數(shù)字干涉測(cè)量方法及面形的三維干涉測(cè)量及評(píng)價(jià)-資料下載頁
2025-10-02 17:05本頁面
【導(dǎo)讀】數(shù)字干涉技術(shù)的原。PV，RMS的定義有所掌握。隨著電子技術(shù)與計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，并與傳統(tǒng)的干涉檢測(cè)方法結(jié)合，產(chǎn)生了一種新的位相檢測(cè)技術(shù)??這種方法不僅能實(shí)現(xiàn)干涉條紋的實(shí)時(shí)提取，而且可以利。/100的精度，這是目前干涉儀精度最高的。參考鏡2由壓電陶瓷PZT驅(qū)動(dòng)，產(chǎn)生位移。移動(dòng)量由計(jì)算機(jī)控制。設(shè)參考鏡的瞬時(shí)位移為li，被測(cè)表面。干涉場(chǎng)中任意一點(diǎn)的光強(qiáng)都是li的余弦函數(shù)。化，因此光強(qiáng)是一個(gè)時(shí)間周期函數(shù)，可用傅里葉級(jí)數(shù)展開。的采樣值計(jì)算出來，因此，可獲得整個(gè)孔徑上的位相。高精度光學(xué)平面零件的面形精度可用下列二個(gè)評(píng)價(jià)。指標(biāo)，如下圖所示。試比較本方法與你。不可能，只能靠加工水平來保證。
【正文】 i??xi?? 單次測(cè)值 N?? 重復(fù)測(cè)定次數(shù) 6 三 、 實(shí)驗(yàn)光路 同實(shí)驗(yàn) —— 精密位移量的激光干涉測(cè)量方法及實(shí)驗(yàn) (加 PZT) 四 、 實(shí)驗(yàn)記錄 被測(cè)工件：平面鏡 序號(hào) PV RMS EM 等高圖（凹 或凸） 1 2 3 4 7 五 、 思考題 1. 采用下列方法可以提高測(cè)量精度嗎 ? a. 增加一個(gè)周期內(nèi)的臺(tái)階數(shù) (n)； b. 增加掃描的周期數(shù) (p) 2. 測(cè)量精度一般由測(cè)量正確性和測(cè)量重復(fù)性組成，試分析增加 n或 p的作用以及利弊關(guān)系 3. 試分析決定數(shù)字干涉儀測(cè)量準(zhǔn)確性的因素和提高測(cè)量準(zhǔn)確性的主要方法 4. 你知道測(cè)量表面三維形貌有什么意義和作用嗎？試比較本方法與你了解的其它方法（例如輪廓探針法，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)法，共焦法等）的優(yōu)缺點(diǎn)。 5. 為什么說本方法可以消除干涉儀自身的系統(tǒng)誤差，而普通干涉儀則不可能，只能靠加工水平來保證。 6. 光圈數(shù) N，局部光圈數(shù) ΔN， EM的物理意義以及與 PV， RMS的大致關(guān)系。
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