【文章內容簡介】 以內。二、濾網風量與均勻度量測1?說明 風量量測的目的通常是用來計算換氣量，一般是在非單一流向型無塵室，或是量測空調系統(tǒng)中各式各樣的出風口、回風口、排氣口等的風量時使用。只有在無法使用氣罩的場合（氣罩體積較大，有時會受限制），才能使用風速乘以面積等於風量的方式，用風速來換算風量。使用風速換算風量時，須注意出風口之有效面積以及修正係數的取得。在回風口和排氣口，使用換算法的準確度非常差，應儘量避免。 同樣氣罩通?？梢粤繙y送風與回風，正值代表送風，負值代表回風或排氣。須注意的是反向量測時，其量測範圍通常會降低。 2?測試儀器： 風量量測應當使用氣罩（Flow Measuring Hood），氣罩的量測範圍是 15~2500 cfm，精確度要求為讀數的177。3%。 由於氣罩本身會產生壓損，因此其形狀很重要，應盡量使用原廠氣罩。若有必要自行製造罩子，應注意氣流順暢並且做詳細比對。氣罩的校正非常重要，必須主機連同罩子一起校正，才能得到準確校正值。檢驗時必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，於正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。 3?測試步驟： (1) 在圖面上記錄濾網尺寸、數量並編號。 (2) 使用恰當尺寸氣罩將出風口完全罩住，然後量測與計錄。 (3) 依驗收標準分析所有風量，計算平均值、標準差、相對標準差，並標明不合格測試點。 (4) 記錄所有原始數值，以及分析後的數值。 4?數據分析： 風量均勻度的計算與風速向同，都是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。 1. 平均值：將所有風量量測值取算數平均 QAM = (Q1+Q2+…+QN)/N 2. 標準差：計算所有風量量測值的標準差 3. 相對標準差：相對標準差是一個百分比，將標準差除以平均值，再乘以100得到百分比 RSD= SDQ/QAM 100 如前述在垂直層流場合，當然希望相對標準差愈低愈好。但是氣罩一般適用在非單一流向型無塵室，其濾網覆蓋率並非100﹪，因此計算相對標準差就沒意義。在一般空調更是不需計算相對標準差。5?驗收標準： 驗收基準必須是由業(yè)主訂定，一般可接受範圍與風速相同，條列如下。 1. 相鄰兩點之風量值，差距不可大於20﹪ 2. 量測之平均風量，應在設計規(guī)格之 177。5﹪以內 3. 相對標準差應在 177。15%以內 三、氣流平行度量測1?測試目的 平行度量測的目的，是觀察在工作區(qū)域裡面氣流的運動模式，同時也可以觀察儀器設備對氣流的影響。平行度量測應該在氣流的風速與均勻度都測試完畢且通過之後進行，過早進行可能得不到正確的數據，結果是重測。2?測試方法 一般而言平行度的量測，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質棉線。在無塵室裡面一般不使用煙霧，因為煙霧所含微粒太多，恐怕會造成污染。乾冰加熱水可以製造水霧，水霧對半導體是無污染，但是在製藥廠或生化無塵室，又怕細菌會粘著，因此也有缺點。PFA是polyfunctional alcohol（多功能酒精？），是一種水性溶液，基本上是水加染料，然後用超音波打成水霧，釋放出之後就形成可見霧氣。 煙霧或水霧的共同優(yōu)點是只要粒子夠小，煙霧可隨風飄揚，可正確的反映氣流運動模式。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時間太短。量測平行度需要花一些時間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成污染。 另一種方式是使用輕質細線，讓細線隨風飄舞，然後測量氣流平行度。在早期由於棉線比較重，因此只有在風速很強的地方才能使用。無塵室的風速較低，恐怕吹不動棉線，平行度根本無法量測。在無塵室內普遍使用新的高分子材料 FloViz，是用尼龍抽成單絲所製成，由於質量很輕因此適合作無塵室平行度量測。測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然後在濾網下方施放煙霧或是安放細線，之後觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是量測細線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。3?測試儀器 1.支架2. 鉛垂線3. FloViz 細線 4?測試步驟 1. 用支架設立垂線作為基準線。 2. 將細線在室內懸吊，使其自然下垂，細線會隨空氣流向飄移。 3. 在離地2135mm處將鉛垂線與懸吊相交作為量測起點。 4. 在離地915mm處量測懸吊線偏移鉛垂線的量(mm)。 5. 偏移角=tan1(懸吊線徧移量/1220)。 6. 每3m3m區(qū)域量1點。 　 偏移角θ= 　若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網下施放煙霧，然後將鉛垂線的上端點移動到與煙霧相接觸，之後如上圖所示，將紅線當成煙霧，再計算夾角就可以了。 