pecvd設(shè)備資料(編輯修改稿)
2025-03-30 21:45 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 開(kāi)機(jī) ? 打開(kāi)設(shè)備冷卻水。先打開(kāi)出水閥，再開(kāi)進(jìn)水閥。壓力在 3kg /cm26kg /cm2 范圍內(nèi) 進(jìn)水閥 出水閥 PECVD操作簡(jiǎn)介 PECVD開(kāi)機(jī) ?打開(kāi)并檢查氣源。打開(kāi)壓縮空氣閥，氮?dú)忾y， NH3閥， SiH4閥。 ?機(jī)器上壓縮空氣壓力應(yīng)在 6kg /cm2—7kg /cm2。其他氣體為 4kg /cm2— 10kg /cm2范圍 PECVD操作簡(jiǎn)介 PECVD開(kāi)機(jī) ? 開(kāi)總電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn) 90度。機(jī)器上指示燈 VAT控制器燈亮，可確定總電源已開(kāi)啟。 該狀態(tài)為已 經(jīng)扳過(guò) 90度 PECVD操作簡(jiǎn)介 PECVD開(kāi)機(jī) PECVD的操作流程 戴好無(wú)紡 布口罩 戴好潔 凈手套 取來(lái)待鍍 膜的硅片 在刻蝕處檢查硅片數(shù)量 把石墨舟推到潔凈工作臺(tái)下 取出承片盒放入潔凈工作臺(tái) 取出石英吸筆，并擦拭干凈 把硅片一片片插入石墨舟內(nèi) 注意硅片的擴(kuò)散方向 一舟插完后，用小車(chē)推到設(shè)備的上料口 對(duì)計(jì)算機(jī)進(jìn)行相應(yīng)的操作后，讓其自動(dòng)運(yùn)行 工藝結(jié)束（鍍膜結(jié)束） 開(kāi)門(mén)退舟（設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行） 待報(bào)警后，按退車(chē)按鈕退車(chē) 把裝有石墨舟的小車(chē)推到冷卻房?jī)?nèi)進(jìn)行冷卻 冷卻結(jié)束后，把小 車(chē)推到插片房?jī)?nèi) 卸片結(jié)束后，放入指定的承載盒內(nèi) 把放滿(mǎn)的承載盒拿到絲網(wǎng)上料，準(zhǔn)備進(jìn)行印刷 開(kāi)始卸片。注意工藝點(diǎn)的一致性 ?啟動(dòng) CMI程序。開(kāi)總電源后計(jì)算機(jī)自動(dòng)啟動(dòng)。輸入密碼后自動(dòng)進(jìn)入 Windows桌面。 用鼠標(biāo)左鍵雙擊 “ CMI”圖標(biāo)，啟動(dòng) CMI。 ?進(jìn)入 CMI 畫(huà)面，檢查設(shè)備狀態(tài) ： SLS=UP ， DOOR=CLOSED ， PLC=OK ， LIFT=READY ，TUBE=READY ， TGA FREE=YES SET/ACT POSITION=0 ， PROCFLAG=OK ?選擇工藝程序，生產(chǎn) 。 2 PECVD操作簡(jiǎn)介 用手推車(chē)槳舟移動(dòng)到固定位置 查看爐管的工作，并等待爐管的工作 編寫(xiě) LOT NUMBER 號(hào)，并用機(jī)械手放到要去的 槳上，并將機(jī)械手回位 將舟進(jìn)入到爐管內(nèi) 撤舟，撤舟的后關(guān)門(mén) 運(yùn)行已經(jīng)調(diào)處的程序siNx鍍膜 程序運(yùn)行完進(jìn)行吹掃 沖氮?dú)? 撤舟 等待爐管溫度均勻，此時(shí)沖氮?dú)? 抽真空，分預(yù)抽與主抽 氨氣進(jìn)入，先輝光放電 通氨氣與硅烷 停止通氨氣與硅烷，通入氮?dú)? 抽真空 通氮?dú)獾酱髿鈮? PECVD關(guān)機(jī) ? 檢查確認(rèn)生產(chǎn)已完畢。機(jī)器中舟已卸出。 ? PECVD每個(gè)真空管壓力設(shè)定為 10000mToor,等每管實(shí)際壓力達(dá)到 10000mToor。 ? 關(guān)閉 CMI程序。再關(guān)計(jì)算機(jī)。 ? 關(guān)主電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，逆時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn) 90度。 ? 關(guān)閉氣源。注意：除 N2外關(guān)閉所有氣體。 ? 關(guān)閉冷卻水。等待二十分鐘后關(guān)閉冷卻水。先關(guān)進(jìn)水，再關(guān)出水。 ? 關(guān)閉真空泵。按壓真空泵面板“ OFF”按鈕停泵。