楔形平板產(chǎn)生的等厚干涉-資料下載頁(yè)
2025-05-10 00:42本頁(yè)面
【正文】 凹 下去的。 H 2???laHl a ? 工件 標(biāo)準(zhǔn)平面 由圖： H=asin? 因 ： lsin? =?/2, 所以 紋路深度 例題 波長(zhǎng) ?的光垂直入射折射率為 n2的劈尖薄膜， n1 n2 ,n2 n3 ,如圖所示 。在反射光中觀察，從尖頂算起，第二條明紋對(duì)應(yīng)的薄厚是多少？ 解 由薄膜公式，有 n3 n2 n1 ? ? 22 en??2?? ?? k,......2,1?k顯然，取 k=2。 于是第二條明紋對(duì)應(yīng)的薄厚為 243ne ??［ 例 ］ 在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中 ， 為測(cè)定硅片上的 Si02薄膜厚度 ，將薄膜一側(cè)腐蝕成劈尖形狀 ， 如圖 。 用鈉黃光從空氣中垂直照射到 Si02表面上 ， 在垂直方向上觀察 Si02劈尖膜的反射光干涉條紋 ， 看到有 七條 暗紋 ， 第七條恰位于 N處 ， 問(wèn)薄膜的厚度 ？ ［解］： 3 ? i o 22 ??M N 相鄰暗紋間的膜厚之差 明、暗紋間的膜厚之差 2n4e ????故： 12768n4n26e 22 ?????? 197。
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