【文章內容簡介】 排放；　　　III氫氟酸酸洗酸霧（GGGG1G1G18）：利用不同濃度的氫氟酸對單晶硅棒頭尾料、堝底料和單晶硅片進行腐蝕或清洗過程產生的酸霧，產污工段包括拉制單晶硅棒生產線單晶硅棒頭尾料、堝底料清洗工段，單晶硅片切割及處理生產線RCA清洗（濕式化學洗凈技術）工段、電池片生產線去硅玻璃工段，采用玻璃鋼堿噴淋塔處理廢氣；　IV硝酸酸洗酸霧（G3）：利用20%HNO3溶液對單晶硅棒頭尾料、堝底料進行酸洗過程產生的酸霧，采用玻璃鋼堿噴淋塔處理廢氣； 　　V RCA清洗硫酸酸洗酸霧（GG10）：單晶硅片切割及處理生產線RCA清洗（濕式化學洗凈技術）工段利用20%H2SO4溶液+30%H2O2溶液對單晶硅片進行清洗過程產生的酸霧，采用玻璃鋼堿噴淋塔處理廢氣；　　　VI RCA清洗鹽酸酸洗酸霧（GG12）：單晶硅片切割及處理生產線RCA清洗（濕式化學洗凈技術）工段利用20%HCl溶液+30%H2O2溶液對單晶硅片進行清洗過程產生的酸霧，采用玻璃鋼堿噴淋塔處理廢氣；　　　VII粘結劑揮發(fā)物（G5）：單晶硅片切割及處理生產線把硅棒粘結在玻璃基板上的過程中，粘結劑產生的有機揮發(fā)物，所有廢氣進一臺“水（溶有絮凝劑）噴淋塔+活性碳纖維筒”處理，最終經20m高的排氣筒排放；　VIII制絨堿性有機廢氣（G14）：電池片生產線利用85℃3%NaOH與異丙醇的混合溶液腐蝕硅表面形成絨面所產生的異丙醇，所有廢氣進一臺“水（溶有絮凝劑）噴淋塔+活性碳纖維筒”處理，最終經20m高的排氣筒排放；　　　IX 鹽酸酸洗酸霧（G15）：利用20%HCl溶液對制絨后電池片進行酸洗過程產生的酸霧，采用玻璃鋼堿噴淋塔處理廢氣；　X單晶硅片擴散廢氣（G16）：電池片生產線單晶硅片擴散反應產生Cl2和顆粒物（P2O5和SiO2 ），采用玻璃鋼堿噴淋塔處理廢氣；　　　XI刻蝕廢氣（G17）：電池片生產線單晶硅片周邊刻蝕反應產生的顆粒物SiF4以及少量未反應的CF4氣體，所有廢氣進一臺“水（溶有絮凝劑）噴淋塔+活性碳纖維筒”處理，最終經20m高的排氣筒排放；　XII PECVD廢氣（G19）：電池片生產線用PECVD等設備在硅片正面沉積減反射膜產生的H2以及未反應的SiH4和NH3氣體；　　XIII自動太陽能電池絲網印刷系統(tǒng)烘干及太陽能電池燒結爐廢氣（G2025）：電池片生產線對單晶硅片印刷銀鋁漿、鋁漿和銀漿以及烘烤燒結過程中產生的非甲烷總烴，主要成分為松油醇，所有廢氣進一臺“水（溶有絮凝劑）噴淋塔+活性碳纖維筒”處理，最終經20m高的排氣筒排放；　?。?）、水污染物產生情況與環(huán)保措施　　　本項目運營期產生的廢水按性質可分為，一般含氟生產廢水、濃氟生產廢水、酸堿生產廢水、有機生產廢水和生活廢水四類?！、?一般含氟廢水　　　項目運營期產生的含氟廢水主要包括拉制單晶硅棒生產線單晶硅棒頭尾料和堝底料氫氟酸腐蝕后清洗廢水（W2）；單晶硅片切生產線RCA清洗（濕式化學洗凈技術）工段利用10%氫氟酸去除硅片表面的氧化膜后的清洗廢水（W1W1WW25）；電池片生產線去硅玻璃后清洗廢水（W28），主要污染物為氟化物、pH、懸浮物?！、?濃氟廢水　　項目運營期產生的濃氟廢水主要包括拉制單晶硅棒生產線單晶硅棒頭尾料、堝底料氫氟酸和硝酸酸洗酸霧（GG3）的廢氣治理設施堿噴淋塔定期排水；單晶硅片處理車間RCA清洗（濕式化學洗凈技術）工段產生的混合酸霧（G6G1013）的廢氣治理設施堿噴淋塔定期排水和尿素噴淋塔定期排水；電池片生產線去硅玻璃氫氟酸酸洗酸霧（G18）的廢氣治理設施堿噴淋塔定期排水?！