【正文】 一般照明采用高壓光效金屬鹵化物燈具，車(chē)間局部照明與辦公室照明一般均選用熒光燈。其它輔助生產(chǎn)車(chē)間辦公通道等一般選用日光 29 / 64 燈和吸頂燈等，廠(chǎng)區(qū)道路照明采用高壓鈉燈。照明標(biāo)準(zhǔn)按國(guó)家有關(guān)規(guī)定及工藝要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。生產(chǎn)車(chē)間一般照明 75lx，局部照明為 150～ 200lx；辦公室 150lx，廠(chǎng)區(qū)道路 20lx。在車(chē)間重要場(chǎng)所和主要入口設(shè)置事故應(yīng)急照明和疏散誘導(dǎo)燈，照明線(xiàn)與電力支線(xiàn)一樣敷設(shè)。 (2) 防雷與接地 本廠(chǎng)按國(guó)家有關(guān)規(guī)范進(jìn)行防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)，并盡量 利用建筑物屋面、柱內(nèi)、圈梁及基礎(chǔ)內(nèi)主鋼筋做防雷與接地設(shè)施。生產(chǎn)線(xiàn)接地保護(hù)采用 TNCS接地系統(tǒng)。廠(chǎng)區(qū)已按三類(lèi)建筑物考慮防雷設(shè)施，采用沿四周山墻設(shè)置避雷帶，變壓器中性點(diǎn)接地，接地電阻小于 4Ω；車(chē)間電纜進(jìn)戶(hù)處要做重復(fù)接地，接地電阻小于 10Ω，其它特殊設(shè)備的工作接地電阻應(yīng)按滿(mǎn)足相應(yīng)設(shè)備的接地電阻要求。 (3) 消防設(shè)計(jì) 消防設(shè)備的電源均實(shí)現(xiàn)雙回路末端自動(dòng)切換。生產(chǎn)車(chē)間在主要通道，走廊電梯前室，樓梯間及主要入口等均設(shè)應(yīng)急照明和疏散指示燈。 輔助工程 空氣凈化及調(diào)節(jié) 根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求，廠(chǎng)房潔凈度：清洗制絨間、擴(kuò)散間 1 萬(wàn)級(jí)；其余 10 萬(wàn)級(jí) ,走廊 30 萬(wàn)級(jí)的潔凈環(huán)境，環(huán)境溫度為 18℃ ～ 25℃ ，因此需要采取空氣凈化和空氣調(diào)節(jié)措施。 空氣凈化：根據(jù)工藝設(shè)備布置及建筑面積，需配置附有空氣凈化設(shè)備的組合式空調(diào)機(jī)組 4 套，風(fēng)機(jī)風(fēng)量為 36 萬(wàn)立方米 /時(shí)。含風(fēng)機(jī)段及初效和中效過(guò)濾段、混合段，通過(guò)風(fēng)道向操作區(qū)送風(fēng)，在風(fēng)道出口處再安裝普通型過(guò)濾器。經(jīng)凈化處理后的空氣可以滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝對(duì)潔凈廠(chǎng)房的要求。空調(diào)機(jī)組選用40STDE670WS 四臺(tái)， 40STDE180WS 八臺(tái)。 冷源采用冷水機(jī)組制冷。制冷量： 720KW，水溫控制范圍 10～ 25 ℃ 。 氣體動(dòng)力 ① 空壓站 空壓站設(shè)在各動(dòng)力站房。 空壓站系統(tǒng)組成：空壓機(jī)、儲(chǔ)氣罐、預(yù)過(guò)濾器、無(wú)熱再生干燥器、終過(guò)濾器、管道及閥門(mén)附件。② 冷凍站 冷凍站設(shè)在各動(dòng)力站房。 冷凍站系統(tǒng)組成：離心式冷水機(jī)組、冷凍水循環(huán)泵、閉式膨脹罐、加藥裝置、管道及閥門(mén)附件、 30 / 64 保冷材料等。 ③ 冷凍機(jī)用循環(huán)冷卻水系統(tǒng) 循環(huán)水泵置于冷凍站內(nèi)，冷卻塔則置于其屋面上。 系統(tǒng)概述：為開(kāi)式循環(huán)系統(tǒng)，以自來(lái)水為補(bǔ)水 。管路上裝有智能全自動(dòng)刷式過(guò)濾器，以清除系統(tǒng)中的懸浮物。 ④ 真空系統(tǒng) 為滿(mǎn)足工藝生產(chǎn)過(guò)程中硅片傳遞等對(duì)真空的需求而設(shè)置。真空系統(tǒng)設(shè)在各動(dòng)力站。 系統(tǒng)組成：真空泵、真空緩沖罐、管道及閥門(mén)附件等。 ⑤ 大宗氣體系統(tǒng) 大宗氣體氮?dú)?、氧氣及氬氣由設(shè)在廠(chǎng)區(qū)的儲(chǔ)罐提供并設(shè)減壓裝置。氣體管道經(jīng)管架或埋地配送到各用氣廠(chǎng)房。各廠(chǎng)房的氣體分配系統(tǒng)由主配管系統(tǒng)及分支管系統(tǒng)組成。 ⑥ 特種氣體系統(tǒng) 特種氣體供氣系統(tǒng)分類(lèi)如下： 氨氣 (NH3)傳輸系統(tǒng)。 硅烷 (SiH4)傳輸系統(tǒng)。 / 特 種氣體均由各廠(chǎng)房?jī)?nèi)特氣室的氣體柜 氣體盤(pán)將特種氣體分配 /至各廠(chǎng)房支管閥門(mén)箱 分支管。 2 在各特氣室設(shè)有毒性及可燃性氣體柜（ 只工藝氣瓶）、吹洗氣體 1 2 柜（ 只氣瓶）及存儲(chǔ)氣體柜（ 只氣瓶）。 氣體柜具有自動(dòng)切換、自動(dòng)吹洗的功能，能連續(xù)為生產(chǎn)設(shè)備供氣。 給水排水 ① 給水 水源：本工程自來(lái)水由橫店自來(lái)水管網(wǎng)接入。 31 / 64 工程所用自來(lái)水包括生活用自來(lái)水、純水制備、循環(huán)冷卻水補(bǔ)水等。 ② 純水 ≥18M?.cm SiO ≤1mg/L ≤150PCS/ml 純水電阻率 ， 2 ，顆粒（＞ ） ， 細(xì)菌數(shù) ≤5cfu，溫度 22177。2℃ ，水壓 3 kg/cm2 ，（均為使用點(diǎn)參數(shù)）。采用 RO+EDI+混床方式。 ③ 工藝設(shè)備冷卻水 工藝?yán)鋮s水夏天所需冷量來(lái)自空調(diào)冷凍水系統(tǒng)，冬天用冷卻塔制備的冷水供給板換熱，提供工藝?yán)鋮s水所需的冷量，以達(dá)到節(jié)能的目的。 RO 工藝設(shè)備冷卻水系統(tǒng)概述：該系統(tǒng)為閉式循環(huán)系統(tǒng)，水作為補(bǔ)水，換熱器、循環(huán)泵、定壓罐均設(shè)于動(dòng)力廠(chǎng)房?jī)?nèi)，配水管道設(shè)計(jì)采用同程式系統(tǒng)，各使用點(diǎn)壓力波動(dòng)較小。 溫度 控制：以測(cè)量到的供水溫度為反饋信號(hào)，調(diào)節(jié)冷凍水電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度，來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)供水溫度的控制。循環(huán)水泵采用變頻泵，由供回水壓差控制水泵的轉(zhuǎn)速。 ④ 冷凍機(jī)用循環(huán)冷卻水 冷凍機(jī)用循環(huán)冷卻水系統(tǒng)概述：為開(kāi)式循環(huán)系統(tǒng)采用方形橫流式玻璃鋼冷卻塔，每臺(tái)冷凍機(jī)對(duì)應(yīng)一臺(tái)冷卻塔；循環(huán)冷卻水系統(tǒng)以自來(lái)水為補(bǔ)水。循環(huán)水泵置于冷凍站內(nèi)，冷卻塔則置于其屋面上。冷卻塔進(jìn)出水管間設(shè)旁通管，并采用變速風(fēng)機(jī)，以使系統(tǒng)過(guò)渡季節(jié)時(shí)可節(jié)能運(yùn)行。冷凍機(jī)用循環(huán)冷卻水系統(tǒng)上設(shè)置加藥系統(tǒng)和過(guò)濾系統(tǒng)以保證循環(huán)水質(zhì)的穩(wěn)定。 ⑤ 生活生產(chǎn)污廢水 生活污廢水系統(tǒng) ：生活污水經(jīng)廠(chǎng)區(qū)內(nèi)的化糞池處理后，達(dá)一級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)后排入市政污水管道，其他生活廢水直接排入廠(chǎng)區(qū)內(nèi)的污水管道。