質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計使用說明書(編輯修改稿)
2024-08-16 06:31 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 內(nèi)調(diào)零。調(diào)零孔、調(diào)零電位器的位置如圖九所示線性增益內(nèi)調(diào)零 調(diào)零圖九 調(diào)零電位器位置示意圖注意： ** 調(diào)零時流量控制器中不得通氣。** 調(diào)零必須在開機(jī)預(yù)熱15分鐘以后進(jìn)行，以待流量計零點(diǎn)的穩(wěn)定，方可進(jìn)行。** 除調(diào)零電位器外，不得輕易調(diào)整其它電位器。** 若遇到較大的零點(diǎn)偏移，必需用內(nèi)調(diào)零，才能解決。S4933/MT質(zhì)量流量控制器的使用方法和操作步驟（結(jié)合MT50系列流量顯示儀） 開機(jī)前的準(zhǔn)備工作 用我公司提供的電纜線將質(zhì)量流量控制器(計)和流量顯示儀連接。 選擇設(shè)定信號的來源，信號的來源可選擇內(nèi)部和外部，選擇設(shè)定信號來源的接口設(shè)在流量顯示儀的后面板上，如果將設(shè)定端子與內(nèi)設(shè)相連時，從流量顯示儀上獲得設(shè)定信號。如果從其他設(shè)備上得到設(shè)定信號，則由外部信號設(shè)定流量。 開機(jī)操作 接通電源后，先預(yù)熱15分鐘，待零點(diǎn)穩(wěn)定后再通氣工作。最佳操作方法：通電后，將閥開關(guān)置“關(guān)閉”位并將設(shè)定電位器調(diào)到零，再開氣。待零點(diǎn)穩(wěn)定后，將閥開關(guān)轉(zhuǎn)置“閥控”位，然后再將設(shè)定流量調(diào)到您需要的值，實際流量跟蹤設(shè)定值而改變。 清洗與關(guān)閉功能 欲用氣體吹洗管路，可將閥開關(guān)置為“清洗”位，清洗時的流量可達(dá)該控制器額定滿量程流量的幾倍至幾十倍。如果不通氣，也可根據(jù)需要抽真空以排除MFC內(nèi)部及其上游殘存氣體。然后將閥關(guān)閉，再開氣，并轉(zhuǎn)到“閥控”位工作。注意“清洗”后，不得直接轉(zhuǎn)置“閥控”位。 流量檢測和與計算機(jī)A/D轉(zhuǎn)換器的連接 若用戶檢測流量輸出信號（0～+5V）時，將線引至外控信號插座的“流量檢測”和“0電平”線上即可，也可直接與計算機(jī)的模數(shù)轉(zhuǎn)換器連接，+。參考圖8，9。注意，流量檢測輸出電流不大于3mA。 閥控功能 當(dāng)閥開關(guān)置于閥控位時，用戶也可通過外控信號插座上的“閥控制”線控制閥門，當(dāng)閥控線接+15V時，閥門關(guān)閉；當(dāng)閥控線接15V時，處于清洗狀態(tài)；當(dāng)閥控線懸空時，閥門處于自動控制狀態(tài)。參見MT50流量顯示儀的使用說明書。 關(guān)機(jī) 斷電源后，流量自動載止。推薦先關(guān)氣，后斷電源。7 注意事項 使用氣體必須凈化，無塵液體和油污。必要時須在氣路中加裝過濾器、干燥器等。 使用腐蝕性氣體問題 控制器通道采用的材料為：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),Viton,氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無水汽、無塵、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用強(qiáng)腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體時（如NH3，BBr3）等，應(yīng)在定貨時聲明，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。 安裝位置問題 本控制器安裝時最好保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平位安裝時若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移，可調(diào)整零點(diǎn)后再工作。如果用戶訂貨時注明安裝位置，我廠也可根據(jù)用戶的安裝位置進(jìn)行標(biāo)定后出廠。 注意工作壓差要特別注意工作介質(zhì)的氣壓，應(yīng)注意使控制器進(jìn)出氣口兩端的工作壓差保持在指標(biāo)范圍之內(nèi)。