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半導體技術應用于太陽能-資料下載頁

2025-04-29 04:05本頁面
  

【正文】 藝。 四、快速的工藝調整 依靠中聯(lián)科利強大的技術力量支持,以及在濕制程方面積累的豐富經(jīng)驗,可迅速對不同廠商不同批次的硅片的作出工藝調整。 中聯(lián)科利太陽能制絨設備特點 CUC 低腐蝕量 穩(wěn)定的制絨工藝,全自動的操作系統(tǒng),工藝的針對性,嚴格的工藝操作監(jiān)控手段等。 降低絨面制作對去損傷的要求,使得以更小的刻蝕量以獲得良好的絨面結構。 刻蝕量: ~10181。m 中聯(lián)科利太陽能制絨設備特點 CUC 兼容性 采用不同的耐腐蝕及兼容性材料,提高材料對單多晶工藝的可兼容性。兩面風淋隔離,頂部外加潔凈單元,利用三面氣流的導向作用,迅速排放單多晶制絨所產生的腐蝕性氣體,避免了氣體的竄槽現(xiàn)象,解決了槽間的相互影響,從而實現(xiàn)單多晶工藝兼容。國內設備大多沒有考慮到酸堿腐蝕隔離問題。 潔凈單元 兩面風淋隔離 溢流 腐蝕性氣體 中聯(lián)科利半導體技術優(yōu)勢在太陽能設備中的具體應用 關鍵技術 CUC ?先進的氣路控制系統(tǒng): 在設備的頂部增加潔凈單元,利用氣流體的導向作用實現(xiàn)揮發(fā)的腐蝕性氣體以及生成氣體快速排放 潔凈單元 排風口(負壓) 溢流 傳統(tǒng)的制絨槽:排風口在頂部,堿性蒸氣易在壁上形成結晶,酸氣易形成粘稠 中聯(lián)科利先進的氣流控制系統(tǒng),消除了酸堿蒸氣的影響 延長設備壽命 改善操作環(huán)境 增加潔凈度 避免二次污染 保證質量 關鍵技術 CUC 傳統(tǒng)的制絨設備采用簡單的自然溢流 我們的設備采用四周圓齒狀的結構,消除了表面張力的影響,實現(xiàn)均勻溢流,循環(huán)無死角 普通的槽體設計 中聯(lián)科利的槽體設計 溢流 ?全溢流的循環(huán)槽體設計 關鍵技術 CUC ?自動補液系統(tǒng)的應用 預熱、恒溫、預混合的全自動補液系統(tǒng) 配合循環(huán)槽體可實現(xiàn)去除反應產物的功能 保持藥液的最佳狀態(tài) 關鍵技術 CUC ?自動補液系統(tǒng)的應用 多點檢測 ,冷熱恒溫,管路加熱 全自動的補液循環(huán)系統(tǒng) 最優(yōu)的補液點控制 關鍵技術 日本資深專家嚴格的生產流程控制,潔凈的生產環(huán)境,使太陽能的設備具有半導體設備的品質。選用滿足半導體要求的管件、材料。 CUC ?半導體優(yōu)良加工工藝的應用 關鍵技術 CUC ?高速伺服馬達 快速平穩(wěn)傳送、沖擊小 高效的生產效率 提高生產量 降低碎片率 關鍵技術 機械臂提升部整體包覆 PP板; 花籃掛鉤采用進口耐腐材料; 金屬框體外露部均有防腐包板。 CUC ?設備防腐措施 關鍵技術 采用 QDR技術 成倍提高清洗效果 CUC ?提高清洗效果的對策 快排時間: ≤5S 關鍵技術 CUC ?防漏槽體的設計 防止了藥液對部件的腐蝕 提高設備的使用壽命 具備設備的自清洗功能 關鍵技術 CUC ? PLC控制系統(tǒng) ,智能化的管理 根據(jù)不同廠商不同批次硅片,預設工藝控制方案。保證生產的系統(tǒng)性以及連續(xù)性,實現(xiàn)產能的最大化。 ? 設備的系統(tǒng)管理 生產過程的全程記錄,工藝偏離或設備異常的報警裝置,保證了生產的順利進行。 ? CIM通訊技術的應用 實現(xiàn)工廠的遠程控制及自動化管理 LOGO
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