食堂操作間的含油污水經(jīng)隔油池處理后排入廠(chǎng)區(qū)污水管道，集中在廠(chǎng)區(qū)內(nèi)的污水處理站處理，達(dá)到《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（ GB8978－ 96）一級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)后排入市政污水管道。 本項(xiàng)目在硅片清洗、表面制絨等生產(chǎn)工藝中會(huì)產(chǎn)生一定量的普通酸性廢水、堿性廢水、氫氟酸廢水。擬在廠(chǎng)區(qū)建設(shè)一個(gè)集中式污水處理站，各廠(chǎng)房排出的生產(chǎn)廢水經(jīng)收集后輸送至污水處理站集中處理，酸堿廢水及含氟廢水經(jīng)過(guò)處理后達(dá)到《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（ GB8978 － 96）一級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)后通過(guò)污水管道進(jìn)入橫店污水處理廠(chǎng)。 ⑥ 雨水排放系統(tǒng) 雨水系統(tǒng)簡(jiǎn)述：屋面雨水經(jīng)雨落管排入廠(chǎng)區(qū)雨水管道，廠(chǎng)區(qū)內(nèi)路面雨水匯集后經(jīng)雨水口排入廠(chǎng)區(qū)雨水管道。 第六章 環(huán)境保護(hù)、衛(wèi)生及消防 環(huán)境保護(hù) 32 / 64 環(huán)保方針 (1)根據(jù)中華人民共和國(guó)《環(huán)境保護(hù)法》的規(guī)定，本著 “消除污染、保護(hù)環(huán)境、綜合利用、化害為利 ”的方針，對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中排出污染物質(zhì)采取必要處理措施，使其達(dá)到規(guī)定排放標(biāo)準(zhǔn)，以實(shí)現(xiàn)凈化環(huán)境的目的。 (2) 本項(xiàng)目涉及的環(huán)境治理工程，均與生產(chǎn)裝置同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)施工、同時(shí)建成投產(chǎn)。 環(huán)保法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn) (1) 《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》 (2) 《中華人民共和國(guó)大氣污染防治法》 (3) 《中華人民共和國(guó)固體污染防治法》 (4) 《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)條例》中規(guī)定的 “三同時(shí) ”原則 (5) 《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》 GB89781996 (6) 《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》 GB30951996 (7) 《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》 GB309693 (8) 《工業(yè)企業(yè)廠(chǎng)界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》 GB123481990 (9) 《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》 GBZ12021 (10) 《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》 GB38382021 “ 三廢 ” 治理措施 (1) 廢水 生活污廢水系統(tǒng) 生活 污水經(jīng)廠(chǎng)區(qū)內(nèi)的化糞池處理后，達(dá)一級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)后排入廠(chǎng)區(qū)污水管道，其他生活廢水直接排入廠(chǎng)區(qū)內(nèi)的污水管道，集中在廠(chǎng)區(qū)內(nèi)的污水處理站處理，達(dá)到《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（ GB8978－ 96）一級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)后排入污水管網(wǎng)。 