等待 20分鐘后關(guān)閉冷卻水和 N2閥 工藝氣體特點(diǎn)介紹 從上面的工藝氣體的反應(yīng)來(lái)看 ,對(duì)于硅烷和氨氣的鍵能來(lái)看 ,氨氣的鍵能大于硅烷的 鍵能 ,所以在輝光放電時(shí) ,要先通氨氣 ,在通硅烷 ,這樣才能使之共同進(jìn)行輝光放電 . 硅烷 SiH4 ? 危險(xiǎn)性概述 ? 爆炸危險(xiǎn)：易燃， 暴露在空氣中能自燃。 ? 健康危害：吸入硅烷蒸氣后，引起頭痛、頭暈、發(fā)熱、惡心、多汗，嚴(yán)重者面色蒼白，脈搏微弱， 陷入半昏迷狀態(tài)。脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，必要時(shí)進(jìn)行人工呼吸，就醫(yī)。 消防措施 ? 危險(xiǎn)特性：易燃，遇明火、高熱極易燃燒，暴露在空氣中能自燃，與氟、氯等發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)。 ? 滅火方法：切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處。 ? 滅火劑：二氧化碳。 硅烷 SiH4 泄漏應(yīng)急處理 ? 迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風(fēng)處，并隔離至氣體散去，切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般消防護(hù)服，切斷氣源，噴灑霧狀水稀釋、抽排 (室內(nèi) )或強(qiáng)力通風(fēng) (室外 )。如有可能，將殘余氣或漏出氣用排風(fēng)機(jī)送至水洗塔或與塔相連的通風(fēng)櫥內(nèi)，漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過(guò)技術(shù)處理，以除去可能剩下的氣體。 硅烷 SiH4 ? 爆炸危險(xiǎn)：易燃，能與空氣混合形成爆炸性氣體，遇明火及高熱會(huì)燃燒、爆炸。 ? 健康危害：低濃度氨對(duì)粘膜有刺激作用，高濃度可造成組織溶解壞死。 ? 急性中毒：輕度者出現(xiàn)眼淚、咽痛、聲音嘶啞、咳嗽、咯痰等，眼結(jié)膜、鼻粘膜、咽部充血、水腫、胸部 X線癥象符合支氣管炎或支氣管周?chē)?。中度中毒：上述癥狀加重，出現(xiàn)呼吸困難、紫紺、胸部 X線癥象符合肺炎或間質(zhì)性肺炎，嚴(yán)重者可發(fā)生中毒性肺水腫，或有呼吸道窘迫綜合癥，患者劇烈咳嗽，咯大量粉紅色泡沫痰，呼吸窘迫，譫意、昏迷、休克，可發(fā)生喉頭水腫或支氣管粘膜壞死脫落窒息，高濃度 NH3可引起反射性呼吸停止。濃氨或高濃度氨可致眼灼傷，濃氨可致皮膚灼傷 。 氨氣 NH3 ? 環(huán)境危害：對(duì)環(huán)境有嚴(yán)重危害，應(yīng)特別注意對(duì)地表水、土壤、大氣和飲用水的污染。 ? 皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，應(yīng)用 2%硼酸液或大量清水沖洗，就醫(yī)。 ? 眼睛接觸： 立即提起眼瞼，用大量流動(dòng)清水或生理鹽水徹底清洗，至少 15分鐘，就醫(yī)。 ? 吸入： 迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，如呼吸困難，給輸氧；如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸，就醫(yī)。 ? 危險(xiǎn)特性：易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒、爆炸，與氟、氯等接觸會(huì)發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)，若遇高熱，容器內(nèi)壓增大，有開(kāi)裂和爆炸的危險(xiǎn)。 氨氣 NH3 ? 滅火方法 : 消防人員必須穿戴全身防火防毒服，切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處。 ? 滅火劑： 霧狀水、抗溶性泡沫、二氧化碳、砂土 . 氨氣 NH3 泄漏應(yīng)急處理 ? 迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風(fēng)向，并立即隔離150米，嚴(yán)格限制出入，切斷火源，建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服，盡可能切斷泄漏源，合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散，高濃度泄漏區(qū)，噴含 H
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