athlete晶圓植球機新程序建立(編輯修改稿)
2024-09-17 01:10 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 SET20，選擇“ENTRY”21，先選擇“CENTER”將“+”移至識別DIE頂角中心22，然后選擇“PTN STRAT”定義識別范圍的起始位置23，“PTN SIZE”定義識別范圍的終止位置，即尺寸大小。要求所框圖形是唯一的24，然后按按“EXECU”執(zhí)行25，選擇“EXECUTE WAFER RECOGNITION”中的“FRONT”進行檢查26，檢查顯示屏左上角的SCORE值是否大于9000，若小于則需要按上述步驟重新調(diào)整27，選擇“WAFER RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“BACK”28，同樣方法進行“BACK”識別點的圖像登錄和檢查29，返回到此界面，選擇“PT MASK RECOGNITION POINT TRANSFER”30，選擇“LEFT”移動到涂膠MASK的左邊對位點31，觀察機臺CAMERA的位置左邊對位點 目前CAMERA位置32，利用“TABLE JOG MOVE”移動到對位點位置33，記下當(dāng)前“TABLE JOG MOVE”中X,Y坐標(biāo)值，如圖X: Y:34，選擇“TYPE DATA”中的“MASK RECOGNITION POINT”35，將X,Y坐標(biāo)值輸入進PT MASK RECOG,.LEFT中的X,Y36，再次選擇“PT MASK RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“LEFT”檢查位置是否正確。若不正確則需要按上述重新調(diào)整。37，點擊“【REGISTER】PRINTINT MASK RECOGNITION LEFT，按OK讓軟件記住位置38，選擇“PT MASK RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“RIGHT”39，同樣方法找到RIGHT對位點的正確位置，記下當(dāng)前“TABLE JOG MOVE”的坐標(biāo)值，例如：x’: y’:，那么補正值A(chǔ)=x’X==
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