傳感器與檢測(cè)技術(shù)概念wl(編輯修改稿)
2025-05-29 00:23 本頁面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 離子束 、 電子束 、 分子束 、 激光束和化學(xué)刻蝕等用于微電子加工的技術(shù) ， 目前已越來越多地用于傳感器領(lǐng)域 。 新工藝的采用 利用半導(dǎo)體技術(shù)制造出壓阻式傳感器； 利用薄膜工藝制造出快速響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器； 日本公司利用 各向異性腐蝕 技術(shù)進(jìn)行高精度三維加工，在硅片上構(gòu)成孔、溝、棱錐、半球等結(jié)構(gòu)，制作出全硅諧振式壓力傳感器。 集成化 、 多功能化 同一功能的多元件并列化，即將同一類型的單個(gè)傳感元件用集成工藝在同一平面上排列起來 ，如 CCD圖像傳感器。 多功能一體化，即將傳感器與放大、運(yùn)算以及溫度補(bǔ)償?shù)拳h(huán)節(jié)一體化，組裝成一個(gè)器件 。 把多個(gè)功能不同的傳感元件集成在一起，除可同時(shí)進(jìn)行多種參數(shù)的測(cè)量外，還可對(duì)這些參數(shù)的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行綜合處理和評(píng)價(jià)，可反映出被測(cè)系統(tǒng)的整體狀態(tài)。 為同時(shí)測(cè)量幾種不同被測(cè)參數(shù)，可將幾種不同的傳感元件復(fù)合在一起，作成集成塊。例如一種溫、氣、濕三功能陶瓷傳感器已經(jīng)研制成功。 智能化 帶有微處理器的傳感器，具有 檢測(cè) 、 數(shù)據(jù)處理 、 邏輯判斷 、自診斷 和 自適應(yīng) 等功能。 智能傳感器是傳感器技術(shù)與大規(guī)模集成電路技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物，它的實(shí)現(xiàn)取決于傳感技術(shù)與半導(dǎo)體集成化工藝水平的提高與發(fā)展。這類傳感器具有多功能、高性能、體積小、適宜大批量生產(chǎn)和使用方便等優(yōu)點(diǎn)，是傳感器重要的發(fā)展方向之一。 檢測(cè)技術(shù)的定義 ? 檢測(cè)技術(shù)屬于信息科學(xué)的范疇，與計(jì)算機(jī)技術(shù)、自動(dòng)控制技術(shù)和通信技術(shù)構(gòu)成完整的信息技術(shù)學(xué)科。 ? 測(cè)量 是指確定被測(cè)對(duì)象屬性量值為目的的全部操作。 ? 測(cè)試 是具有試驗(yàn)性質(zhì)的測(cè)量，或者可以理解為測(cè)量和試驗(yàn)的綜合。 檢測(cè)系統(tǒng)的組成 非電量 電量 激勵(lì) 裝置 傳 感 器 信 號(hào) 調(diào) 理 顯 示 記 錄 觀察者 信 號(hào) 處 理 被測(cè) 對(duì)象 反饋、控制 激勵(lì)裝置： 一個(gè)被測(cè)對(duì)象的信息總是通過一定的物理量（信號(hào)）所表現(xiàn)出來。有些信息可以在被測(cè)對(duì)象處于自然狀態(tài)時(shí)所表現(xiàn)出的物理量中顯現(xiàn)出來，而有些信息卻無法顯現(xiàn)或顯現(xiàn)的不明顯。在后一種情況下，需要通過激勵(lì)裝置作用于被測(cè)對(duì)象，使之產(chǎn)生出要獲取的信息載于其中的一種新的信號(hào)。 調(diào)理環(huán)節(jié)： 信號(hào)的調(diào)理環(huán)節(jié)是把來自傳感器的信號(hào)轉(zhuǎn)換成更適合于進(jìn)一步 傳輸 和 處理 的形式，多數(shù)是電信號(hào)之間的轉(zhuǎn)換，如幅值放大，將阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電壓的變化或頻率的變化等等。 處理環(huán)節(jié)： 運(yùn)算、濾波和分析 反饋、控制環(huán)節(jié) ：實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制系統(tǒng)的測(cè)試（測(cè)控系統(tǒng)） 檢測(cè)技術(shù)的作用 客觀世界的一切物質(zhì)都以不同形式不斷地運(yùn)動(dòng)著。運(yùn)動(dòng)著的物質(zhì)是以一定的能量或狀態(tài)表現(xiàn)出來的，這
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1