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正文內(nèi)容

6-8英寸硅拋光片擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表(編輯修改稿)

2025-06-13 12:05 本頁(yè)面
 

【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 0~80dB之間;公用動(dòng)力設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲,包括空壓機(jī)房、真空機(jī)、水泵等,產(chǎn)生的噪聲在60~85dB之間;廢水、廢氣處理設(shè)備運(yùn)行產(chǎn)生的噪聲,產(chǎn)生的噪聲在50~85dB之間。冷卻水塔運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的噪聲,產(chǎn)生的噪聲在60~85dB之間。④固體廢物根據(jù)本項(xiàng)目生產(chǎn)工藝,其固體廢物產(chǎn)生情況如下:生產(chǎn)工序中使用的石墨基座廢料,其主要成份為廢石墨等,年產(chǎn)生量為30t/a;污水處理站混凝沉淀后產(chǎn)生污泥,根據(jù)廢水中SS濃度,確定其污泥排放量為12t/a。企業(yè)辦公、生活垃圾其產(chǎn)生量為36t/a。三、公用工程(1)給水排水系統(tǒng)企業(yè)給排水系統(tǒng)主要依托某保稅區(qū)東區(qū)給排水管網(wǎng),自來(lái)水接自保稅區(qū)東區(qū)給水管網(wǎng),其供水能力達(dá)6000t/d,廠內(nèi)建有循環(huán)冷卻水系統(tǒng)能力為4000t/h,純水、高純水制備其能力為600t/d。企業(yè)建有250t/d處理能力廢水處理設(shè)施一套,生產(chǎn)廢水經(jīng)中和、沉淀、生化處理后排入保稅東區(qū)污水管網(wǎng),進(jìn)入巖東污水處理廠。(2)供熱由于目前保稅區(qū)東區(qū)內(nèi)沒(méi)有集中供熱,為了控制潔凈廠房的溫度和濕度,本項(xiàng)目設(shè)立燃油蒸氣鍋爐一臺(tái),采用0柴油作為燃料,其用量226kg/h,鍋爐工作時(shí)間以每天24小時(shí)計(jì),年耗燃油量約2128t/a。根據(jù)《三廢處理工程技術(shù)手冊(cè)—廢氣卷》提供的產(chǎn)污系數(shù),估算得各大氣污染物排放量如下表:污染物名稱排放系數(shù)排放量濃度煙氣量——TSP15 mg/Nm3SO2364mg/Nm3NO2*136mg/Nm3CO38mg/Nm3*:為原數(shù)值NO2%。(3)供電供電接保稅區(qū)供電網(wǎng)絡(luò),公司原有35KV變電站一座,總供電容量20000KVA。(4)壓縮空氣本項(xiàng)目二套20m3/min無(wú)油空氣壓縮機(jī)組。(5)職工人數(shù)、生產(chǎn)制度全公司現(xiàn)有員工及管理人員數(shù)為200人。年工作日330天左右,三班制運(yùn)行。四、主要環(huán)境問(wèn)題根據(jù)某半導(dǎo)體有限公司、某電子股份有限公司的竣工驗(yàn)收?qǐng)?bào)告,目前該公司位于某保稅區(qū)東區(qū),廢水、廢氣處理裝置齊全,正常運(yùn)行情況下,能確保廢水、廢氣、噪聲的達(dá)標(biāo)排放,同時(shí),某保稅區(qū)屬港口貿(mào)工型的綜合性保稅區(qū),配套設(shè)施完善,全區(qū)排水采用雨污水分流制,排水與某開(kāi)發(fā)區(qū)并網(wǎng),污水通過(guò)泵站排至開(kāi)發(fā)區(qū)巖東污水處理廠處理達(dá)標(biāo)后排入金塘水道。主要環(huán)境問(wèn)題該公司應(yīng)加強(qiáng)廢氣處理裝置的運(yùn)行管理,確保廢氣處理裝置意外事故的發(fā)生,影響周圍環(huán)境。 建設(shè)項(xiàng)目所在地自然環(huán)境社會(huì)環(huán)境簡(jiǎn)況自然環(huán)境簡(jiǎn)況(地形、地貌、地質(zhì)、氣候、氣象、水文、植被、生物多樣性等) 地理位置項(xiàng)目位于某保稅區(qū)東區(qū)0125地塊,港東大道20號(hào)。廠區(qū)北臨保稅區(qū)界河,靠近港務(wù)局碼頭區(qū);南依港東大道,與蘭羚鋼鐵公司隔路相望;東為興業(yè)五路,與某日月鉆石科技有限公司相鄰;西靠興業(yè)四路,與高新貨柜公司和成路包裝公司隔路相望,本項(xiàng)目主要在公司廠區(qū)中部的單晶、切磨、拋光廠房?jī)?nèi),詳見(jiàn)地理位置圖。 地形、地貌和地質(zhì)某保稅區(qū)位于某市東部的北侖區(qū),地理坐標(biāo)為東徑121176。48′,北緯29176。58′。北侖地區(qū)地形呈狹長(zhǎng)不規(guī)則三角形,西北為濱海水網(wǎng)平原,東南為低山丘陵區(qū),區(qū)內(nèi)河流池塘交錯(cuò)密布,地勢(shì)向海岸方向略有傾斜,%,略低于高潮海水水面。 氣象、氣候特征北侖區(qū)氣候?qū)賮啛釒Ъ撅L(fēng)氣候,四季分明,氣候溫和濕潤(rùn),雨量充沛。冬季少雨干冷,春末夏初為梅雨季節(jié),78月受太平洋副熱帶高壓控制,天氣晴熱少雨。由于地處沿海,受海陸風(fēng)影響比較明顯,夏秋季節(jié)受太平洋臺(tái)風(fēng)影響,伴有大風(fēng)和暴雨。本區(qū)域主要?dú)庀笠厝缦拢簹v年最高氣溫 ℃歷年最低氣溫 ℃年平均氣溫 ℃年平均相對(duì)濕度 82%多年平均降水量 年平均雨日 年平均氣壓 年平均風(fēng)速 主導(dǎo)風(fēng)向 SE(%) N(%) 水文保稅區(qū)毗鄰的金塘水道海域?qū)儆诓徽?guī)半日潮,由于有舟山群島的金塘、大榭、黃蟒等島作屏障,外海涌浪難以傳入,主要波浪是局部水域產(chǎn)生的風(fēng)浪。