【文章內(nèi)容簡介】 缸開缸及控制范圍 工序 藥水名稱 開缸含量 控制范圍 添加頻率 換槽標(biāo)準(zhǔn) 膨松 YC101 40% 40177。 5% 80ml/m2 每 45MTO更換或20xx2500m2更換 深圳愛 升精密電路科技有限公司 SHEN ZHEN AISHENG PRECISION CIRCUIT SCIENTECH CO.,LTD. 作業(yè)指導(dǎo)書 文件編號： ASWI 制訂日期： 20xx年 5月 25 日 版 本 ： A 頁 碼： 第 11 頁 共 23 頁 文件 名稱 孔化一次銅 作業(yè)規(guī)范 二級水洗 溢流 量 510L/min 每班更換 除膠渣 KMnO4 60g/L 60177。 5g/L 再生劑 SPS開缸時(shí)不需要添加生產(chǎn)后按 50 m2加 800g sps 800g KMnO4 750g NaOH 正常生產(chǎn) 50006000 m2更換 或 KMnO4的總補(bǔ)充量達(dá)到建浴用量的 15倍時(shí)更換 NaOH 40g/L 40177。 5g/L 二級水洗 溢流量 510L/min 每班更換 中和 YC103 100ml/L 100177。10ml/L 分析添加 當(dāng) YC103原液添加量達(dá) 到 開缸量 4倍時(shí)換缸 H2SO4 分析添加 二級水洗 溢流量 510L/min 每班更換 工序 操作溫度 處理時(shí)間 滴液時(shí)間 其他輔助設(shè)施 膨松 70177。 5℃ 68min 1525sec 搖擺、震動 、加熱 、循環(huán) 水洗 常溫 3060sec 515sec 搖擺、震動 、打氣 水洗 常溫 3060sec 515sec 搖擺、震動 、打氣 除膠 渣 80177。 5℃ 1218min 1525sec 搖擺、震動、 加熱、 打氣 水洗 常溫 3060sec 515sec 搖擺、震動 、打氣 水洗 常溫 3060sec 515sec 搖擺、震動 、打氣 中和 40177。 5℃ 35min 1525sec 搖擺、震動 水洗 常溫 3060sec 515sec 搖擺、震動 、打氣 水洗 常溫 3060sec 515sec 搖擺、震動 、打氣 操作注意事項(xiàng)： ，螺 絲擰緊，防振松掉板。 上掛籃時(shí)，須自檢板面清潔狀況及氧化 程度，檢查是否塞孔。如有異常，須反饋給工藝部 ,品質(zhì)部 . ，戴手套操作。每一格只插 一張板，不允許疊板。 ，請避免身體直接接觸，請小心使用。 ，安全眼鏡，萬一藥液沾到眼睛時(shí)，請以清水沖洗 15分鐘以上，嚴(yán)重者須至眼科診所診斷。 ，防止日曬以防止產(chǎn)品變質(zhì)。 。 ， 只有除膠速率 合格才可批量生產(chǎn)。 深圳愛 升精密電路科技有限公司 SHEN ZHEN AISHENG PRECISION CIRCUIT SCIENTECH CO.,LTD. 作業(yè)指導(dǎo)書 文件編號： ASWI 制訂日期： 20xx年 5月 25 日 版 本 ： A 頁 碼： 第 12 頁 共 23 頁 文件 名稱 孔化一次銅 作業(yè)規(guī)范 停產(chǎn) 超過四小時(shí) 再啟動時(shí)，通知 化驗(yàn)室分析各藥水成份，合格 后 才可批量生產(chǎn) 。 每掛籃出藥水缸，須滴水 15 25秒。 ，須加強(qiáng)手動搖擺。 ，以免擦花板面。 做一次除膠渣速率。 方法如下： A．取 切好的 FR4無銅基材板 5cm*5cm（ 雙面板蝕去銅箔， 板厚 ） ， 鉆直徑 ， 用砂紙打磨好四周。 B．清洗干凈， 放入 恆溫烘箱中以 120177。 5℃的 溫度 烘烤 60min； C． 取出放入干 燥器 內(nèi) 冷卻至室溫， 稱重 記為 G1(電子稱精確到 )； D． 用細(xì)銅絲懸 掛，按正常 Desmear流 程 走完 全程。 E．清洗干凈，放入恆溫烘箱中以 120177。 5℃的溫度烘烤 60min； F． 取出放入干燥器冷卻至室溫， 稱重 記為 Ｇ 2（電子稱精確到 ）； E．計(jì)算： 除膠速 率 (mg/cm2)= (G1G2)1000 S為基板面積（長 cm寬 cm） 2S F． 除膠速 率控制標(biāo)準(zhǔn) (基材 FR4) ＜ 除膠速率 (mg/cm2)＜ （以中值作為控制標(biāo)準(zhǔn)） ： 《物料添加記錄表》 《 Desmear 線自檢表》 《 Desmear 線保養(yǎng)表》 《 化學(xué)分折報(bào)告單》 深圳愛 升精密電路科技有限公司 SHEN ZHEN AISHENG PRECISION CIRCUIT SCIENTECH CO.,LTD. 