用于流體壓力測量的電容傳感器-資料下載頁
2025-08-27 17:15本頁面
【導(dǎo)讀】力傳感器的檢測電路，并分析了流體壓力大小與傳感器輸出電壓的關(guān)系。實驗結(jié)果表明，該。傳感器具有精度高、線性度好、靈敏度大等優(yōu)點，尤其適于微壓力和大動態(tài)力的測量。檢測機械位移、物體尺寸、壓力、料位以及材料的物理參數(shù)等。隨著科學技術(shù)的發(fā)展，各種。新型結(jié)構(gòu)的電容傳感器不斷被研制與開發(fā)出來，這使電容傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域更加廣泛。壓力傳感器的電氣特性，可用2個電容C1和C2來等效，壓力P作用于膜片產(chǎn)生變形，電容壓力傳感器結(jié)構(gòu)簡單，靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)快，不足之處是存在非線性。工藝方面，在玻璃上蒸鍍一層金屬膜片作為電容電極，目的是消除電容極板的變形，保證極板有很好的平面度。半周時，C2通過R2和RL放電，在RL上形成放電電流i2。C2時，一個周期內(nèi)，放電電流i1和i2的大小相等，方向相反，流過RL的平均電流為0；有關(guān)，所以要求電源要穩(wěn)定。［2］侯國章.測試與轉(zhuǎn)換技術(shù)［M］.哈爾濱：哈爾濱工業(yè)出版社，1998.
【正文】 源要穩(wěn)定。 4 實驗結(jié)果與分析 45V、頻率為 ，電容變化為 177。5pF情況下，不需放大環(huán)節(jié)，在 1 MΩ負載上就可得到 5V以上的輸出，測壓范圍約為－ 10～ 60kPa。 (3)實驗曲線如圖 3所示，當 P＝ 0時，流過 RL 的平均電流為 0，輸出 UO＝ 0；當施加壓力 P時，流過 RL的平均電流不為 0， UO隨 P呈線性變化。 (4)傳感器的分辨率小于 1 Pa，已成功應(yīng)用于位移的微變檢測，也適用于其他微壓力和大動態(tài)力的測量。 參考文獻 ［ 1］陶寶旗，王妮 .電 阻應(yīng)變式傳感器［ M］ .北京：國防工業(yè)出版社， 1993. ［ 2］侯國章 .測試與轉(zhuǎn)換技術(shù)［ M］ .哈爾濱：哈爾濱工業(yè)出版社， 1998. 用于流體壓力測量的電容傳感器 技術(shù)文章用于流體壓力測量的電容傳感器
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