光柵傳感器ppt課件(2)(編輯修改稿)
2025-06-02 04:02 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 nφ、 UmCosφ（ φ=2πX/ω）輸入到電位器橋，電位器橋常用于進(jìn)行12～ 60（為 4 的整倍數(shù)）細(xì)分，如圖10— 7所示。 一種用于 48細(xì)分的電位器電橋細(xì)分電路如圖10— 8所示。 四、 光柵傳感器的誤差 ?單件光柵的誤差是由刻劃工藝和刻劃設(shè)備決定的。計(jì)量光柵大多數(shù)是在構(gòu)成莫爾要紋的情況下使用。由于莫爾條紋的平均誤差作用，使局部刻劃誤差的影響大大減小。 ?長(zhǎng)光柵柵距誤差一般為微米（ μm）數(shù)量級(jí)，圓光柵為秒（ ” ）角數(shù)量級(jí)。 五、常用光學(xué)系統(tǒng)（一）常用光學(xué)系統(tǒng) ? 透射直讀式光路 一般的透射式光路如圖 10— 9（ a）所示。光源 1發(fā)射的光經(jīng)準(zhǔn)直透鏡 2變成平行光束，垂直投射到主光柵 3上，它和指示光柵 4形成的莫爾條紋信號(hào)直接由光電元件 5接收。 圖 10—10所示為數(shù)控機(jī)床中的小型光柵式傳感器 反射直讀式光路 ?如圖 10— 11所示。光源 6經(jīng)聚光鏡 5成平行光束以一定的角度通過場(chǎng)鏡 3射向指示光柵2，莫爾條紋是由主光柵 1反射回來的光線與指示光柵 2作用形成的，經(jīng)反射鏡 4反射后由物鏡 7成象被硅光電池 8接收。 （二） 分光式光學(xué)系統(tǒng) ? 光源 1發(fā)出的光經(jīng)聚光鏡 2變成平行光投射到光柵副 4上，經(jīng)衍射后在無(wú)限遠(yuǎn)處形成莫爾條紋。用聚光鏡 6將與光軸平行的某 r級(jí)組的衍射式光聚集于放在焦面處的光電元件 8上，用光闌 7擋住會(huì)聚于光軸兩側(cè)的其它級(jí)組
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1