【文章內容簡介】 開機 ? 打開設備冷卻水。先打開出水閥，再開進水閥。壓力在 3kg /cm26kg /cm2 范圍內 進水閥 出水閥 PECVD操作簡介 PECVD開機 ?打開并檢查氣源。打開壓縮空氣閥，氮氣閥， NH3閥， SiH4閥。 ?機器上壓縮空氣壓力應在 6kg /cm2—7kg /cm2。其他氣體為 4kg /cm2— 10kg /cm2范圍 PECVD操作簡介 PECVD開機 ? 開總電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，順時針方向旋轉 90度。機器上指示燈 VAT控制器燈亮，可確定總電源已開啟。 該狀態(tài)為已 經(jīng)扳過 90度 PECVD操作簡介 PECVD開機 PECVD的操作流程 戴好無紡 布口罩 戴好潔 凈手套 取來待鍍 膜的硅片 在刻蝕處檢查硅片數(shù)量 把石墨舟推到潔凈工作臺下 取出承片盒放入潔凈工作臺 取出石英吸筆，并擦拭干凈 把硅片一片片插入石墨舟內 注意硅片的擴散方向 一舟插完后，用小車推到設備的上料口 對計算機進行相應的操作后，讓其自動運行 工藝結束（鍍膜結束） 開門退舟（設備自動運行） 待報警后，按退車按鈕退車 把裝有石墨舟的小車推到冷卻房內進行冷卻 冷卻結束后，把小 車推到插片房內 卸片結束后，放入指定的承載盒內 把放滿的承載盒拿到絲網(wǎng)上料，準備進行印刷 開始卸片。注意工藝點的一致性 ?啟動 CMI程序。開總電源后計算機自動啟動。輸入密碼后自動進入 Windows桌面。 用鼠標左鍵雙擊 “ CMI”圖標，啟動 CMI。 ?進入 CMI 畫面，檢查設備狀態(tài) ： SLS=UP ， DOOR=CLOSED ， PLC=OK ， LIFT=READY ，TUBE=READY ， TGA FREE=YES SET/ACT POSITION=0 ， PROCFLAG=OK ?選擇工藝程序，生產 。 2 PECVD操作簡介 用手推車槳舟移動到固定位置 查看爐管的工作，并等待爐管的工作 編寫 LOT NUMBER 號，并用機械手放到要去的 槳上，并將機械手回位 將舟進入到爐管內 撤舟，撤舟的后關門 運行已經(jīng)調處的程序siNx鍍膜 程序運行完進行吹掃 沖氮氣 撤舟 等待爐管溫度均勻，此時沖氮氣 抽真空，分預抽與主抽 氨氣進入，先輝光放電 通氨氣與硅烷 停止通氨氣與硅烷，通入氮氣 抽真空 通氮氣到大氣壓 PECVD關機 ? 檢查確認生產已完畢。機器中舟已卸出。 ? PECVD每個真空管壓力設定為 10000mToor,等每管實際壓力達到 10000mToor。 ? 關閉 CMI程序。再關計算機。 ? 關主電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，逆時針方向轉 90度。 ? 關閉氣源。注意：除 N2外關閉所有氣體。 ? 關閉冷卻水。等待二十分鐘后關閉冷卻水。先關進水，再關出水。 ? 關閉真空泵。按壓真空泵面板“ OFF”按鈕停泵。等待 20分鐘后關閉冷卻水和 N2閥 工藝氣體特點介紹 從上面的工藝氣體的反應來看 ,對于硅烷和氨氣的鍵能來看 ,氨氣的鍵能大于硅烷的 鍵能 ,所以在輝光放電時 ,要先通氨氣 ,在通硅烷 ,這樣才能使之共同進行輝光放電 . 硅烷 SiH4 ? 危險性概述 ? 爆炸危險：易燃， 暴露在空氣中能自燃。 ? 健康危害：吸入硅烷蒸氣后，引起頭痛、頭暈、發(fā)熱、惡心、多汗，嚴重者面色蒼白，脈搏微弱， 陷入半昏迷狀態(tài)。脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，必要時進行人工呼吸，就醫(yī)。 消防措施 ? 危險特性：易燃，遇明火、高熱極易燃燒，暴露在空氣中能自燃，與氟、氯等發(fā)生劇烈的化學反應。 ? 滅火方法：切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。 ? 滅火劑：二氧化碳。 硅烷 SiH4 泄漏應急處理 ? 迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風處，并隔離至氣體散去，切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般消防護服，切斷氣源，噴灑霧狀水稀釋、抽排 (室內 )或強力通風 (室外 )。如有可能，將殘余氣或漏出氣用排風機送至水洗塔或與塔相連的通風櫥內，漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過技術處理，以除去可能剩下的氣體。 硅烷 SiH4 ? 爆炸危險：易燃，能與空氣混合形成爆炸性氣體，遇明火及高熱會燃燒、爆炸。 ? 健康危害：低濃度氨對粘膜有刺激作用，高濃度可造成組織溶解壞死。 ? 急性中毒：輕度者出現(xiàn)眼淚、咽痛、聲音嘶啞、咳嗽、咯痰等，眼結膜、鼻粘膜、咽部充血、水腫、胸部 X線癥象符合支氣管炎或支氣管周圍炎。中度中毒：上述癥狀加重，出現(xiàn)呼吸困難、紫紺、胸部 X線癥象符合肺炎或間質性肺炎，嚴重者可發(fā)生中毒性肺水腫，或有呼吸道窘迫綜合癥，患者劇烈咳嗽，咯大量粉紅色泡沫痰，呼吸窘迫，譫意、昏迷、休克，可發(fā)生喉頭水腫或支氣管粘膜壞死脫落窒息，高濃度 NH3可引起反射性呼吸停止。濃氨或高濃度氨可致眼灼傷，濃氨可致皮膚灼傷 。 氨氣 NH3 ? 環(huán)境危害：對環(huán)境有嚴重危害，應特別注意對地表水、土壤、大氣和飲用水的污染。 ? 皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，應用 2%硼酸液或大量清水沖洗，就醫(yī)。 ? 眼睛接觸： 立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底清洗，至少 15分鐘，就醫(yī)。 ? 吸入： 迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，如呼吸困難，給輸氧；如呼吸停止，立即進行人工呼吸，就醫(yī)。 ? 危險特性：易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒、爆炸，與氟、氯等接觸會發(fā)生劇烈的化學反應，若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。 氨氣 NH3 ? 滅火方法 : 消防人員必須穿戴全身防火防毒服，切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。 ? 滅火劑： 霧狀水、抗溶性泡沫、二氧化碳、砂土 . 氨氣 NH3 泄漏應急處理 ? 迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風向，并立即隔離150米，嚴格限制出入，切斷火源，建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服，盡可能切斷泄漏源，合理通風，加速擴散，高濃度泄漏區(qū)，噴含 H