第六章擴(kuò)散(編輯修改稿)
2024-08-28 17:07 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 [C(λ／ 2,t) Cp]/( Cmax Cp)=exp(π2Dt/λ2)=1/100。 第六章擴(kuò)散 第二節(jié)擴(kuò)散定律 x c 9 第二節(jié) 擴(kuò)散定律 3 擴(kuò)散第二定律的應(yīng)用 （ 3） 高斯解 (薄膜解 ） Cx=(M/√πDT)exp(x2/4Dt) 適用條件：限定擴(kuò)散源、衰減薄膜源 （擴(kuò)散物質(zhì)總量 M不變； t=0,c=0) 例：半導(dǎo)體 Si中 P的摻雜。 第六章擴(kuò)散 第二節(jié)擴(kuò)散定律 2h 10 第三節(jié) 擴(kuò)散的微觀機(jī)理與現(xiàn)象 1 擴(kuò)散機(jī)制 間隙－間隙； （ 1） 間隙機(jī)制 平衡位置－間隙－間隙：較困難； 間隙－篡位－結(jié)點(diǎn)位置 。 （ 間隙固溶體中間隙原子的擴(kuò)散機(jī)制 。 ） 第六章擴(kuò)散 第三節(jié)擴(kuò)散機(jī)理 11 第三節(jié) 擴(kuò)散的微觀機(jī)理與現(xiàn)象 方式：原子躍遷到與之相鄰的空位； （ 2） 空位機(jī)制 條件：原子近旁存在空位 。 （ 金屬和置換固溶體中原子的擴(kuò)散 。 ） 第六章擴(kuò)散 第三節(jié)擴(kuò)散機(jī)理 169。2022 Brooks/Cole, a division of Thomson Learning, Inc. Thomson Learning? is a trademark used herein under license. 12 第三節(jié) 擴(kuò)散的微觀機(jī)理與現(xiàn)象 直接換位 （ 3） 換位機(jī)制 環(huán)形換位 （ 所需能量較高 。 ） 第六章擴(kuò)散 第三節(jié)擴(kuò)散機(jī)理 169。2022 Brooks/Cole, a division
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