pecvd設(shè)備資料(編輯修改稿)
2025-03-30 21:45 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 開機(jī) ? 打開設(shè)備冷卻水。先打開出水閥，再開進(jìn)水閥。壓力在 3kg /cm26kg /cm2 范圍內(nèi) 進(jìn)水閥 出水閥 PECVD操作簡介 PECVD開機(jī) ?打開并檢查氣源。打開壓縮空氣閥，氮?dú)忾y， NH3閥， SiH4閥。 ?機(jī)器上壓縮空氣壓力應(yīng)在 6kg /cm2—7kg /cm2。其他氣體為 4kg /cm2— 10kg /cm2范圍 PECVD操作簡介 PECVD開機(jī) ? 開總電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn) 90度。機(jī)器上指示燈 VAT控制器燈亮，可確定總電源已開啟。 該狀態(tài)為已 經(jīng)扳過 90度 PECVD操作簡介 PECVD開機(jī) PECVD的操作流程 戴好無紡 布口罩 戴好潔 凈手套 取來待鍍 膜的硅片 在刻蝕處檢查硅片數(shù)量 把石墨舟推到潔凈工作臺下 取出承片盒放入潔凈工作臺 取出石英吸筆，并擦拭干凈 把硅片一片片插入石墨舟內(nèi) 注意硅片的擴(kuò)散方向 一舟插完后，用小車推到設(shè)備的上料口 對計(jì)算機(jī)進(jìn)行相應(yīng)的操作后，讓其自動(dòng)運(yùn)行 工藝結(jié)束（鍍膜結(jié)束） 開門退舟（設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行） 待報(bào)警后，按退車按鈕退車 把裝有石墨舟的小車推到冷卻房內(nèi)進(jìn)行冷卻 冷卻結(jié)束后，把小 車推到插片房內(nèi) 卸片結(jié)束后，放入指定的承載盒內(nèi) 把放滿的承載盒拿到絲網(wǎng)上料，準(zhǔn)備進(jìn)行印刷 開始卸片。注意工藝點(diǎn)的一致性 ?啟動(dòng) CMI程序。開總電源后計(jì)算機(jī)自動(dòng)啟動(dòng)。輸入密碼后自動(dòng)進(jìn)入 Windows桌面。 用鼠標(biāo)左鍵雙擊 “ CMI”圖標(biāo)，啟動(dòng) CMI。 ?進(jìn)入 CMI 畫面，檢查設(shè)備狀態(tài) ： SLS=UP ， DOOR=CLOSED ， PLC=OK ， LIFT=READY ，TUBE=READY ， TGA FREE=YES SET/ACT POSITION=0 ， PROCFLAG=OK ?選擇工藝程序，生產(chǎn) 。 2 PECVD操作簡介 用手推車槳舟移動(dòng)到固定位置 查看爐管的工作，并等待爐管的工作 編寫 LOT NUMBER 號，并用機(jī)械手放到要去的 槳上，并將機(jī)械手回位 將舟進(jìn)入到爐管內(nèi) 撤舟，撤舟的后關(guān)門 運(yùn)行已經(jīng)調(diào)處的程序siNx鍍膜 程序運(yùn)行完進(jìn)行吹掃 沖氮?dú)? 撤舟 等待爐管溫度均勻，此時(shí)沖氮?dú)? 抽真空，分預(yù)抽與主抽 氨氣進(jìn)入，先輝光放電 通氨氣與硅烷 停止通氨氣與硅烷，通入氮?dú)? 抽真空 通氮?dú)獾酱髿鈮? PECVD關(guān)機(jī) ? 檢查確認(rèn)生產(chǎn)已完畢。機(jī)器中舟已卸出。 ? PECVD每個(gè)真空管壓力設(shè)定為 10000mToor,等每管實(shí)際壓力達(dá)到 10000mToor。 ? 關(guān)閉 CMI程序。再關(guān)計(jì)算機(jī)。 ? 關(guān)主電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，逆時(shí)針方向轉(zhuǎn) 90度。 ? 關(guān)閉氣源。注意：除 N2外關(guān)閉所有氣體。 ? 關(guān)閉冷卻水。等待二十分鐘后關(guān)閉冷卻水。先關(guān)進(jìn)水，再關(guān)出水。 ? 關(guān)閉真空泵。按壓真空泵面板“ OFF”按鈕停泵。等待 20分鐘后關(guān)閉冷卻水和 N2閥 工藝氣體特點(diǎn)介紹 從上面的工藝氣體的反應(yīng)來看 ,對于硅烷和氨氣的鍵能來看 ,氨氣的鍵能大于硅烷的 鍵能 ,所以在輝光放電時(shí) ,要先通氨氣 ,在通硅烷 ,這樣才能使之共同進(jìn)行輝光放電 . 