、?酸堿廢水　本項目運營期產生的以酸堿及懸浮物為主要污染的廢水（不包括含氟或含有機污染的廢水），主要包括拉制單晶硅棒生產線的頭尾料和堝底料腐蝕前清洗廢水（W1）、頭尾料和堝底料硝酸酸洗后清洗廢水(W3) 、頭尾料和堝底料氫氧化鈉堿腐蝕清洗廢水(W4)；單晶硅片切割及處理生產線RCA清洗（濕式化學洗凈技術）工段酸/堿洗后的清洗廢水、氫氧化鈉腐蝕后清洗廢水（W17）；電池片生產線單晶硅片鹽酸酸洗后的清洗廢水（W27）、單晶硅片制絨后鹽酸酸洗酸霧（G15）的廢氣治理設施堿噴淋塔的定期排水、硅片擴散反應廢氣（G16）治理設施堿噴淋塔定期排水、PECVD沉積氮化硅膜反應廢氣（G19）治理設施PECVD焚燒爐尾氣的水噴淋塔定期排水。?、苡袡C生產廢水　　　項目運營期產生的以有機污染為主的生產廢水主要包括拉制單晶硅棒生產線的硅棒去頭尾冷卻沖洗廢水（W5）；單晶硅片切割及處理生產線切方和滾圓過程冷卻沖洗水（W6）、單晶硅棒切片后清洗廢水（W7）、單晶硅片倒角沖洗廢水（W8）、單晶硅片研磨清洗廢水（W9）、單晶硅片拋光清洗廢水（W18）、單晶硅片制絨后清洗廢水（W26）、單晶硅片制絨過程堿性有機廢氣（G14）的廢氣治理設施水（溶有絮凝劑）噴淋塔的定期排水、單晶硅片周邊刻蝕過程廢氣（G17）的廢氣治理設施水（溶有絮凝劑）噴淋塔的定期排水、單晶硅片絲網印刷及燒結過程廢氣（G2025）的治理設施水（溶有絮凝劑）噴淋塔的定期排水；電池組裝生產線的鋼化玻璃、背板TPT清洗廢水（W29）、組件清洗廢水（W30）；車間局部地面及設備的沖洗廢水；生活污水?！　　”卷椖可a廢水水質較復雜，可研提出建設綜合污水處理站，分類進入綜合污水處理站，其中一般含氟生產廢水、廢氫氟酸洗液、濃氟生產廢水經含氟廢水處理系統(tǒng)處理后，與有機生產廢水、生活廢水混合后再由有機廢水處理系統(tǒng)處理。預處理后的酸堿生產廢水和廢酸堿洗液、有機廢水處理系統(tǒng)外排水與循環(huán)系統(tǒng)外排水經深度處理后，60%回用生產，40%達標外排南川河?！。?）、固體廢物產生情況與環(huán)保措施　本項目達產后所產生的固體廢棄物根據其性質可分為一般固廢、危險固廢。針對固體廢棄物可研未提出有效的防治措施，環(huán)評根據固廢的特性分別提出相應的污染防治措施。?、僖话愎虖U　　　鍋底料、頭尾料、單晶硅邊料、廢硅片為硅棒加工過程產生的大塊廢料，所含雜質較簡單，且均存在于表面，經過預處理工序處理可作為單晶硅棒拉制的原料回用。廢切割石英、廢石英鍋、廢EVA、廢石墨坩堝環(huán)評要求分類存放于一般固廢暫存庫，依據情況聯(lián)系供應商定期回收，均可作為其原材料回收利用；不合格電池片、各除塵器收集的粉塵、廢鋼線、硅片邊角環(huán)評要求分類存放于一般固廢暫存庫，依據情況由收購商定期回收，主要用于多晶硅的提煉，市場情況良好；生活垃圾收集后由平定縣環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一處理。　　?