【文章內(nèi)容簡介】 防靜電等相應措施。SJ3000292√雙套管輸送，防腐內(nèi)涂層。危險相同的生產(chǎn)，宜集中或相鄰布置SJ3000292√對于產(chǎn)生有害、有毒物質(zhì)的廠房，廠房內(nèi)部應采取便于清掃、刷洗以及防止毒物附著和積蓄的措施。SJ3000292√防泄漏收集采用二次容器。車間內(nèi)各種明溝，應加設蓋板。SJ3000292√生產(chǎn)過程中工作服易污染、沾染，易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì)，潔凈度要求嚴格的廠房和車間應設置洗衣房。SJ3000292√設洗衣房。凡使用酸、堿或有機溶劑進行化學清洗的設備，必須裝設局部排風聯(lián)鎖。SJ3000292√有下列情況之一時，排風不應合為一個系統(tǒng)：混合后能引起燃燒或爆炸時； （1）混合后能引起燃燒、爆炸時； （2）易燃易爆工作間排風與一般工作間排風。SJ3000292√均設置獨立排風。氫氣、煤氣管道，在末端、最高點等處應設置放散管，放散管應高出屋頂；放散管上應設阻火器。SJ3000292√潔凈廠房內(nèi)用于硅烷等容易自燃氣體的風管宜采用不銹鋼管、排放含酸、堿性氣體的風管應采用不燃或經(jīng)過防火處理的專用塑料風管或不銹鋼風管。SJ3000292√雙層不銹鋼、酸堿風管采用ATC玻璃鋼涂層。4危險化學品的使用、輸送與管理危險化學品應按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲存、輸送。性質(zhì)相抵觸的化學危險品，嚴禁混放在一起。SJ3000292√分酸、 堿有毒氣體室、硅烷室、易燃氣體室等。支援車間分功能區(qū)。輸送危險化學品的設備、附屬儀表、器材等，應根據(jù)危險介質(zhì)，采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。輸送腐蝕性較強的液體管道，不應敷設在其它管道的上方，并不宜連接埋地敷設。SJ3000292√雙層套管內(nèi)設泄漏檢測。儲存有較強腐蝕性液體的設備應設置必要的防溢出、防滲漏緊急處理設施。其基礎及周圍地面應采取防腐蝕處理。SJ3000292√全封閉輸送機組，多種報警聯(lián)鎖裝置；周圍設置圍堰。對于輸送具有較強腐蝕性液體的化學藥劑泵、在其填料函或機械密封圈、法蘭、閥門易噴射泄漏處，應設置適當?shù)陌踩雷o。SJ3000292√全封閉PLC程控泵組無泄漏。泵為全封閉型輸送有毒介質(zhì)的設備、管道放空時，應加以收集或處理，不得任意排放。SJ3000292√收集并加以洗滌。易燃、易爆的車間，應采用易于清洗、撞擊或磨擦時不產(chǎn)生火花的地面。SJ3000292√硅烷室、易燃室符合要求。有爆炸危險的房間（如硅烷室、易燃氣體室、生產(chǎn)車間等），應設置泄壓措施，安全出口不應少于2個。其中一個直接對外，不超過100m2的房間可設一個出口。GBJ1687∽硅烷室設泄壓其余無，安全出口均不少于2個。危險化學品使用場所應設置通訊、報警裝置，并保證在任何情況下均處于正常使用狀態(tài)。危險化學品安全管理條例第18條√設置應急通訊、自動、手動報警裝置。應在危險化學品作業(yè)場所設置急救設施，并提供應急處理的方法。工作場所安全使用化學品規(guī)定第17條√設置應急用品柜，提供處理方法。使用單位應對盛裝、貯存危險化學品的設備，采用顏色、標牌、標簽等形式，標明其危險性。工作場所安全使用化學品規(guī)定第19條√儲存柜上均有標識。丙酮、雙氧水等氧化劑不得在操作崗位附近混合貯存，氧化劑應單獨存放。GB156031995√單獨存放。廢棄、過期的化學危險品及使用過的包裝容器必須妥善保管，不得隨意拋棄，依據(jù)危險廢棄物的處置標準進行處置。關于加強化學危險物品管理的通知√使用危險化學品，在天津市有關主管部門辦理了登記手續(xù)，并取得使用許可證。市安監(jiān)局、市經(jīng)委相關文件要求∽正申辦。有關領導和從業(yè)人員必須接受法律、法規(guī)、規(guī)章和安全知識、專業(yè)技術的培訓，經(jīng)考核合格，方可上崗作業(yè)?！段ｋU化學品安全管理條例》第四條∽已組織，尚未培訓。5有毒氣體控制裝置砷烷、氯氣、氨等有毒、易燃、易爆氣體的鋼瓶柜，離子刻蝕設備、離子注入機等使用有害氣體的作業(yè)點，應設事故排風裝置。SJ3000292√使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作間，宜設報警裝置及事故排風。報警裝置宜與生產(chǎn)設備、操作閥聯(lián)鎖，不工作，亦應定時進行排風。SJ3000292√設置報警聯(lián)鎖裝置及事故排風。6電氣電氣裝置采用接地故障保護時，應做總等電位聯(lián)接。SJ3000292√等電位連接。檢測和控制儀表的電源和氣源，停電或停氣可能使生產(chǎn)、動力設備造成重大事故時，必須有備用電、氣源。