硅烷 SiH4 ? 危險(xiǎn)性概述 ? 爆炸危險(xiǎn)：易燃， 暴露在空氣中能自燃。 ? 健康危害：吸入硅烷蒸氣后，引起頭痛、頭暈、發(fā)熱、惡心、多汗，嚴(yán)重者面色蒼白，脈搏微弱， 陷入半昏迷狀態(tài)。脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，必要時(shí)進(jìn)行人工呼吸，就醫(yī)。 消防措施 ? 危險(xiǎn)特性：易燃，遇明火、高熱極易燃燒，暴露在空氣中能自燃，與氟、氯等發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)。 ? 滅火方法：切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。 ? 滅火劑：二氧化碳。 硅烷 SiH4 泄漏應(yīng)急處理 ? 迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風(fēng)處，并隔離至氣體散去，切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般消防護(hù)服，切斷氣源，噴灑霧狀水稀釋、抽排 (室內(nèi) )或強(qiáng)力通風(fēng) (室外 )。如有可能，將殘余氣或漏出氣用排風(fēng)機(jī)送至水洗塔或與塔相連的通風(fēng)櫥內(nèi)，漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過技術(shù)處理，以除去可能剩下的氣體。 硅烷 SiH4 ? 爆炸危險(xiǎn)：易燃，能與空氣混合形成爆炸性氣體，遇明火及高熱會(huì)燃燒、爆炸。 ? 健康危害：低濃度氨對粘膜有刺激作用，高濃度可造成組織溶解壞死。 ? 急性中毒：輕度者出現(xiàn)眼淚、咽痛、聲音嘶啞、咳嗽、咯痰等，眼結(jié)膜、鼻粘膜、咽部充血、水腫、胸部 X線癥象符合支氣管炎或支氣管周圍炎。中度中毒：上述癥狀加重，出現(xiàn)呼吸困難、紫紺、胸部 X線癥象符合肺炎或間質(zhì)性肺炎，嚴(yán)重者可發(fā)生中毒性肺水腫，或有呼吸道窘迫綜合癥，患者劇烈咳嗽，咯大量粉紅色泡沫痰，呼吸窘迫，譫意、昏迷、休克，可發(fā)生喉頭水腫或支氣管粘膜壞死脫落窒息，高濃度 NH3可引起反射性呼吸停止。濃氨或高濃度氨可致眼灼傷，濃氨可致皮膚灼傷 。 氨氣 NH3 ? 環(huán)境危害：對環(huán)境有嚴(yán)重危害，應(yīng)特別注意對地表水、土壤、大氣和飲用水的污染。 ? 皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，應(yīng)用 2%硼酸液或大量清水沖洗，就醫(yī)。 ? 眼睛接觸： 立即提起眼瞼，用大量流動(dòng)清水或生理鹽水徹底清洗，至少 15分鐘，就醫(yī)。 ? 吸入： 迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，如呼吸困難，給輸氧；如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸，就醫(yī)。 ? 危險(xiǎn)特性：易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒、爆炸，與氟、氯等接觸會(huì)發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)，若遇高熱，容器內(nèi)壓增大，有開裂和爆炸的危險(xiǎn)。 氨氣 NH3 ? 滅火方法 : 消防人員必須穿戴全身防火防毒服，切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。 ? 滅火劑： 霧狀水、抗溶性泡沫、二氧化碳、砂土 . 氨氣 NH3 泄漏應(yīng)急處理 ? 迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風(fēng)向，并立即隔離150米，嚴(yán)格限制出入，切斷火源，建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服，盡可能切斷泄漏源，合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散，高濃度泄漏區(qū)，噴含 H
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