各種長晶方法ppt課件-資料下載頁
2025-01-14 11:18本頁面
【正文】 定規(guī)律打孔，以調(diào)節(jié)發(fā)熱電阻使其通電后白上而下造成近乎線性溫差。而發(fā)熱體下半部溫差通過石墨發(fā)熱體與水冷電極板的傳導(dǎo)來創(chuàng)造。籽晶附近的溫場還要依靠與水冷坩堝桿的熱傳導(dǎo)共同提供 溫度梯度法 示意圖 溫度梯度法 特點(diǎn) ? 1) 晶體生長時溫度梯度與重力方向相反，并且坩堝、晶體和發(fā)熱體都不移動，這就避免了熱對流和機(jī)械運(yùn)動產(chǎn)生的熔體渦流 ? 2) 晶體生長以后，由熔體包圍，仍處于熱區(qū)。這樣就可以控制它的冷卻速度，減少熱應(yīng)力。而熱應(yīng)力是產(chǎn)生晶體裂紋和位錯的主要因素 ? 3) 晶體生長時，固 — 液界面處于熔體包圍之中。這樣熔體表面的溫度擾動和機(jī)械擾動在到達(dá)固 — 液界面以前可被熔體減小以致消除。這對生長高質(zhì)量的晶體起很重要的作用 焰 熔法 ? 最早是 1885年由弗雷米（ E. Fremy）、弗爾（ E. Feil）和烏澤（ Wyse）一起 ，利用氫氧火焰熔化天然的紅寶石粉末與重鉻酸鉀而制成了當(dāng)時轟動一時的“ 日內(nèi)瓦紅寶石”。后來于 1902年弗雷米的助手法國的化學(xué)家維爾納葉（ Verneuil）改進(jìn)并發(fā)展這一技術(shù)使之能進(jìn)行商業(yè)化生產(chǎn)。因此，這種方法又被稱為維爾納葉法 焰 熔法 基本原理 ? 焰熔法是從熔體中生長單晶體的方法。其原料的粉末（ γ 型 AL2O3）在通過高溫的氫氧火焰后熔化，熔滴在下落過程中冷卻并在籽晶上固結(jié)逐漸生長形成晶體 ,. 料錘周期性地敲打裝在料斗里的粉末原料，粉料從料斗中逐漸地往下掉，落到位置 6處，由入口 4和入口 5進(jìn)入的氫氣氧氣形成氫氧焰，將粉料熔融。熔體掉到籽晶 7上，發(fā)生晶體生長，籽晶慢慢往下降，晶體就慢慢增長。使用此方法生長的晶體可長達(dá) 1m。由于生長速度較快，利用該法生長的紅寶石晶體應(yīng)力較大 , 只適合做手表軸承等機(jī)械性能方面 焰熔法生長方式示意圖 導(dǎo)模 法 (EFG) ? 導(dǎo)模法生長晶體的原理如 左圖所示。將原料置于銥坩堝中，借由高頻感應(yīng)加熱器加熱原料使之熔化，于坩堝中間放置一銥制模具，利用毛細(xì)作用讓熔湯攤平于銥制模具的上方表面，形成一薄膜，放下晶種使之碰觸到薄膜，于是薄膜在晶種的端面上結(jié)晶成與晶種相同結(jié)構(gòu)的單晶。晶種再緩慢往上拉升，逐漸生長單晶。同時由坩堝中供應(yīng)熔湯補(bǔ)充薄膜 內(nèi)部文件
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