、谖ｋU固廢　環(huán)評要求廢切片砂漿、廢研磨劑、廢拋光劑、廢銀漿、廢鋁漿、廢銀鋁漿、廢專利吸附物、廢制絨液、廢包裝材料收集在有蓋的金屬容器內，金屬容器內設防滲漏內襯，分類暫存于廠區(qū)北部的危險廢物暫存庫，定期由供貨商回收再利用；含氟廢水水處理系統(tǒng)污泥用防漏膠袋承裝，廢粘結劑、硅酮樹脂、廢粘合劑、廢活性炭收集在有蓋的金屬容器內，并設防滲漏內襯，廢偏磷酸液收集在塑料容器，廢機油收集在原機油桶暫存于廠區(qū)北部的危險廢物暫存庫，定期交太原獅頭集團廢物處置有限公司進行無害化處理?！　。?）、產噪情況與環(huán)保措施　主要為機加工設備、拋丸機、水泵等產生的機械噪聲，空壓機等產生的空氣動力噪聲，擬選用低噪聲設備、采用先進的工藝技術、優(yōu)化平面布局、設備置于室內、采用隔聲、基礎減振、綠化降噪等措施?！”竟こ虜M采取的污染防治措施和預期治理效果見表4?！?污染物產生及排放情況　本項目污染物產生及排放情況見表5～8?！”? 本工程擬采取的污染防治措施和預期治理效果　　　分類　　　污染源　　污染物　　　評價最終規(guī)定措施　　治理效果　投資　(萬元)　　　廢氣　　拋丸機　　　粉塵　　　“風管+沉降室+布袋除塵器”20m高排氣筒排放，除塵器效率為98%　　　《大氣污染物綜合排放標準》（GB162971996）表2中二級標準　120　　單晶爐　　粉塵　“沉降室+旋風除塵器”，20m高排氣筒排放，除塵器效率為75%　　　950　　　制絨后鹽酸酸洗　　　HCl酸霧　　　“玻璃鋼堿噴淋塔”，噴淋液為1520%NaOH，30m高排氣筒排放，HCl的吸收率≥90%　　　80　鍋底料、頭尾料等腐蝕和清洗　　氟化物、氮氧化物　　　“玻璃鋼堿噴淋塔”，噴淋液為1520%NaOH，30m高排氣筒排放，氟化物的吸收率≥75%，氮氧化物的吸收率≥75%　　240　去硅玻璃工序　氟化物　“玻璃鋼堿噴淋塔”，噴淋液為1520%NaOH，20m高排氣筒排放，氟化物的吸收率≥75%，　240　　RCA清洗工序　　H2SO4酸霧、氟化物、HCl酸霧　“玻璃鋼堿噴淋塔和玻璃鋼尿素噴淋塔兩級處理+專利吸附劑填料塔吸附” ，噴淋液分別為1520%NaOH溶液和20%尿素溶液，50m高排氣筒排放，氟化物的吸收率≥85%，HCl的吸收率≥90%.，H2SO4的吸收率≥80%　　860　多管擴散爐　顆粒物、Cl2　　　“玻璃鋼堿噴淋塔”，噴淋液為1520%NaOH，25m高排氣筒排放，Cl2的吸收率≥85%、顆粒物的吸收率≥50%　　90　　PN結刻蝕機　　顆粒物　　“水（溶有絮凝劑）噴淋塔+活性碳纖維筒”，20m高排氣筒排放，顆粒物的吸收率≥75%　　90　自動太陽能電池絲網印刷系統(tǒng)烘干及太陽能電池燒結爐　非甲烷　總烴　“水（溶有絮凝劑）噴淋塔+活性碳纖維筒” 20m高排氣筒排放，非甲烷總烴去除率80%　90　鏈式PECVD爐　顆粒物　“尾氣焚燒器+水噴淋塔”，20m高排氣筒排放，顆粒物的吸收率≥50%，氨的吸收率≥60%　　360　　氨　惡臭污染物排放標準》（GB1455493）新、擴、改建項目二級標準　食堂　油煙　　油煙凈化器，油煙去除效率大于85％　《飲食業(yè)油煙排放標準》（GB184832001）　　　8　燃氣鍋爐　　煙塵、氮氧化物　　采用燃氣鍋爐，以天然氣為燃料，經10m煙囪排放　　《鍋爐大氣污染物排放標準》（GB132712001）中二類區(qū)Ⅱ時段燃氣鍋爐標準　/　　空壓機　　油煙　裝集氣裝置+油煙凈化器，油煙的去除率85%　　　　2　廢水　　　一般含氟生產廢水　pH、氟化物、SS等　　　分類進入綜合污水處理站，其中一般含氟生產廢水、濃氟生產廢水經含氟廢水處理系統(tǒng)處理后，與有機生產廢水、生活廢水混合后再由有機廢水處理系統(tǒng)處理。