水道內(nèi)水深流急,在潮汐作用下,具有良好的水質(zhì)交換條件。社會(huì)環(huán)境簡(jiǎn)況(社會(huì)經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)、教育、文化、文物保護(hù)等)某保稅區(qū)自1992年建區(qū)至今,已開(kāi)發(fā)東區(qū)、西區(qū)、南區(qū)三部分,保稅區(qū)內(nèi)設(shè)有電子信息園、國(guó)際軟件園、留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)園、精密機(jī)械(汽配)園、物流分撥中心。某保稅區(qū)自1992年建區(qū)到目前為止,已有近40個(gè)國(guó)家和地區(qū)的投資者在區(qū)內(nèi)設(shè)立企業(yè)4000多家,注冊(cè)資金達(dá)230億元,其中外商投資企業(yè)684家,總投資26億美元。引進(jìn)高科技項(xiàng)目131個(gè)。尤其是臺(tái)資企業(yè)集聚發(fā)展,引進(jìn)臺(tái)資企業(yè)110多家,其中生產(chǎn)型企業(yè)51家,成為某省最大的臺(tái)資企業(yè)集聚地。目前,區(qū)內(nèi)已初步形成 計(jì)算機(jī)產(chǎn)業(yè)群、半導(dǎo)體光電產(chǎn)業(yè)群、精密機(jī)械產(chǎn)業(yè)群、留學(xué)生創(chuàng)業(yè)企業(yè)群軟件產(chǎn)業(yè)群和國(guó)際貿(mào)易、倉(cāng)儲(chǔ)物流企業(yè)群,成為華東地區(qū)高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的高地和重要的進(jìn)出口物流集散地。(2)巖東污水處理廠概況開(kāi)發(fā)區(qū)巖東污水處理廠設(shè)計(jì)規(guī)模24萬(wàn)噸/日,一期工程60000m3/d已于2002年5月正式投入運(yùn)行,其處理工藝為二級(jí)氧化溝好氧生化處理工藝,廢水經(jīng)處理達(dá)到城鎮(zhèn)污水處理廠二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)后排海,并通過(guò)排海管進(jìn)行深海排放。根據(jù)設(shè)計(jì)要求,其主要接納生活污水、工業(yè)污水以及北侖倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)廢水,進(jìn)入巖東污水處理廠廢水必須符合巖東污水處理廠進(jìn)網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)。 環(huán)境質(zhì)量狀況建設(shè)項(xiàng)目所在地區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀及主要環(huán)境問(wèn)題(環(huán)境空氣、地面水、地下水、生態(tài)環(huán)境等)空氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀2003年10月10日至14日對(duì)新矸鎮(zhèn)空氣環(huán)境質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)測(cè),結(jié)果匯總?cè)缦拢喉?xiàng)目均值范圍(mg/m3)超標(biāo)率(%)SO2~0NO2~0TSP~0按某市空氣質(zhì)量功能區(qū)域劃分,該地區(qū)執(zhí)行空氣環(huán)境質(zhì)量二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),根據(jù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)表明,該區(qū)域環(huán)境空氣質(zhì)量符合二級(jí)環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)。水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀近年來(lái)在北侖海域進(jìn)行過(guò)多次海洋水質(zhì)監(jiān)測(cè),基本包括了整個(gè)北侖海域,歷年監(jiān)測(cè)統(tǒng)計(jì)結(jié)果見(jiàn)下表: 北侖海域水質(zhì)監(jiān)測(cè)結(jié)果(單位:除PH外均為mg/l)項(xiàng)目范圍均值類別項(xiàng)目范圍均值類別PH~Ⅰ無(wú)機(jī)磷~ⅠDO~Ⅰ石油類~ⅡCODMn~ⅠCr0~Ⅰ無(wú)機(jī)氮~ⅣSS326~2640798從上述數(shù)據(jù)可知,本區(qū)域絕大多數(shù)水質(zhì)指標(biāo)如PH、DO、CODMn均保持在Ⅰ類海水標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)。污染物中石油類濃度較高,與該水域海上交通繁忙,油庫(kù)較多,排入含油污水量大有關(guān)。