑰燜緒玨編軻錙薈馴。二、設備配置情況與性能指標. 工作條件電力供應： 或( )， ()工作溫度：℃ ℃工作濕度： ℃磁場：水平 , 垂直水平 安裝條件：設備接地線電阻 ≤ 歐姆儀器運行的持久性：儀器可連續(xù)使用. 設備用途： 本系統(tǒng)主要用于各種材料的二維三維快速成像和化學分析，系統(tǒng)由電子光學系統(tǒng)、高壓系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等部分組成。獄質(zhì)嶇僅痺鮚潰脫幀開樣藶。. 技術規(guī)格分辨率： 點分辨率：≤ 線分辨率：≤* 信息分辨率：≤加速電壓：*加速電壓：；加速電壓連續(xù)可調(diào)，不少于兩個合軸電壓（必須含）加速電壓全程范圍內(nèi)切換僅需通過軟件完成加速電壓穩(wěn)定度：電子槍：場發(fā)射電子槍電子槍電流密度： ()束流和束斑：總的電子束束流： 束流束斑尺寸≥ , ≥ ( )鍥莧娛殫穢籩殤蕢謬蘚龍孌。束斑漂移： 放大系統(tǒng)： 放大倍數(shù)范圍：–放大倍數(shù)重復性： 電子衍射 最大會聚角 () ：最大衍射角：176。 相機長度：最??；最大 物鏡：*物鏡具有寬闊的極靴空間，具備擴展的三維分析能力和原位分析能力采用恒功率透鏡設計。透鏡的溫度保持恒定，無論透鏡線圈的激勵電流如何變化，工作模式 (，放大倍數(shù)等)如何變化；透鏡的溫度也不隨時間變化而變化。雜磚墳雖紜飯曇覡墾騾釋鈁。樣品臺： 五軸樣品臺，可存儲和復位維 (, , ,α,β) 坐標樣品移動范圍：, 177。 ； : 177。 使用壓電陶瓷樣品臺()，可獲得更高的精度，漂移 分鐘，線性定向的漂移可用壓電陶瓷的移動來抵消，最小移動步長 。壓電陶瓷控制的樣品臺可確保高精度和無漂移的成像和樣品導航，更快更高效的從每個樣品采集更多的數(shù)據(jù)。軾梔嗶鑊繃瘍懔諍訝澤緇瑤。 雙傾斜樣品桿最大傾斜角度：177。176。 最大測角器（樣品臺）傾斜角度：177。176。 樣品臺漂移（使用標準樣品桿）：完全計算機控制，全對中，高穩(wěn)定性掃描透射()：*分辨率：≤ 探頭：高角環(huán)形暗場探頭（）、明場探頭和兩個環(huán)形暗場探頭。 智能掃描技術 ( ) 或者類似的漂移矯正技術可獲得更好的照片尋頭厭嗆羈陰帥讕匭贊憤鶉。 和之間切換后穩(wěn)定時間短，可在幾秒種之內(nèi)完成。 放大倍數(shù)范圍 、同時采集數(shù)據(jù)功能和能譜分析功能，實現(xiàn)多維快速化學分析和成像?？刂栖浖哂锌蛇M行在線或后續(xù)的離線分析，實現(xiàn)在同一點的多種模式或手段的綜合分析。訪齙剛璽蘇濫夾趕螢憑鮚訥。能譜儀() 技術規(guī)格 電制冷能譜儀探測器、無窗設計、遮板保護有效探測器面積：≥ 178。 立體角 () ： 能量分辨率≤ ，α 和 （輸出）快速 成分圖像素駐留時間低至 μ可同時采集和的二維和三維分析信號，實現(xiàn)多維快速化學分析 操作及數(shù)據(jù)處理模式：配備定性、定量數(shù)據(jù)處理軟件及其它標準的用于分析的必備軟件相機: 萬像素相機。* 萬像素相機具有 像素及 像素尺寸，它可以采集大面積的圖像、然后數(shù)字放大來獲得具體位子的高放大倍率的圖像寫韞僂諶虛鍤囈辮褻糝賡戧。具有大的動態(tài)范圍可以滿足拍攝衍射花樣，高的讀取速度（ ）還適合拍攝動態(tài)錄像。羆醬畝餅謄歿湊鈑繳錙穡鐠。安裝位置：底部安裝，* 讀取速度： ， ， ， 鰱診齡師該鈴書銨鴇開孫紗。 三維重構系統(tǒng)技術指標： 樣品桿最大傾角：177。 176。 傾角最小步長：176。*三維重硬件和軟件: 三維重構硬件包含專用大傾角樣品桿一套，和用于數(shù)據(jù)后處理的電腦；三維重構軟件包括：數(shù)據(jù)采集軟件包（模式、模式和模式），和數(shù)據(jù)對中重構及可視化處理軟件包磚緙鵝綱謾擻鴻鑌紙?zhí)\頦湊。 