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正文內(nèi)容

6-8英寸硅拋光片擴產(chǎn)項目環(huán)境影響報告表-閱讀頁

2025-06-01 12:05本頁面
  

【正文】 變電站一座,總供電容量20000KVA。(5)職工人數(shù)、生產(chǎn)制度全公司現(xiàn)有員工及管理人員數(shù)為200人。四、主要環(huán)境問題根據(jù)某半導(dǎo)體有限公司、某電子股份有限公司的竣工驗收報告,目前該公司位于某保稅區(qū)東區(qū),廢水、廢氣處理裝置齊全,正常運行情況下,能確保廢水、廢氣、噪聲的達標排放,同時,某保稅區(qū)屬港口貿(mào)工型的綜合性保稅區(qū),配套設(shè)施完善,全區(qū)排水采用雨污水分流制,排水與某開發(fā)區(qū)并網(wǎng),污水通過泵站排至開發(fā)區(qū)巖東污水處理廠處理達標后排入金塘水道。 建設(shè)項目所在地自然環(huán)境社會環(huán)境簡況自然環(huán)境簡況(地形、地貌、地質(zhì)、氣候、氣象、水文、植被、生物多樣性等) 地理位置項目位于某保稅區(qū)東區(qū)0125地塊,港東大道20號。 地形、地貌和地質(zhì)某保稅區(qū)位于某市東部的北侖區(qū),地理坐標為東徑121176。58′。 氣象、氣候特征北侖區(qū)氣候?qū)賮啛釒Ъ撅L(fēng)氣候,四季分明,氣候溫和濕潤,雨量充沛。由于地處沿海,受海陸風(fēng)影響比較明顯,夏秋季節(jié)受太平洋臺風(fēng)影響,伴有大風(fēng)和暴雨。水道內(nèi)水深流急,在潮汐作用下,具有良好的水質(zhì)交換條件。某保稅區(qū)自1992年建區(qū)到目前為止,已有近40個國家和地區(qū)的投資者在區(qū)內(nèi)設(shè)立企業(yè)4000多家,注冊資金達230億元,其中外商投資企業(yè)684家,總投資26億美元。尤其是臺資企業(yè)集聚發(fā)展,引進臺資企業(yè)110多家,其中生產(chǎn)型企業(yè)51家,成為某省最大的臺資企業(yè)集聚地。(2)巖東污水處理廠概況開發(fā)區(qū)巖東污水處理廠設(shè)計規(guī)模24萬噸/日,一期工程60000m3/d已于2002年5月正式投入運行,其處理工藝為二級氧化溝好氧生化處理工藝,廢水經(jīng)處理達到城鎮(zhèn)污水處理廠二級標準后排海,并通過排海管進行深海排放。 環(huán)境質(zhì)量狀況建設(shè)項目所在地區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀及主要環(huán)境問題(環(huán)境空氣、地面水、地下水、生態(tài)環(huán)境等)空氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀2003年10月10日至14日對新矸鎮(zhèn)空氣環(huán)境質(zhì)量進行監(jiān)測,結(jié)果匯總?cè)缦拢喉椖烤捣秶?mg/m3)超標率(%)SO2~0NO2~0TSP~0按某市空氣質(zhì)量功能區(qū)域劃分,該地區(qū)執(zhí)行空氣環(huán)境質(zhì)量二級標準,根據(jù)監(jiān)測數(shù)據(jù)表明,該區(qū)域環(huán)境空氣質(zhì)量符合二級環(huán)境標準。污染物中石油類濃度較高,與該水域海上交通繁忙,油庫較多,排入含油污水量大有關(guān)。主要環(huán)境保護目標(列出名單及保護級別)根據(jù)水功能區(qū)劃及建設(shè)項目所在的區(qū)域的環(huán)境狀況,主要環(huán)境保護目標為:水環(huán)境:本海域主導(dǎo)使用功能是港口、工業(yè),水質(zhì)目標為三類;大氣環(huán)境:《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》(GB30951996)二級標準;聲環(huán)境:工業(yè)區(qū)執(zhí)行《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標準》(GB309693)3類標準。 環(huán)境空氣根據(jù)《某市環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分》,本區(qū)域?qū)俣悈^(qū),執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》(GB30951996)中的二級標準,詳見下表。