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長度測量ppt課件(編輯修改稿)

2025-06-08 03:51 本頁面
 

【文章內容簡介】 光比長儀 ?采用激光干涉原理 ?實現線紋尺和光波波長比較 ?實現自動測量 1. 激光器 2. 平行光管 3. 反射鏡 4. 分光器 5. 反射鏡 6. 固定角錐棱鏡 7. 可動角錐棱鏡 8. 移相板 9. 分像棱鏡組 10. 光電顯微鏡 11. 工作臺 12. 光電探測器 13. 放大整形電路 14. 計算機 15. 光電探測器 16. 差動放大電路 17. 觸發(fā)器 直接測量 —— 絕對測量 單頻激光干涉儀 ?只能進行直流放大器,而不能使用交流放大器 ?外界干擾使干涉信號強度降低,落于計數觸發(fā)電平之下。 在干涉儀的參考光路中引入一定頻率的 載波 ,被測信號通過這一載波來傳遞。 外差 干涉儀 直接測量 —— 絕對測量 外差干涉儀 ?測量鏡靜止時,光電探測器的輸出信號為載波頻率的交流信號 ?測量鏡運動時,輸出信號的頻率只在某一范圍內增加或減少 ?采用交流放大,隔絕外界環(huán)境干擾造成的直流電平漂移 直接測量 —— 絕對測量 外差干涉儀 ?載波信號產生方法 :使參與干涉的兩束光產生一個頻率差,這樣的兩束光干涉會產生“ 光學拍 ”現象,轉化為電信號得到差頻信號。 ?“光學拍”干涉條件 :兩個 振幅相同 ,振動 方向相同 ,且在 同一方向傳播 , 頻率接近 的 兩單色光 疊加 直接測量 —— 絕對測量 塞曼雙頻激光干涉儀 激光器 B1 1 / 4 波片 B2 M1 M2 M3 P1 P2 D2 D1 混頻器 f2 f1 f1 f2 f1 f2 f2177。Δ f v f1 f2 f1 ( f2177。Δ f ) 177。Δ f 交流放大器 2/fv ???直接測量 —— 絕對測量 工具顯微鏡 ?顯微鏡法是將被測件的尺寸、輪廓或用光干涉法產生的干涉條紋等,經過 顯微放大 ,以便于觀察測量。 直接測量 —— 絕對測量 工具顯微鏡 中央顯微鏡 立柱 縱橫向滑臺 讀數系統 直接測量 —— 絕對測量 工具顯微鏡非接觸瞄準系統 1. 照明光路 2. 工作臺 3. 被測工件 4. 物鏡 5. 分劃板 6. 目鏡 直接測量 —— 絕對測量 工具顯微鏡非接觸瞄準系統 1. 照明光路 2. 工作臺 3. 被測工件 4. 物鏡 5. 分劃板 6. 目鏡 直接測量 —— 絕對測量 工具顯微鏡接觸式瞄準系統 目鏡 米字分劃板 物鏡 雙線分劃板 聚光鏡 照明燈 測頭 光學靈敏杠桿 21D x x d? ? ?直接測量 —— 相對測量 百分表 直接測量 —— 相對測量 立式接觸式干涉儀 ?高精度測微儀 ?根據 干涉 原理,將微小尺寸的變化轉換成干涉條紋的移動,讀出干涉條紋的移動數,從而實現微小尺寸的測量 直接測量 —— 相對測量 立式接觸式干涉儀 濾光片 物鏡 分劃板 分光鏡 被測物 測桿 測量反射鏡 參考反射鏡 透鏡 補償鏡 目鏡 光源 ?測量時使用白光,即移出濾色片,使視場中出現零級黑條紋。 ?根據測頭先后與標準件及被測件接觸時 零級條紋位臵 間的距離,即可測得被測量相對于標準量的偏差值。 直接測量 —— 相對測量 立式接觸式干涉儀 2ni m??直接測量 —— 相對測量 電容測微儀 d h hdhsCT 4200 ??? ?? h l 000 )( lhlhhl ??????直接測量 —— 相對測量 立式光學計 ?利用光學杠桿方法原理,將微小的位移量轉換為光學影像的移動 ?atgS ??2ftgl ?afa t gf t gSlK 22 ?????直接測量 —— 相對測量 電感式內孔比較儀 直接測量 將被測量直接和標準量進行比較??煞譃榻^對測量和相對測量 絕對測量法 :儀器示值為被測量的絕對值,常以刻度尺、光柵尺、波長等作為測量基準,一般具有 絕對零位,示值范圍較大 。如游標卡尺、千分尺、測
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