章電子束和離子束加工(編輯修改稿)
2025-05-27 04:27 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 件生產(chǎn)中，為了制造多層固體 組件， 可利用電子束對陶瓷或半導體材料刻出許多微細溝槽和孔。如在硅片上刻出寬 m，深 m的細 槽。 EBHardening/ EBAnnealling EBPreheating/ EBRemelting EBPreheating/ EBWelding/ EBGladding EBPositioning/ EBWelding/ EBAfterheating 焊接 電子束焊接是利用電子束作為熱源的一種焊接工藝。當高能量密度的電子束轟擊焊件表面時，使焊件接頭處的金屬熔融，在電子束連續(xù)不斷地轟擊下，形成一個被熔融金屬環(huán)繞著的毛細管狀的熔池，如果焊件按一定速度沿著焊件接縫與電子束作相對移動，則接縫上的熔池由于電子束的離開而重新凝固，使焊件的整個接縫形成一條焊縫。 優(yōu)點： ⑴焊縫深而窄，焊件熱影響區(qū)小，變形； ⑵焊縫化學成分純凈，強度高于母材； ⑶焊接材料范圍廣；⑷可實現(xiàn)異種金屬焊接； ⑸工件精加工后進行焊接。 焊接熱影響小、變形小 ? 主要缺點： ? 、費用比較昂貴。 ? 、裝配要求嚴格。 ? 。 ? ，影響焊接質(zhì)量。 ? X射線，對操作人員的健康和安全會造成威脅。 熱處理 ? 電子束 熱處理的加熱速度和冷卻速度都很高，在相變過程中，奧氏體化時間很短，只有幾分之一秒乃至千分之一秒，奧氏體晶粒來不及長大，從而能獲得一種超細晶粒組織，可使工件獲得用常規(guī)熱處理不能達到的硬度，硬化深度可達 ～。 電子束光刻是先利用低功率密度的電子束照射稱為電致抗蝕劑的高分子材料，由入射電子與高分子相碰撞，使分子的鏈接被切斷或重新聚合而引起的分子量的變化，這一步驟稱為電子曝光 。 第二節(jié) 離子束加工 一、離子束加工原理、分類和特點 ? 在真空條件下，將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過加速、聚
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