污染物排放標準 廢水排放標準本項目廢水排入保稅區(qū)污水管網(wǎng)至巖東污水處理廠,排放廢水執(zhí)行CJ30821999《污水排入城市下水道水質(zhì)標準》和巖東污水處理進網(wǎng)要求,其主要指標:PH 6~9,SS≤350mg/L,BOD5 ≤200mg/L, CODcr≤400mg/L,SS≤350mg/L,石油類≤20mg/L。 鍋爐類別適用區(qū)域煙塵(mg/m3)SO2 (mg/m3)NO2 (mg/m3)煙囪高度(m)燃油鍋爐二類區(qū)1005004008工藝廢氣執(zhí)行GB162971996《大氣污染物綜合排放標準》二級標準,其主要指標如下表:序號污染物最高允許排放濃度mg/m3最高允許排放速率,kg/h無組織排放監(jiān)控濃度限值mg/m3排氣筒高度m二級1氮氧化物24015202氟化氫152020(μg//m3) 噪聲排放標準企業(yè)廠界噪聲執(zhí)行GB1234890《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標準》Ⅲ類標準,即晝間65dB,夜間55dB。利用單晶爐將半導(dǎo)體級多晶硅在最高溫度達1700℃的熱場中熔化,然后通過籽晶生長在用戶所需的直徑和電學(xué)參數(shù)的單晶硅錠。將單晶硅錠在專用設(shè)備上進行切片、磨片、拋光加工生產(chǎn),加工成拋光片,控制其幾何尺寸和表面質(zhì)量,使之能滿足外延片生產(chǎn)的要求。序號名稱用量序號名稱用量1多晶硅230t/a10倒角砂輪120片/a2石英坩鍋5160只/a11研磨砂120t/a3石墨坩鍋320只/a12拋光液50t/a4高純石墨部件160套/a13拋光墊4800張/a5線切割材料 240萬片/a14硅片包裝盒20000個/a6硝酸15高純氣體Ar2600m3/a7氫氟酸16氮氣4500m3/a 8鹽酸17冷卻液40t/a9氫氧化鈉18 廠區(qū)總圖布置本項目利用已建成的廠房、動力用房、變電站、倉庫,動力廠房等占地面積5253m2。變電站占地面積612 m2,建筑面積612 m2 氫氣站726m2,建筑面積726m2 詳見附圖3。 職工人數(shù)、生產(chǎn)制度本項目新增職工及管理人員數(shù)為80人。主要污染工序根據(jù)工程分析,本項目建設(shè)投產(chǎn)后某電子股份有限公司(含某半導(dǎo)體有限公司)將形成從多晶硅―單晶硅錠―拋光片―外延片產(chǎn)業(yè)鏈中硅拋光片的生產(chǎn)能力,本項目主要為增設(shè)多晶硅―單晶硅錠―拋光片的生產(chǎn)設(shè)備,其污染源分析如下: 廢氣本項目廢氣主要為清洗機、化腐機使用氫氟酸、硝酸,由于酸的揮發(fā)及與硅的反應(yīng)產(chǎn)生的酸性廢氣,其生產(chǎn)過程中集中在密閉槽子內(nèi)進行,通過引風(fēng)機引入廢氣洗滌吸收塔進行處理。(2)酸堿廢水本項目酸堿廢水主要包括多晶清洗、硅片化腐過程中產(chǎn)生的含鹽酸、硝酸、氫氟酸、氫氧化鈉的酸堿廢水,廢水排放量為62t/d。 (4)生活污水:根據(jù)新增職工人數(shù),其水質(zhì)如下:PH6~9;CODcr400mg/l;SS200mg/l;BOD5 250mg/l。冷卻水塔運行時產(chǎn)生的噪聲,產(chǎn)生的噪聲在60~85dB之間。(3) 企業(yè)辦公、生活垃圾其產(chǎn)生量為10t/a。遇潮氣或受熱分解而成刺鼻臭味的二氧化氮。濃硝酸在長期儲存后(尤其是在光線照射下),會分解釋出二氧化氮。沸點83176。硝酸液及硝酸蒸氣對皮膚和粘膜有強刺激和腐蝕作用,皮膚或眼接觸硝酸液可引起灼傷。濃硝酸煙霧可釋放出五氧化二氮,遇水蒸汽形成酸霧,可迅速分解而形成二氧化氮,濃硝酸加熱時產(chǎn)生硝酸蒸氣,也可分解產(chǎn)生二氧化氮,吸入后可引起急性氮氧化物中毒。吸入可引起肺炎。硝酸儲存要和其他倉間隔離,良好通風(fēng)、避光,并遠離熱源。大量存儲地要有圍墻或門欄,以防萬一漏出時向外擴散,并備有中和劑。與氧化劑、金屬粉末、電石、硫化氫、堿性物質(zhì)、松節(jié)油、有機酸、以及各種可燃物(如木屑、稻草、紙張、廢紗頭等)、有機物或易氧化物相隔絕。硝酸是揮發(fā)性酸,不宜久儲。發(fā)生硝酸接觸事故應(yīng)立即脫離事故現(xiàn)場至空氣新鮮處。一旦泄漏立即用水沖洗,如大量溢出,則工作人員均要撤離儲庫,用水或碳酸鈉中和硝酸,~。極毒,空氣中最高容許濃度為1mg/m3。危險特性:在高溫下極易揮發(fā)出劇毒氣體,很易引起人畜中毒。儲運注意事項:儲存于通風(fēng)庫房,避免陽光直射,遠離火種、熱源。驗收時核對品名,搬運時輕裝輕卸。