生產(chǎn)污廢水系統(tǒng) 本項(xiàng)目在硅料清洗、硅片清洗、表面制絨等生產(chǎn)工藝中會(huì)產(chǎn)生一定量的普通酸性廢 33 / 64 水、堿性廢水、氫氟酸廢水等。生產(chǎn)廢水的排放量 88 / 噸時(shí)。擬建設(shè)一個(gè)集中式污水處理站，各廠(chǎng)房排出的生產(chǎn)廢水經(jīng)收集后輸送至污水處理站集中處理，生產(chǎn)廢水經(jīng)過(guò)處理后達(dá)到《污水綜合排放標(biāo) 準(zhǔn)》（ GB8978－ 96）一級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)后排入污水管網(wǎng)。 — 酸堿廢水處理系統(tǒng) pH7 800m3/d TSS 50PPM 酸堿廢水水質(zhì)為： ， ，＜。酸堿廢水采用中和法進(jìn)行處理。首先在均衡槽進(jìn)行 PH值調(diào)整，再依次通過(guò)混合槽、一次中和槽、二次中和槽，自動(dòng)投入 HCL 或 NaOH，在強(qiáng)力攪拌下進(jìn)行混合、反應(yīng)，使廢水的 PH 值達(dá)到 69 范圍內(nèi)， TSS50ppm。每個(gè)反應(yīng)池內(nèi)設(shè)置 pH儀，并配有酸堿加藥裝置。被處理的廢水水質(zhì)達(dá)到污水排放標(biāo)準(zhǔn)后排入再生水回用裝置，如果水質(zhì)達(dá)不到排放標(biāo)準(zhǔn)，再返回預(yù)中和池進(jìn)行二次處理 ，經(jīng)再生水回用裝置處理后排入生產(chǎn)水池再利用。 — 含氟廢水處理系統(tǒng) 含氟廢水采用投藥、絮凝和沉淀分離的方法進(jìn)行處理。氫氟酸廢液經(jīng)收集池，再送到含氟廢水處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。 － 廢水水質(zhì)： pH =2， 1313m3/d， F ＜ 1000ppm → → Ca(OH) → 含氟廢水 調(diào)節(jié)池 一次反應(yīng)槽（加 2 ） 一次反應(yīng)槽（加 PAC → PAM → → 混凝劑 ） 一次凝聚槽（加混凝劑 ） 一次沉淀槽 二次反 Ca(OH) → HCl → 應(yīng)槽（加 2 ） 二次反應(yīng) 槽（加 ） 二次反應(yīng)槽（加混凝劑 PAC → PAM → → → ） 二次凝聚槽（加混凝劑 ） 二次沉淀槽 收集水池 中和排放槽。 — 污泥處理系統(tǒng) 污泥 → 污泥濃縮池（上清液回流至含氟廢水調(diào)節(jié)池） → 污泥泵 → 板框壓濾機(jī)（濾液回流至含氟廢水調(diào)節(jié)池） → 泥餅（含 CaF2）作為特種垃圾由專(zhuān)業(yè)公司處理。 34 / 64 — 有機(jī)廢液處理 生產(chǎn)排出的少量有機(jī)廢液經(jīng)收集后送至污水處理站。 (2) 廢氣 硅片清洗、表面制絨等工藝中會(huì)產(chǎn)生一定量的普通廢氣、酸堿廢氣等。 磷擴(kuò)散及表面選擇性腐蝕、 SiN 化學(xué)沉積等工藝中會(huì)產(chǎn)生普通廢氣、酸堿廢氣、可燃性廢氣和少量有機(jī)廢氣等。 硅片表面印刷及燒結(jié)等工藝中會(huì)產(chǎn)生一定量的熱廢氣和有機(jī)廢氣。 對(duì)設(shè)備產(chǎn)生的一般廢氣和高溫廢氣，采用直接排放方式排入大氣。 對(duì)含酸、含堿廢氣，經(jīng)廢氣洗滌塔處理，達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。 對(duì)設(shè)備排出的有機(jī)廢氣，經(jīng)活性碳吸附處理，達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。 