機械設(shè)計制造及其自動化指南(編輯修改稿)
2025-07-27 05:10 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 差優(yōu)于177。 弧秒。 2004年，邱等人。開發(fā)了一種小角度測量使用多個總外差干涉內(nèi)部分析，=X=。大多數(shù)角度測量技術(shù)的研究重點在1D角度測量，干涉角度測量和2D干涉測量技術(shù)。但是，昂貴而復(fù)雜的干涉系統(tǒng)，不能被廣泛用于工業(yè)。因此，成本低，多自由度測量系統(tǒng)在轉(zhuǎn)臺校準時是非常重要的。位置傳感探測器（位置感應(yīng)探測器）可用于測量旋轉(zhuǎn)部分誤差，回轉(zhuǎn)體零件的速度，旋轉(zhuǎn)方向扶輪的一部分角位置和誤差。 Jywe等。采用兩種位置傳感器和一個反射光柵測試轉(zhuǎn)臺的性能，但其測量范圍非常?。?16。11）沒有完整的圓試驗來提供整個圓的測量。然而，對于一般轉(zhuǎn)盤校準的360176。整圈的測試是必要的。這兩個文件描述了一個4自由度測量系統(tǒng)的建設(shè)并建立一種新的技術(shù)轉(zhuǎn)盤一圈測試。四自由度系統(tǒng)，本文提出包括一維反射光柵，一個激光二極管，四個位置傳感器及一個參考回轉(zhuǎn)工作臺。 干涉儀和自準直儀是常用的轉(zhuǎn)臺測量系統(tǒng)。然而，在轉(zhuǎn)臺校準過程中，激光干涉儀和自準直儀分別需要高精確度參考轉(zhuǎn)盤和一個多棱鏡。因此，使用激光干涉儀或自準直儀進行校準回轉(zhuǎn)工作臺是昂貴的。此外，在提出的方法，沒有高準確的參考轉(zhuǎn)盤， 但具有良好的重復(fù)性是必要的。即使索引誤差和幾何誤差參考轉(zhuǎn)盤大，他們將獲得所提出的方法。 2。四自由度測量系統(tǒng) 在這個文件中，四自由度測量系統(tǒng)包括一個參考回轉(zhuǎn)工作臺，一維光柵，一個激光二極管，傳感器，反射光柵和兩個處理器，一個A / D卡和一臺個人電腦（PC）。圖 1給出了電路圖。該參考轉(zhuǎn)盤被放置在目標旋轉(zhuǎn)，然后一維光柵上由夾具回轉(zhuǎn)工作臺安裝表。激光二極管和位置傳感器被放在光柵的附近。從激光束激光二極管是一維光柵投影到一維光柵，然后產(chǎn)生了許多衍射光束。在這個文件中，+1和1級衍射光束被使用，兩個傳感器被用來檢測衍射光束。一般來說定義在轉(zhuǎn)臺的六幾何誤差，即三個線性位置誤差和三個角位置誤差。在此外，還有之間的光柵和偏心軸的轉(zhuǎn)盤，這是因為Dx和Dy定義。對光柵的光點距離轉(zhuǎn)盤原點是h0。 3。應(yīng)全面圈測試模型大多數(shù)儀器的測量范圍為小于10176。，所以一個完整的校準轉(zhuǎn)盤需要一種特殊的方法。在正常轉(zhuǎn)臺校準，自準直儀使用一個多邊形鏡子和激光干涉儀并且使用一個參考回轉(zhuǎn)工作臺。在這試驗中，該技術(shù)還需要一個參考旋轉(zhuǎn)表，但參考轉(zhuǎn)盤要求測試參考旋轉(zhuǎn)臺的誤差必須可重復(fù)的。1994年，林建立了一個轉(zhuǎn)盤校準技術(shù)，它可以測量索引誤差為360176。的整圈回轉(zhuǎn)工作臺。然而，該技術(shù)只能單次測量誤差。因此，一個改良的方法是成立于本節(jié)。當旋轉(zhuǎn)的誤差參考表進行了審議，對旋轉(zhuǎn)的幾何誤差表是其中εz
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