備用時應根據(jù)工藝、動力要求確定，一般不小于1530分鐘。SJ3000292√設發(fā)電機3臺，壓縮空氣備用氣源≥30min。停電或停氣時，調(diào)節(jié)閥的閥位應處于安全位置。SJ3000292√消防設施、防煙排煙系統(tǒng)、電動防火門窗、火災應急照明、消防用電設備，應采用單獨的供電回路，并當發(fā)生火災切斷生產(chǎn)、生活用電時，應仍保證消防用電。其配電設備應有明顯標志。SJ3000292√單獨設置供電回路，UPS、EPS、SP電源，在有爆炸危險環(huán)境內(nèi)，敷設電氣線路的溝道、電纜或鋼管，在穿越不同區(qū)域之間隔墻或樓板處的孔洞，應采用非燃性材料嚴密堵塞。SJ3000292√防火水泥堵塞。電氣設備線路必須安全可靠,照明應采用有防護罩的燈具。SJ3000292√線路穿管敷設，燈具有防護罩。在火災、爆炸危險環(huán)境內(nèi)，可能產(chǎn)生靜電危害的設備、管道應采取靜電接地措施。SJ3000292√設備、管道均采取靜電接地措施。在重點防火、防爆作業(yè)區(qū)的入口處，應設計人體導除靜電裝置；并配備個人防靜電防護用品。HG2057195√設消除靜電離子發(fā)生器。7消防、報警設施建筑滅火器的配置應按《建筑滅火器配置設計規(guī)范》的有關規(guī)定執(zhí)行。GBJ1687√潔凈室及技術夾層應設置自動滅火系統(tǒng)。SJ3000292√生產(chǎn)廠房應設置火災自動報警檢測系統(tǒng)。SJ3000292GB1280191√儲存、使用易燃易爆物質(zhì)的生產(chǎn)區(qū)、硅烷室、易燃氣體室等應設置可燃氣體監(jiān)測報警裝置、事故排風及防爆設施。GBJ1687SJ3000292√設作業(yè)環(huán)境監(jiān)測報警系統(tǒng)。潔凈廠房、有毒、易燃氣瓶間等可能散發(fā)可燃、可爆和有毒、有害氣體的場所應設置各種可燃、有毒、有害氣體檢漏報警裝置。SJ3000292√設置不同類型報警裝置。8氣瓶安全使用使用氣瓶應：采購和使用有制造許可證的企業(yè)的合格產(chǎn)品，不使用超期未檢的氣瓶。必須到已辦理充裝注冊的單位或經(jīng)銷注冊的單位購氣。氣瓶使用前應進行安全狀況檢查，對盛裝氣體進行確認。氣瓶放置地點不得靠近熱源和明火，應保證氣瓶干燥。氣瓶立放時，應采取防止傾倒的措施；夏季應防止爆曬；嚴禁敲擊、碰撞；嚴禁在氣瓶上進行電焊引弧；瓶內(nèi)氣體不得用盡，必須留有剩余壓力或重量。氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程第79條√各項措施齊備。磷烷、砷烷等有毒、易燃、易爆氣體鋼瓶，必須放置在設有排風防護裝置的金屬柜內(nèi)。不工作時，應有自動定時排風系統(tǒng)。SJ3000292√長期通風。9安全標志凡容易發(fā)生事故危及安全的場所，應設置安全標志，必要處尚應設置聲、光、色或聲、光結合的緊急警告信號。SJ3000292√機臺、氣柜等均設置安全標志。廠房、動力站房的安全出口及疏散通道，應設置明顯的標志。SJ3000292√安全標志的涂色，應符合國家現(xiàn)行《安全標志》及《安全色》標準的規(guī)定。GB289382GB28941996√工業(yè)管路基本識別色應符合：綠色：水鋁色：蒸氣棕色：易燃液體黃褐色：氣態(tài)或液態(tài)氣體（空氣、氧氣除外）紫色：酸或堿淺藍色：空氣或氧氣黑色：其它液體。GB723187∽未完全執(zhí)行本國標。 單元的主要危險因素SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復雜，同時使用多種易燃、易爆、有毒化學試劑和易燃、有毒氣體，按照GBJ1687“生產(chǎn)的火災危險性分類”為甲類，因此火災、爆炸、中毒是本單元的主要危險因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。 已采取的主要安全技術、管理措施針對上述危險有害因素，為了確保生產(chǎn)工藝及支援車間的安全運行，企業(yè)已采取的安全技術措施主要有：1） 潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結構、耐火等級符合國家相關規(guī)范要求；2） 潔凈室在產(chǎn)生有害氣體工作區(qū)設置局部排風，同時設置火災自動報警裝置、火災排煙系統(tǒng)及應急照明；3） 將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設置在獨立的房間內(nèi)，硅烷單獨設置在獨立的建筑物內(nèi)；4） 所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內(nèi)，氣柜帶有閥門盒和閥門屏，氣柜內(nèi)配備自動的氮氣凈化系統(tǒng)。