田口式品質(zhì)工程-資料下載頁(yè)
【導(dǎo)讀】當(dāng)產(chǎn)品在製程出現(xiàn)疵病時(shí)，影響該項(xiàng)疵病的原因有多項(xiàng)，而每項(xiàng)疵病原因又有多種水準(zhǔn)，該如何去規(guī)劃實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)才。能使實(shí)驗(yàn)次數(shù)減少而又不影響品質(zhì)的判定，即決定各項(xiàng)可?？刂埔蜃拥乃疁?zhǔn)，使產(chǎn)品品質(zhì)特性為最好，田口品質(zhì)工程。的直交表與參數(shù)的設(shè)計(jì)法可解決上述問(wèn)題。工程重點(diǎn)在於設(shè)計(jì)出堅(jiān)耐性高的製程與產(chǎn)品，降低可能的變異，提高品質(zhì)以減少產(chǎn)品出廠後。造成之社會(huì)損失。生產(chǎn)線外品質(zhì)管制。製程在目標(biāo)中心值。務(wù)之成本支出需增加成本成本不增反降。為達(dá)到減小變異，需。自眾多因素中找出多。項(xiàng)對(duì)策，頗耗時(shí)間。決定對(duì)策之因素少，容。易找出最佳之設(shè)計(jì)組合。相對(duì)縮短開發(fā)時(shí)間，並?？砂l(fā)展獨(dú)特製造技術(shù)。田口認(rèn)為企業(yè)負(fù)有社會(huì)責(zé)任，故企業(yè)之經(jīng)營(yíng)成本不。應(yīng)轉(zhuǎn)嫁成為全體人民所負(fù)擔(dān)的‘社會(huì)成本’;亦即。當(dāng)品質(zhì)特性從其目標(biāo)值因變異而偏移時(shí)，該產(chǎn)品之。品質(zhì)損失結(jié)果將趨近於拋物線二次方程式，意即損失不。應(yīng)只是合格/不合格二分法來(lái)討論，而是具。有連續(xù)性的特質(zhì)。交互作用配行表8L
【正文】 30 電鍍時(shí)間 5 min/10 min/15 min 電鍍槽溫度 a d b e c D B C A 晶圓面 內(nèi)位置 /C20? /C30? C40?Rene Kao 2020/7/7 29 步驟三：因子的配置 記號(hào) 1 2 3 A . . B C 10 20 30 D 5 min 10 min 15 min 行 A 1 B 2 C 3 D 4 S(晶圓面內(nèi)位置 ) 號(hào) 電鍍時(shí)間 電鍍槽溫度 氨水 還原劑量 a b c d e No 1 1 1 1 1 2 1 2 2 2 3 1 3 3 3 4 2 1 2 3 5 2 2 3 1 數(shù) 據(jù) 6 2 3 1 2 7 3 1 3 2 8 3 2 1 3 9 3 3 2 1 步驟四：決定實(shí)驗(yàn)順序，進(jìn)度安排 因子與水準(zhǔn) 因子配置表 1A 2A 3A1B 2B 3B1C2D2C 3C1D 3DC20? C30? C40?? ?49 3LRene Kao 2020/7/7 30 步驟五：實(shí)驗(yàn)及收集數(shù)據(jù) 行 A B C D Ni膜厚數(shù)據(jù) (單位 :刻度 ) 號(hào) 1 2 3 4 a b c d e No 1 1 1 1 1 2 1 2 2 2 3 1 3 3 3 4 2 1 2 3 5 2 2 3 1 6 2 3 1 2 7 3 1 3 2 8 3 2 1 3 9 3 3 2 1 實(shí)驗(yàn)的配置及數(shù)據(jù) Rene Kao 2020/7/7 31 步驟六：數(shù)據(jù)分析及決定最適條件 (1) SN比 之計(jì)算 (2) 靈敏度 S之計(jì)算 (3) 作出各個(gè)樣本 SN比 和靈敏度 S一覽表 樣本 NO. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 ?)db(?)db(S?Rene Kao 2020/7/7 32 (4) 求各因子水準(zhǔn)的 SN比 及靈敏度 S之平均值 (5) 作出各因子和各水準(zhǔn)的 SN比 及靈敏度 S的一覽表 要因 1 2 3 Max Min A B C D 要因 1 2 3 Max Min A B C D SN比 之一覽表 (db) 靈敏度 S 之一覽表 (db) ???Rene Kao 2020/7/7 33 回 應(yīng) 圖 A B C D 24 2220 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 2 1 2 3 1 2 3 1 2 3 1 2 3 A : 電鍍時(shí)間 B : 電鍍槽溫 C : 氨水量 D : 還原劑量 )db(?比 SN靈敏度)db(SRene Kao 2020/7/7 34 (6) 決定各要因的最適條件 ? 減少變異 → 選擇 中最大水準(zhǔn) → ?符合目標(biāo)值 → 選擇對(duì) 不太發(fā)生效果並且大幅度改變膜厚值的要因 調(diào)整那一因子？ 調(diào)整因子 調(diào)整 B因子時(shí)品質(zhì)變動(dòng)不大 調(diào)整多少 ？ 電鍍膜厚的目標(biāo)值 之最大水準(zhǔn)的靈敏度值 ?最適條件 → → 內(nèi)差法求 B因子的溫度 ?? 3211 DCBA ﹑﹑﹑1BS?S?S 0 ??△ ??)db(?nSl o g10ml o g10S? m20 ≒???S? ? ? ? ?SSSSS 1B1A ????? ? ? ?SSSS 3D2C ????32321 DCBBA ﹑之間﹑與﹑Rene Kao 2020/7/7 35 步驟七：最適條件之效果的推定 調(diào)整前 調(diào)整後 SN比 之估計(jì) 靈敏度 S之估計(jì) 的估計(jì) 的估計(jì) 與目標(biāo)值之比較 步驟八：確認(rèn)實(shí)驗(yàn) ?32321 DCBBA ﹑之間﹑與﹑3112 DCBA ﹑﹑﹑y??? 3y T3D1C1B2A ???????????? T3D2C1A ?????????? 3D1C1B2A ?????? ? ? 3D2C3B2B1A SSSS21SS? ?????8 6 ?? 20S? ?? ? 20 ??? ? ??)2 8 ,0 3 (3 7 ??? )66 ,25 (23 ???),( ??? ),( ?
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