預處理后的酸堿生產廢水和廢酸堿洗液、有機廢水處理系統(tǒng)外排水與循環(huán)系統(tǒng)外排水經深度處理后，60%回用生產，40%達標外排南川河。　　　《地表水環(huán)境質量標準》（GB38382002）Ⅳ類水質標準　1700　　濃氟生產廢水　　pH、SS、CODcr、氯化物、氟化物等　酸堿生產廢水　pH、SS、氯化物、NH3N　　　有機生產廢水　pH、SS、CODcr等　　生活污水　　COD、SS、NH3N等　　超純水制備、循環(huán)系統(tǒng)外排水　　鹽類　　固廢　　　　鍋底料　　　石英、Si　收集后經預處理工序處理可作為單晶硅棒拉制的原料回用　綜合利用　/　　　頭尾料　Si　　　單晶硅邊料　　　Si　廢硅片　Si　　　廢切割石英　　石英、Si　　　分類存放于一般固廢暫存庫，依據情況聯(lián)系供應商定期回收，其可作為原料回收利用　合理處置　/　　　廢石英鍋　　　石英　廢石墨坩堝　　　坩堝　　　廢鋼線　　Fe　廢EVA　EVA　硅片邊角　　Si　　分類存放于一般固廢暫存庫，依據情況聯(lián)系收購商定期回收，用于硅的提煉?！　　『侠硖幹谩?　　各除塵設備　石英、Si等　　　不合格電池片　　Si、P、Si3N4等　　　生活垃圾　果皮、塑料等　　　收集后由平定縣環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一處理　　　合理處置　10　餐廚垃圾　　泔腳等油脂廢棄物　　　廢氫氟酸　HF等　　　定期售予陽煤集團陽泉華越創(chuàng)力械制造有限公司　合理處置　/　廢硝酸　HNO3等　　經預處理后直接進入污水綜合處理站廢水深度處理工序　　/　　廢硫酸　　　H2SO4等　　廢鹽酸　HCl等　廢氫氧化鈉　NaOH等　廢切片砂漿　　　聚乙二醇、碳化硅、Si　　　按《危險廢物貯存污染控制標準》（GB185972001）要求收集在有蓋的金屬容器內，暫存于廠區(qū)北部的危險廢物暫存庫，定期由供貨商回收再利用　　　　　　30　廢研磨劑　　Al2OZrOSiOTiOSi等　廢拋光劑　SiO聚乙二醇、有機堿、Si等　廢銀鋁漿　　　銀鋁漿　廢鋁漿　鋁漿　　廢銀漿　　　銀漿　廢專利吸附物　　　廢制絨液　NaOH、異丙醇等　廢包裝材料　包裝箱、桶等　廢活性炭　　廢活性炭　按《危險廢物貯存污染控制標準》（GB185972001）要求收集在相應容器（廢偏磷酸液收集在塑料容器，其余收集在有蓋的金屬容器內），暫存于廠區(qū)北部的危險廢物暫存庫，定期交太原獅頭集團廢物處置有限公司進行無害化處理?！　『侠硖幹谩　?0　廢粘合劑　　環(huán)氧樹脂　　　廢粘結劑　環(huán)氧樹脂　廢刻蝕液（POCl3）　　POCl3　　　硅酮樹脂　　硅酮樹脂　　污泥　　　Si、CaF2等　　　廢機油　　　廢機油　噪聲　壓縮機、風機、泵類等　　　流體噪聲、機械噪聲　置于廠房內、設置減震基礎及安裝消聲器等　　　廠界噪聲達到《聲環(huán)境質量標準》（GB30962008）中2類標準　　　75　　　防滲工程　　　場地平整、壓實、無裂縫、無松土，表面無積水、石塊、樹根及其它任何尖銳雜物?！∩a區(qū)：土地平整壓實，30cm黏土層，覆以水泥混凝土，保證滲透系數不大于110－7cm/s，防滲設計及施工應嚴格按照《地下工