5?使用三維超音波風速計 三維超音波風速計是實驗適用的精密量測儀器，拿進半導體廠內量測氣流平行度的機會不多，當然由於其客觀性十足，準確度自然較高。如果非用不可，其測試方式是把風速計架好，校準水平與方位，將探頭高度調整到1525mm，然後測量三維風速。三維風速的合量與垂直線的夾角，就是氣流的平行度。6?驗收標準 驗收標準當然由設計規(guī)範決定，一般都是14度。7?測試報告 測試報告需包括：1. 所有的量測位置 2. 垂直水平方向位移量或風速 3. 偏移角 4. 與允收基準的比較　 　 濾網面速量測實例Airflow velocity and airflow volume readings Row 1 2 3 4 A 720 96 725 97 730 97 740 99 B 700 93 720 96 720 96 725 97 C 670 89 715 95 725 97 730 97 D 690 92 710 95 720 96 760 101 E 710 95 720 96 720 96 740 99 F 700 93 720 96 725 97 730 97 濾網面速之數據分析 平均值 VAM VAM = (V1+V2+…+VN)/N VAM = fpm 標準差 SDv SDV = 相對標準差 RSDRSD = SDV /VAM = 濾網流量之數據分析平均值 QAM QAM = (Q1+Q2+…+QN)/N QAM = cfm 標準差 SDq SDQ = 相對標準差 RSD RSD = SDQ /QAM = 　 壓力量測一、說明 壓力量測的目的是確認無塵室空調系統(tǒng)的壓力設定。無塵室內維持相當的正壓以維持潔淨度，這已經是個 mon sense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是後來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25 Pascal之間。 壓力量測的時機，應該是在風速、風量、平行度等與氣流直接相關的測試結束之後立即量測，尤其不可在潔淨度量測完畢之後才量測壓力。因為如果壓力不對，要立刻調整以免影響潔淨度。量測時，所有門窗都必須關上，所有的風扇也必須維持正常運轉。 二、測試儀器： 壓力量測可使用傾斜管壓力計，指針式壓力計，或是電子式壓力計，總之只要量測範圍與精確度滿足要求即可。壓力計之精確度要求為讀數的 177。5%，量測範圍式壓力設計值而定，一般0~5mm Aq （0–50 Pascal）即可涵蓋室內外壓力差之量測。儀器需經校正合格且仍在有效期限內之才可以使用，檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。 三、測試步驟： 1. 必須在風速、風量、氣流等測試完成後，才能測試壓力，並且排氣與MAU要完全正常運轉。 2. 全部門與開口都要關閉。室外大氣壓力假設為 錶壓力。 3. 測定潔淨區(qū)域與相鄰較次級潔淨區(qū)域之壓差，再量測房間與Gowning room之間壓差，最後量測Gowning room與外部之壓差。 4. 建議壓差值為5~12Pa，並無強制規(guī)定。 5. 記錄所有數值。 四、驗收標準： 無塵室室內外壓差之驗收標準是由業(yè)主所指定。 五、使用發(fā)煙管：壓力量測的目的是確認氣流可以依照設計的方向移動。若是沒有規(guī)定壓力值，只需確認流向正確，或是在不方便量測的區(qū)域，可考慮使用發(fā)煙管檢視空氣流向，但是需要業(yè)主同意。發(fā)煙管在空調系統(tǒng)測試調整時，是非常方便可靠的工具之一。，雖然不提供數值，但是可以確認氣流流向、也可檢視洩漏，並且隨著煙霧的移動，可確認洩漏位置或縮小檢查範圍。無塵室完整性測試 另一個與壓力有關的測試是空間的完整性測試，完整性測試的英文原文是Integrity Test， Integrity 有完好無缺的意思，像濾網的洩漏測試，有些人就稱之為 Filter39。s Integrity Test。完整性測試的做法是在無塵室外〈如走廊、或是隔壁等級較差之處〉施放微粒，然後在室內牆版接縫處用微粒計數器掃描，檢查有無洩漏。但是隨著無塵室研究數據日益充實，專家發(fā)現(xiàn)只要維持適當正壓，污染微粒經由已經打上矽膠的牆縫侵入的機率微乎其微，因此現(xiàn)在都不做完整性測試。微粒雖然比較不會由牆縫入侵，但是會從配線的開口滲入，這點必須注意。 完整性測試已瀕臨淘汰，在此不多敘述，需要這項服務者請個別聯(lián)絡。 濾網洩漏測試 濾網的洩漏測試應當是無塵室測試中，最複雜、最耗時間的量測項目。洩漏測試的目的，是要確認：。濾網出廠前當然要經過洩漏測試，但是在搬運與安裝過程難保完全無損，而且濾網的重要性又大於一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何洩漏。另外，若是安裝不恰當，微粒會從邊框漏進無塵室風口。就算是FFU系統(tǒng)，天花板上是負壓，若