表面粗糙度的測(cè)量方法-資料下載頁
2025-04-30 06:40本頁面
【正文】 Rz=1/2C h hi iii39。 /????????? ?? 15155 h h mi xm a x ? ? （ 2）測(cè)量 Ry值： Ry=1/2C 三、干涉顯微鏡測(cè)量表面粗糙度 ?干涉顯微鏡測(cè)量原理： 聯(lián)合運(yùn)用干涉原理和顯微放大原理。對(duì)測(cè)量面垂直高度方向的微觀不平度通過光波干涉法進(jìn)行放大測(cè)量，對(duì)表面粗糙度的水平參數(shù)通過顯微放大系統(tǒng)測(cè)量。 ?干涉顯微鏡 測(cè)量范圍： Rz =?m～ ?m。 ?6JA干涉顯微鏡測(cè)量光路見圖 412。 干涉顯微鏡 1986年 WYKO公司研制成功的 TOPO非接觸微表面測(cè)量系統(tǒng)。 測(cè)量精度達(dá) 自動(dòng)完成測(cè)量。 Mirau干涉儀的改進(jìn)： R被固定在 PZT上。 ?10001帶有旋轉(zhuǎn)檢偏器測(cè)相的改進(jìn)的微分干涉顯微鏡（清華） 垂直分辨率優(yōu)于 1nm，水平分辨力 Nomarski干涉顯微鏡及改進(jìn) 圖 412 干涉顯微鏡光路 6JA干涉顯微鏡測(cè)量光路見圖 412。 四、 觸針法測(cè)量表面粗糙度 1．觸針法的測(cè)量原理 ? 觸針法又稱針描法，它是一種接觸式測(cè)量方法，是利用儀器的測(cè)針與被測(cè)表面相接觸，并使測(cè)針沿其表面輕輕劃過以測(cè)量表面粗糙度的一種測(cè)量法。 ? 將一個(gè)很尖的觸針（半徑可以做到微米量級(jí)的金鋼石針尖）垂直安置在被測(cè)表面上作橫向移動(dòng)，由于工作表面粗糙不平，因而觸針將隨著被測(cè)表面輪廓形狀作垂直起伏運(yùn)動(dòng)。將這種微小位移通過電路轉(zhuǎn)換成電信號(hào)并加以放大和運(yùn)算處理，即可得到工件表面粗糙度參數(shù)值；也可通過記錄器描繪出表面輪廓圖形，再進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，進(jìn)而得出表面粗糙度參數(shù)值。這類儀器垂直方向的分辨率最高可達(dá)到幾納米。 ? 適宜測(cè)量值為 5— ?m范圍內(nèi)的表面粗糙度。 圖 415 輪廓儀的原理框圖 2．電感輪廓儀 ? 電感輪廓儀的 傳感器原理 如圖 414所示。 ? 圖 415為 儀器的原理框圖 。 3．激光干涉式輪廓儀 ? 激光干涉式輪廓儀中，干涉系統(tǒng)的測(cè)量鏡與觸針分別位于杠桿的兩端，其位移量之間為確定的比例關(guān)系，因此由測(cè)得的測(cè)量鏡的位移量可算得觸針的位移量。 ? 與電感式輪廓儀相比，激光式輪廓儀具有寬量程和高分辨力的特點(diǎn)。 4．壓電式輪廓儀 ? 壓電式輪廓儀用具有壓電特性的晶體作為傳感器的換能元件。硅脂是一種粘滯性很強(qiáng)的液體，當(dāng)觸針隨工件表面快速上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，液體摩擦很大，可認(rèn)為觸針桿被夾緊在槽片中，壓電晶片因觸針的位移而產(chǎn)生變形，并在晶片表面產(chǎn)生與變形成比例的電荷。當(dāng)觸針以很慢的速度移動(dòng)時(shí)，硅脂的液體的摩擦很小，允許觸針桿相對(duì)槽 片打滑，位移不傳給壓電晶片，有濾除低頻信號(hào)的功能。 ? 壓電式輪廓儀結(jié)構(gòu)緊湊，便于攜帶。 MarSurf XR 20 便攜式表面粗糙度儀 哈量形狀測(cè)量?jī)x MarSurf LD 120 Kontur und Rautiefe in einem Zug. 10 mm Hub, 4 nm Aufl246。sung
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