數(shù)字干涉測量方法及面形的三維干涉測量及評價-資料下載頁
2024-10-11 17:05本頁面
【導(dǎo)讀】數(shù)字干涉技術(shù)的原。PV，RMS的定義有所掌握。隨著電子技術(shù)與計算機技術(shù)的發(fā)展，并與傳統(tǒng)的干涉檢測方法結(jié)合，產(chǎn)生了一種新的位相檢測技術(shù)??這種方法不僅能實現(xiàn)干涉條紋的實時提取，而且可以利。/100的精度，這是目前干涉儀精度最高的。參考鏡2由壓電陶瓷PZT驅(qū)動，產(chǎn)生位移。移動量由計算機控制。設(shè)參考鏡的瞬時位移為li，被測表面。干涉場中任意一點的光強都是li的余弦函數(shù)。化，因此光強是一個時間周期函數(shù)，可用傅里葉級數(shù)展開。的采樣值計算出來，因此，可獲得整個孔徑上的位相。高精度光學(xué)平面零件的面形精度可用下列二個評價。指標，如下圖所示。試比較本方法與你。不可能，只能靠加工水平來保證。
【正文】 i??xi?? 單次測值 N?? 重復(fù)測定次數(shù) 6 三 、 實驗光路 同實驗 —— 精密位移量的激光干涉測量方法及實驗 (加 PZT) 四 、 實驗記錄 被測工件：平面鏡 序號 PV RMS EM 等高圖（凹 或凸） 1 2 3 4 7 五 、 思考題 1. 采用下列方法可以提高測量精度嗎 ? a. 增加一個周期內(nèi)的臺階數(shù) (n)； b. 增加掃描的周期數(shù) (p) 2. 測量精度一般由測量正確性和測量重復(fù)性組成，試分析增加 n或 p的作用以及利弊關(guān)系 3. 試分析決定數(shù)字干涉儀測量準確性的因素和提高測量準確性的主要方法 4. 你知道測量表面三維形貌有什么意義和作用嗎？試比較本方法與你了解的其它方法（例如輪廓探針法，三坐標測量機法，共焦法等）的優(yōu)缺點。 5. 為什么說本方法可以消除干涉儀自身的系統(tǒng)誤差，而普通干涉儀則不可能，只能靠加工水平來保證。 6. 光圈數(shù) N，局部光圈數(shù) ΔN， EM的物理意義以及與 PV， RMS的大致關(guān)系。
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