傳感器項(xiàng)目可行性研究報(bào)告(編輯修改稿)
2025-05-19 22:42 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 品幾乎全部依靠進(jìn)口?？梢哉f(shuō)，中國(guó)還沒(méi)有自己的傳感器產(chǎn)業(yè)。與國(guó)際先進(jìn)技術(shù)相比，我國(guó)傳感器在科研開(kāi)發(fā)方面落后5—10年，在生產(chǎn)技術(shù)方面落后10—20年。電阻應(yīng)變式納米膜壓力傳感器（簡(jiǎn)稱(chēng)納米膜壓力傳感器）的問(wèn)世，它同時(shí)具有的高可靠性、高精度、高穩(wěn)定性、高工作溫度和耐惡劣環(huán)境的優(yōu)良性能，正是我國(guó)能與國(guó)外進(jìn)口的電容式、擴(kuò)散硅壓阻式的壓力傳感器和變送器進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)抗衡的產(chǎn)品，而且也是目前我國(guó)國(guó)防和民用急需補(bǔ)缺的產(chǎn)品。將這個(gè)擁有中國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高科技產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化并推向市場(chǎng)，具有深遠(yuǎn)的意義。納米膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)化實(shí)施后，中國(guó)壓力傳感器市場(chǎng)就有了中國(guó)人自己的產(chǎn)品，它不僅增添了壓力傳感器市場(chǎng)品種，而且能與國(guó)外產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)并逐步替代進(jìn)口，最終出口創(chuàng)匯，創(chuàng)造較好的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。產(chǎn)業(yè)化的成功，將推動(dòng)中國(guó)壓力傳感器技術(shù)的進(jìn)步，為振興中國(guó)的儀器儀表工業(yè)，發(fā)展民族工業(yè)做出積極貢獻(xiàn)。三、研究方案設(shè)計(jì)微型電容式納米膜壓力傳感器研究中的核心技術(shù)可以分為以下幾方面：鍵合工藝：硅與P+重?fù)诫s硅膜的鍵合、硅與碳化硅膜的鍵合。由于鍵合表面晶體晶格尺寸和類(lèi)型的不同以及晶體表面態(tài)的影響，所以要對(duì)鍵合工藝的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行嚴(yán)格控制來(lái)保證鍵合表面的清潔從而得到成功的鍵合。我們已申請(qǐng)專(zhuān)利的真空鍵合裝置，
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