5） 有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設備和有毒氣體排放口設監(jiān)測點，所有探頭具有高敏度報警功能；6） 酸、堿、有機溶劑采用高純氮氣充填容器，利用雙層管道輸送至使用點，在雙層管道內(nèi)設監(jiān)測報警探頭，所有化學品盛裝容器、使用點均設置局部排風系統(tǒng)；7） 在危險化學品生產(chǎn)、儲存場所設置洗眼器及安全淋浴裝置；8） 本單元消防、報警、聯(lián)鎖裝置的設置基本符合國家標準要求。 問題與建議為了保證系統(tǒng)能夠安全運行，廠方采取了一些安全措施，基本能夠實現(xiàn)安全生產(chǎn)。通過對作業(yè)現(xiàn)場安全現(xiàn)狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體問題和建議如下：1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易燃氣體室未設置泄壓設施，并且未按SJ3000292標準設置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風系統(tǒng)等安全裝置、設施的齊備、完好及有效性。2) 廢液收集罐上的平臺護欄需按標準要求修復；3) 應按GB723187相關要求對工業(yè)管路涂敷基本識別色。SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝單元主要危險因素是各類可燃氣體、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災、爆炸、中毒。潔凈生產(chǎn)車間、支援車間設計、施工以及各類危險化學品安全使用、儲存情況基本符合標準、規(guī)范和安全生產(chǎn)要求；項目本質(zhì)安全程度較高，各項安全裝置基本齊全、有效。只要在生產(chǎn)過程中嚴格執(zhí)行各項安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程，可以實現(xiàn)安全生產(chǎn)。化學品庫安全檢查表 序號檢查項目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結果備注1基本要求化學危險品及貯存數(shù)量，必須經(jīng)公安部門批準。未經(jīng)批準，不得隨意設置化學危險品貯存?zhèn)}庫。GB156031995√危險化學品使用、儲存企業(yè)，應當分別向省、自治區(qū)、直轄市人民政府經(jīng)濟貿(mào)易管理部門和設區(qū)的市級人民政府負責危險化學品安全監(jiān)督管理綜合工作的部門辦理登記注冊手續(xù)。國務院令第344號9條∽此項工作正在辦理過程中。貯存化學危險品的倉庫，必須配備有專業(yè)知識的技術人員。其庫房及場所應設專人管理，管理人員必須配備可靠的個人安全防護用品。GB156031995√倉庫配備有專業(yè)技術人員，專門庫管人員配備有安全防護用品。貯存化學危險品的建筑物，區(qū)域內(nèi)嚴禁吸煙和使用明火。GB156031995√全廠禁煙，區(qū)域內(nèi)不準使用明火。貯存的化學危險品應有明顯的標志，同一區(qū)域貯存兩種或兩種以上不同級別的危險品時，應按最高等級危險物品的性能標志。GB156031995√各儲存室門上標有所存放物品的火災等級、毒性等級，反應活性等級及所屬物質(zhì)分類（或禁忌物品種類）的醒目標志。2建筑物及設施化學危險品庫房的建筑耐火等級應為二級，單層，建筑面積不大于750m2。GBJ1687√該倉庫的建筑面積777m2，稍大于規(guī)范要求面積，視為合格。化學危險品庫建筑耐火等級不應低于二級，防火間距不應少于30m，消防通道必須保證暢通。SJ3000292√以T建筑物為中心，建筑物與庫區(qū)外的建筑物間距符合要求，消防通道暢通。貯存化學危險品的建筑物，不得有地下室或其它地下建筑。GB156031995√沒有庫房或每個防火隔間的安全出口數(shù)目不宜少于2個。GBJ1687√庫房對外有2個出入口，每個儲存間除有一個與主走廊相通的門外，都有一個直接通向建筑物外的緊急疏散門?；瘜W危險品庫建筑設計，應符合安全、防火規(guī)定。應采取隔熱、通風、防止陽光直射措施，保證庫內(nèi)空氣流通、干燥涼爽，應避免可燃氣體積聚，并根據(jù)物品的種類、性質(zhì)，采取相應的防爆、泄壓、防火、滅火、防雷、報警、調(diào)溫、防潮、消除靜電、防護圍堤等安全措施。SJ3000292√該條要求本庫都有相應的安全設施給予保證，如不間斷排風、報井、水噴淋滅火、防雷、消除靜電、腐蝕液體流散收集溝等，在下面分條檢查。貯存易燃、易爆化學危險品的建筑，必須安裝避雷設施。GB156031995√倉庫屋頂設有避雷設施并與接地體相連。化學危險品庫房，必須安裝通風設備。GB156031995√庫房有單獨的通風系統(tǒng)，其設施安裝于主走廊的夾層內(nèi)?；瘜W危險品庫房，通排風系統(tǒng)應設有導除靜電的接