傳感器項目可行性研究報告(編輯修改稿)
2025-05-19 22:42 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 品幾乎全部依靠進口?？梢哉f，中國還沒有自己的傳感器產(chǎn)業(yè)。與國際先進技術相比，我國傳感器在科研開發(fā)方面落后5—10年，在生產(chǎn)技術方面落后10—20年。電阻應變式納米膜壓力傳感器（簡稱納米膜壓力傳感器）的問世，它同時具有的高可靠性、高精度、高穩(wěn)定性、高工作溫度和耐惡劣環(huán)境的優(yōu)良性能，正是我國能與國外進口的電容式、擴散硅壓阻式的壓力傳感器和變送器進行競爭抗衡的產(chǎn)品，而且也是目前我國國防和民用急需補缺的產(chǎn)品。將這個擁有中國自主知識產(chǎn)權的高科技產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化并推向市場，具有深遠的意義。納米膜壓力傳感器產(chǎn)業(yè)化實施后，中國壓力傳感器市場就有了中國人自己的產(chǎn)品，它不僅增添了壓力傳感器市場品種，而且能與國外產(chǎn)品競爭并逐步替代進口，最終出口創(chuàng)匯，創(chuàng)造較好的經(jīng)濟和社會效益。產(chǎn)業(yè)化的成功，將推動中國壓力傳感器技術的進步，為振興中國的儀器儀表工業(yè)，發(fā)展民族工業(yè)做出積極貢獻。三、研究方案設計微型電容式納米膜壓力傳感器研究中的核心技術可以分為以下幾方面：鍵合工藝：硅與P+重摻雜硅膜的鍵合、硅與碳化硅膜的鍵合。由于鍵合表面晶體晶格尺寸和類型的不同以及晶體表面態(tài)的影響，所以要對鍵合工藝的每個環(huán)節(jié)進行嚴格控制來保證鍵合表面的清潔從而得到成功的鍵合。我們已申請專利的真空鍵合裝置，
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