【文章內(nèi)容簡介】
產(chǎn)節(jié)拍時間 60 S淡黃色為黃光制程(下同)曝光1線Width of line 300177。3μmSpace of line 30177。3μmTotal pitch :X/Y 177。10μmLocation accuracy:177。200um曝光機Cr MASK SIZE: ()mmMini Gap :27 um鍍膜制程SiO2 150? (或無)ITO 300? Rs 110Ω/sq步驟5可與步驟2合二為一金屬鍍膜線生產(chǎn)節(jié)拍時間 60 S由黃光制程決定, 步驟2和步驟5可同時雙面鍍黃光制程黃光制程Width of line 40177。3μm