光學(xué)電流傳感器ppt課件-資料下載頁
2024-11-03 17:35本頁面
【正文】 MEMS扭轉(zhuǎn)微鏡 ? MEMS— 微電子機械系統(tǒng) ? 優(yōu)點：基于硅微加工技術(shù)制造，可大批量、高一致性、低成本生產(chǎn)；特征尺寸在微米級別，材料基于硅但不限于硅；可集成智能化微系統(tǒng)。 ? MEMS扭轉(zhuǎn)鏡：通過 MEMS技術(shù)制造的在某種驅(qū)動下可以發(fā)生轉(zhuǎn)動的微機械器件。 ? 原理：根據(jù)電磁感應(yīng)原理，羅氏線圈將交變大電流信號變?yōu)榈碗妷盒盘?，再以交變小電流的形式引入到與之串聯(lián)的MEMS驅(qū)動線圈中，驅(qū)動線圈在永磁鐵磁場力矩的作用下使微鏡繞扭轉(zhuǎn)梁振動，雙光纖準(zhǔn)直器與扭轉(zhuǎn)鏡背面的鏡面形成反射回路，鏡面扭轉(zhuǎn)使得反射光束的方向發(fā)生改變，從而對耦合到光纖中的能量進行調(diào)制。因此對輸出光損耗峰值的檢測，可以確定鏡面的轉(zhuǎn)角幅度，進而獲取電流的幅值信息。 ? 同樣，也可以利用導(dǎo)線本身的交變磁場作為驅(qū)動磁場。 ? 上面均利用了羅氏線圈，單獨的 MEMS線圈也可以在交變磁場中感應(yīng)出電壓。 ? — 上海第一所真正意義上的數(shù)字化變電站 ? 采用全光纖式 OCT檢測電流 ? 特色： （可將敏感環(huán)安裝于上） 、差動解調(diào)方式：在敏感器內(nèi)通入兩束正交光源，在經(jīng)過同一光路以后，其受外界的影響相同，回到調(diào)制器以后，經(jīng)差動解調(diào)方式可將干擾信號互相抵消，減小外界影響。 ? 注：還可采用閉環(huán)負反饋控制技術(shù)來解決外界干擾。 ? 流互感器的成果 POSSOCT。介紹了其相關(guān)的穩(wěn)定性測試系統(tǒng)。
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