對(duì)可燃性廢氣，經(jīng)廢氣燃燒處理，再經(jīng)過(guò)水淋，達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。 工藝尾氣經(jīng)過(guò)工藝設(shè)備附帶的處理裝置處理，再經(jīng)廢氣洗滌裝置處理達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。 (3) 噪聲 建設(shè)項(xiàng)目新增的主要噪聲設(shè)備及源強(qiáng)見(jiàn)表 61。 表 61 建設(shè)項(xiàng)目新增設(shè)備噪聲源強(qiáng)匯總 序號(hào) 設(shè)備名稱(chēng) 噪聲源強(qiáng)（ dB） 1 風(fēng)機(jī) 80～ 90 2 水泵 70～ 80 3 空壓機(jī) 75～ 85 (4) 固體廢物 ① 廢品 項(xiàng)目采用電腦控制，加工精度高，廢品產(chǎn)生量較少，廢品由原材料廠(chǎng)家回收處理。 35 / 64 ② 生活垃圾 員工生活垃圾人均 公斤 /日計(jì)，項(xiàng)目新增員工 400 人，則生活垃圾產(chǎn)生量約為60 噸 /年，收集后由環(huán)衛(wèi)部門(mén)統(tǒng)一清運(yùn)處理。 環(huán)保投資 本項(xiàng)目環(huán)保投資為 1100 萬(wàn)元。其中酸霧處理塔 120 萬(wàn)元，硅烷燃燒塔 220 萬(wàn)元，污水處理站土建 190萬(wàn)元，酸堿、廢水處理設(shè)備 530 萬(wàn)，綠化等 40 萬(wàn)元。 勞動(dòng)安全與工業(yè)衛(wèi)生 安全生產(chǎn) 本項(xiàng)目投產(chǎn)后在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一定的噪聲等，因此廠(chǎng)區(qū)、車(chē)間會(huì)考慮安全生產(chǎn)、工業(yè)衛(wèi)生方面會(huì)出現(xiàn)的具體問(wèn)題，通過(guò)對(duì)生產(chǎn)車(chē)間等的合理布局，使其達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)范考慮防火、防雷、采光、通風(fēng)，三廢處理，做到文明、安全生產(chǎn)。 勞動(dòng)保 護(hù) (1) 電氣設(shè)備、線(xiàn)路均按《設(shè)計(jì)規(guī)范》設(shè)計(jì)有可靠的接地和接零。照明按《設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》配置有足夠的照度，并設(shè)有事故照明。 (2) 建筑物有可靠防雷接地。 (3) 廠(chǎng)區(qū)內(nèi)設(shè)置了廁所、更衣室、浴室等可供員工生活、休息的空間； (4) 廠(chǎng)房四周外墻上設(shè)置了可開(kāi)啟的窗戶(hù)，使廠(chǎng)房?jī)?nèi)具有良好的通風(fēng)條件； (5) 生產(chǎn)車(chē)間設(shè)置了機(jī)械補(bǔ)、排風(fēng)裝置； (6) 生產(chǎn)車(chē)間區(qū)域內(nèi)的照明及辦公區(qū)采用節(jié)能燈，其照度均達(dá)到規(guī)范要求； (7) 新上崗員工必須事先經(jīng)操作規(guī)程培訓(xùn)及安全教育； (8) 發(fā)放勞動(dòng)防護(hù)用品。 消防 根據(jù)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》 GB500162021 要求，項(xiàng)目生產(chǎn)性質(zhì)屬丙類(lèi)火災(zāi)危險(xiǎn)等級(jí)。本項(xiàng)目利用的生產(chǎn)廠(chǎng)房及倉(cāng)庫(kù)，設(shè)計(jì)的耐火等級(jí)不低于二級(jí)。廠(chǎng)區(qū)生產(chǎn)車(chē)間符合國(guó)家防火規(guī)范要求，廠(chǎng)房擁有六個(gè)以上出入口，周?chē)缆?