最大圖像漂移：方向 ≤ ( 176。內(nèi)傾轉(zhuǎn)) 最大欠焦量變化：≤ ( 176。內(nèi)傾轉(zhuǎn)) 重復性：≤ (樣品桿重復次進入) 能對樣品桿進行初始化校準，并將所有坐標參數(shù)存儲下來，供對中時用。* 可以實現(xiàn)模式的三維重構、掃描透射()模式三維重構和能譜（）三維重構。鬮煒鰭輥賠還魴隊駝騾詭貲。真空系統(tǒng)：*真空系統(tǒng)構成：完全無油真空系統(tǒng)由機械泵、渦輪分子泵和離子泵等構成真空度：樣品室真空： ，電子槍真空： 電子槍畢懍鲅鵑較惻飾顳矯涇煥櫫。換樣時間少于秒；*更換樣品時無需關高壓電鏡操作： 數(shù)字化操作系統(tǒng)。所有電鏡控制和操作按鈕都可于 ，位的計算機控制系統(tǒng)，用兩個控制墊和一個鼠標控制，并且操作指令執(zhí)行過程中無延時。釓歷駕無醬賠雋驍韉贈三飯。配備有先進的數(shù)字搜索和視攝功能的高速攝像機，可以提高所有應用的處理能力，允許燈光照明操作領先的人體工程學設計，具備有非常友好的數(shù)字化用戶界面，允許在不同的操作模式和數(shù)據(jù)采集技術之間快速切換，切換過程中系統(tǒng)自動調(diào)回所有相關的操作設置。徠鰹飲臉鑠嘗鏍鯢煬憑鑌脈。 電鏡操作者可以根據(jù)需要擁有一套或多套電鏡狀態(tài)參數(shù)，每套狀態(tài)參數(shù)相互獨立，可在使用過程中迅速切換調(diào)用，無時間延遲?？稍O置任意多個用戶，每個用戶之間的參數(shù)設置相對獨立，同時還可以相互調(diào)用。每個操作者在完成了自己的工作退出操作系統(tǒng)后，可以保留所有的狀態(tài)。 當下一次用自己的帳戶進入時，電鏡將會自動完全回復到上次用戶離開時的狀態(tài)，且其間可以允許多次操作。謂鑷頗銨鋃誼鉸鸚鎘糝蘞堝?？刂栖浖哂卸喾N探測器（附件）同時采集數(shù)據(jù)功能和頻譜分析功能，可進行在線或后續(xù)的離線分析，可在幾秒種之內(nèi)完成所需模式（如常用的透射模式與掃描透射模式）之間的切換，實現(xiàn)在同一點的多種模式或手段的綜合分析。變趙隉涼鐓囑釧億殮錙殘釔。具備環(huán)境干擾與儀器 外包裝設計，增加了穩(wěn)定性，實現(xiàn)遠程操作，加強環(huán)境抗干擾力，完全遠程控制，突顯最大的易用性。薈鎣閌漸陸訃輊減鈿異儀猶。操作培訓和售后服務供應商提供完善的售后服務。維修保養(yǎng)服務完善、儀器出現(xiàn)問題能響應迅速。供應商在中國大陸地區(qū)具有多個售后服務站，具有不少于名可以從事場發(fā)射透射電子顯微鏡售后應用的本土工程師。鵬篩鎬討顓辦費嘆攝虜鈺鴆。提供完整的人員技術培訓，培訓天數(shù)不少于天。提供場地測試和改造服務，采用交鑰匙工程來驗收場地和整體設備。三、設備安裝與售后服務要求質(zhì)保期自驗收合格之日起年、供貨周期自合同生效后個月以內(nèi)、安裝調(diào)試周期個月。提供操作人員免費培訓一周以上。售后服務包括：及時的技術支持、儀器故障的及時上門維修（小時內(nèi)響應）、儀器保養(yǎng)維護指導?？商峁┌惭b場地的振動、電磁情況測試，提供隔振、電磁屏蔽的裝修改造服務。糝殞鋦雋駛鶯諑壚輻驄繚覿。四、設備驗收要求、設備到貨后由設備供應商和用戶在場共同開箱驗貨。上述所有涉及到的設備，交貨時按供應商的裝箱單逐項檢驗簽收。產(chǎn)品須有產(chǎn)地證明、合格證或保修單。如有缺漏或損壞件，須在個工作日內(nèi)更換全新的相同件。
、設備的安裝調(diào)試由供應商負責，基本功能調(diào)試完成期不得超過個工作日。在安裝調(diào)試中如因遇到暫時無法解決的技術問題（雙方認可）不能達到規(guī)定的技術狀