特別是在高壓下工作時，氣壓差過大，流量將無法關(guān)閉或調(diào)小。在使用大流量的質(zhì)量流量控制器時，要注意適當(dāng)加粗管道和減小氣源內(nèi)阻，若工作壓差小于要求值，有可能流量達(dá)不到滿量程值。 質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥，不是截止閥，不能當(dāng)截止閥用，用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶如果使用的是腐蝕性氣體，通常應(yīng)該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加裝一個截止閥，以保證安全。本控制器出廠用氮?dú)?N2)標(biāo)定，用戶使用其它氣體時，需在訂貨時特別申明或也可以通過附錄一的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算，將質(zhì)量控制器顯示出的流量讀數(shù)，與某使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)相乘，即得該被測氣體在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量流量。如果用戶使用混合氣體，可以通過附錄二介紹的方法，計算出混合氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。表4故障判斷和處理一覽表序號故障現(xiàn)象故障可能原因處理方法1開機(jī)后，無氣流流過，氣路不通接通氣源，開通氣路將閥開關(guān)置于“閥控”位或“清洗”位檢查設(shè)定電位器和“內(nèi)外”設(shè)定開關(guān)的狀態(tài)等*更換過濾器檢查閥線包是否斷，*清洗調(diào)節(jié)閥*維修電路2開機(jī)不通氣的情況下，流量檢測不正常調(diào)整調(diào)零電位器*檢查177。15V電源等*更換傳感器*更換運(yùn)放，維修電路3在閥門關(guān)閉的情況下，仍有較大的流量流過，進(jìn)出氣口之間的壓差超過額定值適當(dāng)降低輸入氣壓，減小氣壓差 閥門污染清洗閥門，更換密封件 調(diào)節(jié)閥故障重新調(diào)整調(diào)節(jié)閥4流量顯示不能達(dá)到滿量程度 氣壓降低于額定值提高入口氣壓 通道堵塞*清洗FMC通道 檢查設(shè)定電壓 其它電路故障維修電路續(xù)表4故障判斷和處理一覽表5氣流控制不穩(wěn)定 氣源壓強(qiáng)太低或不穩(wěn)提高氣源氣壓，穩(wěn)定氣源壓強(qiáng) 氣源內(nèi)阻過大降低氣源內(nèi)阻（大流量時要注意開大閥門，加粗管道，以至并聯(lián)氣瓶。提高氣源供氣能力） 電路或調(diào)節(jié)閥故障*維修調(diào)整6使用高頻源時流量控制器受干擾 供電系統(tǒng)的地線和零線連接或機(jī)殼接地有問題檢查接地系統(tǒng)，注意一點(diǎn)接地 信號參考端連接問題檢查信號連接線 空間干擾適當(dāng)屏蔽，遠(yuǎn)離干擾源，選用屏蔽線7實際流量與顯示流量不一致 顯示器量程或單位與控制器不匹配*重調(diào)顯示器 控制器通道被污染，引起流量精度發(fā)生偏差*對控制器進(jìn)行清洗標(biāo)定 流量計零點(diǎn)*更換傳感器，維修電路8設(shè)定為零時仍有流量流過 調(diào)節(jié)閥漏氣*維修調(diào)節(jié)閥 流量計零點(diǎn)偏負(fù)將流量計零點(diǎn)為零或偏正9通道有很大氣流流過，而輸出無流量顯示 傳感器堵塞*維修更換傳感器氣源有粉塵，應(yīng)在通道前加裝過濾器。若使用硅烷等特殊氣體，應(yīng)注意管路的密封性和氣源干燥。 電路故障*維修電路10不通氣時，發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)不穩(wěn)，或零點(diǎn)長時間慢漂移 傳感器故障*更換傳感器[注意] 標(biāo)*號的處理項目，應(yīng)由專業(yè)維修人員修理，或送回本公司修理。氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù) 附錄一. 氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)：氣 體比熱(卡/克℃)密度(克/升0℃)轉(zhuǎn)換系數(shù) 空氣 Air 氬氣 Ar
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