作業(yè)指導(dǎo)書 文件編號： ASWI 制訂日期： 20xx年 5月 25 日 版 本 ： A 頁 碼： 第 13 頁 共 23 頁 文件 名稱 孔化一次銅 作業(yè)規(guī)范 四 、沉銅作業(yè)規(guī)范 生產(chǎn)操作流程 工藝流程： 磨板→塞膠?！习濉汀础鸁崴础⑽g→水洗→酸洗→水洗→水洗→預(yù)浸→活化→水洗→水洗→加速→水洗→水洗→沉銅→水洗→水洗→下板→電一次銅 工藝說明： 磨板：去除孔壁披鋒，毛刺 . 除油：采用堿性除油劑，去除板面孔壁油污、粉塵等，此外還有整孔的功能。 微蝕：采用硫酸 — 過硫酸鈉系列，去除氧化層及基材表層 12um 厚的銅以及其 上吸附的除油劑使基材銅表面粗化，增強(qiáng)沉銅結(jié)合力。 預(yù)浸：活化前預(yù)浸、保持活化液的穩(wěn)定，避免水及雜質(zhì)離子帶入活化缸，使活化缸污染。 活化：在孔壁吸附上一層膠體鈀，形成催化中心。 加速：去除鈀膠體周圍的膠體離子，使金屬鈀顯露，在銅沉積時(shí)起催化作用。 沉銅：提拱沉銅的主體溶液，使活化了的通孔表面沉積一層銅金屬層。 每次啟動前操作員都要對整條生產(chǎn)線進(jìn)行巡查、發(fā)現(xiàn)問題及時(shí)處理。 確認(rèn)缸壁，管道及各類泵閥沒有任何泄漏。 、氣符合要求。 ，飛巴座是否松動，緊急停止按鈕是否松開。 。 ,水質(zhì)是否清澈干凈 。 ,并根據(jù)化驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行藥水添加調(diào)整 。 深圳愛 升精密電路科技有限公司 SHEN ZHEN AISHENG PRECISION CIRCUIT SCIENTECH CO.,LTD. 作業(yè)指導(dǎo)書 文件編號： ASWI 制訂日期： 20xx年 5月 25 日 版 本 ： A 頁 碼： 第 14 頁 共 23 頁 文件 名稱 孔化一次銅 作業(yè)規(guī)范 ,及各控制面板電源并開啟各缸加熱開關(guān) ,將溫度升到設(shè)定范圍 。 ,并檢查各缸打氣是否正常 。 ,異常時(shí)通知維修調(diào)整 . 驟： 將所有泵的開關(guān)置于“開” 。 啟動生產(chǎn)線的進(jìn)水閥、排水閥、壓縮空氣閥 。 。 。 ,并進(jìn)行啟動 ,設(shè)備進(jìn)入自動運(yùn)行狀態(tài) 。 將待沉銅板插架，一格一張板 ,裝好架后嚴(yán)禁有板重疊。 (規(guī)定板間隔 ) 裝好架后，按生產(chǎn)順序放到上料架，由吊車自動取料。 裝生產(chǎn)板前必須先裝兩框拖缸板放入自動線中 ,使沉銅線藥水活性提升到最佳狀態(tài) 。 生產(chǎn)過程注意 檢查是否有板重疊和松動及掉板。 為保證除油后水洗充分 ,在除油后第二級水洗缸加開熱水洗 ,溫度控制在 50700C. 物理試驗(yàn)室分析背光，背光級數(shù)大于 8級判為合格，沉銅線開拉時(shí)由操作員送板到物理試驗(yàn)室分析背光，合格后才可批量生產(chǎn)，正常生產(chǎn)時(shí)每隔 2小時(shí)由操作員送板到物理試驗(yàn)室分析背光一次，如有異常，及時(shí)通知工藝部處理，并將不良板隔離，標(biāo)識，待返工處理。 下料后放在 13% H2SO4缸中待鍍加厚一次銅。 ： 關(guān)閉電源開關(guān)。 關(guān)閉控制 柜上的泵、吹風(fēng)機(jī)和其輔助設(shè)備的控制開關(guān)。 （排水）閥門、確認(rèn)無泄漏。 ，然后關(guān)閉循環(huán)。缸中無水、無液時(shí)關(guān)閉加熱和循環(huán)。 ，不能關(guān)閉。 ： :連續(xù)生產(chǎn)三天或不連續(xù)生產(chǎn)一周，缸壁有明顯銅粉時(shí)，需要進(jìn)行倒缸處理。 。 。 ： 慢慢加入工業(yè)硫酸 9L 慢慢加入工業(yè)雙氧水 15L 深圳愛 升精密電路科技有限公司 SHEN ZHEN AISHENG PRECISION CIRCUIT SCIENTECH CO.,LTD. 作業(yè)指導(dǎo)書 文件編號： ASWI 制訂日期： 20xx年 5月 25 日 版 本 ： A 頁 碼： 第 15 頁 共 23 頁 文件 名稱 孔化一次銅 作業(yè)規(guī)范 ，將洗缸水排放干凈。 DI水注滿清洗的沉銅缸，開啟打氣與循環(huán)、浸洗 30分鐘放走。 ，通知化驗(yàn)室分析調(diào)整各缸藥水濃度， OK后即可啟動生產(chǎn)。 工藝控制及工藝參數(shù)（見附表） 工序 藥水名稱 開缸含量 控制范圍 添加頻率 換槽標(biāo)準(zhǔn) 除油 CD