聲學(xué)環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀對(duì)保稅區(qū)東區(qū)環(huán)境噪聲進(jìn)行監(jiān)測(cè),;;聲環(huán)境現(xiàn)狀滿足工業(yè)區(qū)要求的三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)(列出名單及保護(hù)級(jí)別)根據(jù)水功能區(qū)劃及建設(shè)項(xiàng)目所在的區(qū)域的環(huán)境狀況,主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)為:水環(huán)境:本海域主導(dǎo)使用功能是港口、工業(yè),水質(zhì)目標(biāo)為三類;大氣環(huán)境:《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB30951996)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn);聲環(huán)境:工業(yè)區(qū)執(zhí)行《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》(GB309693)3類標(biāo)準(zhǔn)。 評(píng)價(jià)適用標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn) 水環(huán)境納污海域執(zhí)行《海水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB30971997)第三類,主要參數(shù)為PH ~,DO>4mg/L,SS(人為增加的量)≤100mg/L,COD≤4mg/L,BOD5≤4mg/L,石油類≤,活性磷酸鹽(以P計(jì))≤。 環(huán)境空氣根據(jù)《某市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分》,本區(qū)域?qū)俣悈^(qū),執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB30951996)中的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),詳見(jiàn)下表。 污染物名稱取值時(shí)間濃度限值(mg/m3)一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)SO2年平均日平均1小時(shí)平均NO2年平均日平均1小時(shí)平均TSP年平均日平均 環(huán)境噪聲保稅區(qū)按GB309693《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標(biāo)準(zhǔn)》3類標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行,即晝間65dB,夜間55dB。污染物排放標(biāo)準(zhǔn) 廢水排放標(biāo)準(zhǔn)本項(xiàng)目廢水排入保稅區(qū)污水管網(wǎng)至巖東污水處理廠,排放廢水執(zhí)行CJ30821999《污水排入城市下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》和巖東污水處理進(jìn)網(wǎng)要求,其主要指標(biāo):PH 6~9,SS≤350mg/L,BOD5 ≤200mg/L, CODcr≤400mg/L,SS≤350mg/L,石油類≤20mg/L。 廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)鍋爐廢氣排放執(zhí)行GB132712001《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》二類區(qū)Ⅱ時(shí)段標(biāo)準(zhǔn)。 鍋爐類別適用區(qū)域煙塵(mg/m3)SO2 (mg/m3)NO2 (mg/m3)煙囪高度(m)燃油鍋爐二類區(qū)1005004008工藝廢氣執(zhí)行GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),其主要指標(biāo)如下表:序號(hào)污染物最高允許排放濃度mg/m3最高允許排放速率,kg/h無(wú)組織排放監(jiān)控濃度限值mg/m3排氣筒高度m二級(jí)1氮氧化物24015202氟化氫152020(μg//m3) 噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)企業(yè)廠界噪聲執(zhí)行GB1234890《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn),即晝間65dB,夜間55dB??偭靠刂浦笜?biāo) 建設(shè)項(xiàng)目工程分析工藝流程簡(jiǎn)述(圖標(biāo)) 工藝流程硅拋光片的生產(chǎn)工藝一般可分二步:第一步:生產(chǎn)單晶硅晶錠。利用單晶爐將半導(dǎo)體級(jí)多晶硅在最高溫度達(dá)1700℃的熱場(chǎng)中熔化,然后通過(guò)籽晶生長(zhǎng)在用戶所需的直徑和電學(xué)參數(shù)的單晶硅錠。第二步:制作拋光片。將單晶硅錠在專用設(shè)備上進(jìn)行切片、磨片、拋光加工生產(chǎn),加工成拋光片,控制其幾何尺寸和表面質(zhì)量,使之能滿足外延片生產(chǎn)的要求。本項(xiàng)目主要按上述二步生產(chǎn)工藝,硅拋光片生產(chǎn)工藝流程及排污情況如下:(1)單晶硅晶錠生產(chǎn)工藝及排污情況單晶硅晶錠生產(chǎn)工藝及排污位置如下圖:多晶清洗備料單晶生長(zhǎng)單晶切段坩堝清洗晶錠滾圓周檢測(cè)酸性廢氣切割研磨廢水酸性廢水(2)硅拋光片生產(chǎn)工藝及排污情況硅拋光片其生產(chǎn)工藝及排污位置如下:成品晶錠切片切片檢驗(yàn)熱處理清洗倒角烘干革命檢驗(yàn)拋光腐化研磨切割廢水堿性廢水研磨廢水廢氣包裝拋光片產(chǎn)品廢水 主要新增設(shè)備根據(jù)生產(chǎn)要求,其主要生產(chǎn)設(shè)備如下表:序號(hào)名稱型號(hào)數(shù)量單位備注1單晶爐CG600024臺(tái)2單晶爐KAYE
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