用于蝕刻玻璃,以及制含氟化合物。從空氣中迅速吸收水分的同時,也迅速吸收二氧化碳。溶解時產(chǎn)生大量的熱。固堿可裝入鋼桶中嚴封,塑料袋、編織袋外成組包裝;或塑料瓶外木箱,儲存于干燥的地方,防止受潮。應(yīng)防止容器破損。處理氫氧化鈉泄漏需穿戴防護眼鏡與手套。吸入氫氧化鈉的粉塵或煙霧時,可引起化學(xué)性上呼吸道炎,與皮膚接觸引起灼傷。氫氧化鈉對皮膚污染可用清水徹底沖洗,濺入眼內(nèi)時,迅速用大量清水沖洗。氫氧化鈉的車間空氣衛(wèi)生標準:(以Na0H計);美國ACGIH TLVC 2mg/m3。廢氣治理措施本項目所產(chǎn)生的酸性、堿性廢氣,經(jīng)過引風(fēng)機后,經(jīng)噴淋吸裝置處理后達到GB162971996《大氣污染物綜合排放標準》后通過排氣通排放。廢水處理產(chǎn)生的污泥及生活垃圾,經(jīng)環(huán)衛(wèi)部門清運填埋。 噪聲污染源治理對本項目空調(diào)機組、風(fēng)機、空壓機組、各類水泵、污水泵等處,產(chǎn)生的噪聲較大。② 集中的空調(diào)機房、空壓機房及冷凍泵房等其墻面房頂均應(yīng)采用輕質(zhì)泡沫玻璃鋼護墻材料隔音。其它 主要生態(tài)影響(不夠時可附另頁) 環(huán)境影響分析施工期環(huán)境影響簡要分析本項目布置在現(xiàn)有生產(chǎn)廠房內(nèi),生產(chǎn)廠房施工過程在其現(xiàn)有工程中已經(jīng)完成,本項目的建設(shè)只作生產(chǎn)廠房的局部調(diào)整,施工期環(huán)境影響不大。水環(huán)境影響分析本項目切割、磨片廢水及清洗廢水主要污染物為PH、COD;廢氣處理酸堿廢水主要污染物為PH、COD、SS,經(jīng)處理后可以達到巖東污水處理廠進網(wǎng)標準,再經(jīng)巖東污水處理廠處理后進行深海排放,廢水對周圍環(huán)境不會造成影響。根據(jù)企業(yè)目前所處位置,其廠界可以做到達標,對周圍影響不大。 建設(shè)項目擬采取的防治措施及預(yù)期治理效果內(nèi)容類型排放源(編號)污染物名稱防治措施預(yù)期治理效果大氣污染物硅片化腐酸性、堿性廢氣通過集氣罩經(jīng)引風(fēng)機車間通風(fēng)系統(tǒng)排放去除率可達到95%以上,達到GB162971996《大氣污染物綜合排放標準》二級排放標準。廢水經(jīng)處理后可以達到巖東污水處理廠進網(wǎng)標準。固體廢物生產(chǎn)車間廢多晶錠清洗后回用安全處置腐化工序化腐殘液生產(chǎn)廠回收污水處理污泥經(jīng)干化后外運填埋辦公生活垃圾環(huán)衛(wèi)部門清運噪聲采取防震彈簧、防震墊等措施降噪后廠界可以達標。其它生態(tài)保護措施及預(yù)期效果 結(jié)論與建議 某電子股份有限公司是由某大學(xué)大半導(dǎo)體學(xué)科相關(guān)的高級技術(shù)和管理人員發(fā)起設(shè)立的股份制企業(yè),主要從事單晶硅錠、單晶硅片及拋光片、外延片等產(chǎn)品的研發(fā)、制造和銷售。 本項目的環(huán)境空氣質(zhì)量分屬二類功能區(qū),相應(yīng)執(zhí)行GB3095~1996《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》二級標準。 污染源控制及環(huán)境影響分析⑴廢氣:主要為硅片化腐廢氣,通過集氣罩經(jīng)引風(fēng)機送入廢氣水洗塔處理后,可以達到GB162971996《大氣污染物綜合排放標準》二級排放標準,對周圍環(huán)境影響較小。⑶固體廢棄物:生產(chǎn)過程中產(chǎn)生固廢物通過分類收集,分質(zhì)處置的原則,對廢多晶錠進行回收利用;化腐殘液由生產(chǎn)廠回收,廢水處理裝置排放污泥、生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門清運,固廢對環(huán)境影響不大。 生態(tài)影響分析本項目在保稅區(qū)內(nèi),屬工業(yè)用地,對周圍生態(tài)環(huán)境的影響在允許范圍內(nèi)。建議廠方應(yīng)做好以下工作:(1) 加強酸性廢氣治理工作,對于廢氣噴淋吸收裝置中所有機泵應(yīng)配備必要的備用機泵,避免廢氣處理裝置意外事故產(chǎn)生。擴建現(xiàn)有廢水處理設(shè)施,確保廢水達標排放。(4) 全廠應(yīng)實行清潔生產(chǎn),提高回用水利用率,積極安排做好ISO14000認
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