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無塵室認證與測試規(guī)范(編輯修改稿)

2025-05-04 23:12 本頁面
 

【文章內容簡介】 以內。二、濾網風量與均勻度量測1?說明 風量量測的目的通常是用來計算換氣量,一般是在非單一流向型無塵室,或是量測空調系統(tǒng)中各式各樣的出風口、回風口、排氣口等的風量時使用。只有在無法使用氣罩的場合(氣罩體積較大,有時會受限制),才能使用風速乘以面積等於風量的方式,用風速來換算風量。使用風速換算風量時,須注意出風口之有效面積以及修正係數的取得。在回風口和排氣口,使用換算法的準確度非常差,應儘量避免。 同樣氣罩通??梢粤繙y送風與回風,正值代表送風,負值代表回風或排氣。須注意的是反向量測時,其量測範圍通常會降低。 2?測試儀器: 風量量測應當使用氣罩(Flow Measuring Hood),氣罩的量測範圍是 15~2500 cfm,精確度要求為讀數的177。3%。 由於氣罩本身會產生壓損,因此其形狀很重要,應盡量使用原廠氣罩。若有必要自行製造罩子,應注意氣流順暢並且做詳細比對。氣罩的校正非常重要,必須主機連同罩子一起校正,才能得到準確校正值。檢驗時必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器,於正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。 3?測試步驟: (1) 在圖面上記錄濾網尺寸、數量並編號。 (2) 使用恰當尺寸氣罩將出風口完全罩住,然後量測與計錄。 (3) 依驗收標準分析所有風量,計算平均值、標準差、相對標準差,並標明不合格測試點。 (4) 記錄所有原始數值,以及分析後的數值。 4?數據分析: 風量均勻度的計算與風速向同,都是由相對標準差來代表,其計算步驟如下。 1. 平均值:將所有風量量測值取算數平均 QAM = (Q1+Q2+…+QN)/N 2. 標準差:計算所有風量量測值的標準差 3. 相對標準差:相對標準差是一個百分比,將標準差除以平均值,再乘以100得到百分比 RSD= SDQ/QAM 100 如前述在垂直層流場合,當然希望相對標準差愈低愈好。但是氣罩一般適用在非單一流向型無塵室,其濾網覆蓋率並非100﹪,因此計算相對標準差就沒意義。在一般空調更是不需計算相對標準差。5?驗收標準: 驗收基準必須是由業(yè)主訂定,一般可接受範圍與風速相同,條列如下。 1. 相鄰兩點之風量值,差距不可大於20﹪ 2. 量測之平均風量,應在設計規(guī)格之 177。5﹪以內 3. 相對標準差應在 177。15%以內 三、氣流平行度量測1?測試目的 平行度量測的目的,是觀察在工作區(qū)域裡面氣流的運動模式,同時也可以觀察儀器設備對氣流的影響。平行度量測應該在氣流的風速與均勻度都測試完畢且通過之後進行,過早進行可能得不到正確的數據,結果是重測。2?測試方法 一般而言平行度的量測,是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質棉線。在無塵室裡面一般不使用煙霧,因為煙霧所含微粒太多,恐怕會造成污染。乾冰加熱水可以製造水霧,水霧對半導體是無污染,但是在製藥廠或生化無塵室,又怕細菌會粘著,因此也有缺點。PFA是polyfunctional alcohol(多功能酒精?),是一種水性溶液,基本上是水加染料,然後用超音波打成水霧,釋放出之後就形成可見霧氣。 煙霧或水霧的共同優(yōu)點是只要粒子夠小,煙霧可隨風飄揚,可正確的反映氣流運動模式。但是其共同問題是滯空性不足,觀測時間太短。量測平行度需要花一些時間,因此需要大量煙霧或水霧,對無塵室可能造成污染。 另一種方式是使用輕質細線,讓細線隨風飄舞,然後測量氣流平行度。在早期由於棉線比較重,因此只有在風速很強的地方才能使用。無塵室的風速較低,恐怕吹不動棉線,平行度根本無法量測。在無塵室內普遍使用新的高分子材料 FloViz,是用尼龍抽成單絲所製成,由於質量很輕因此適合作無塵室平行度量測。測量平行度的方法是立一根鉛垂線,然後在濾網下方施放煙霧或是安放細線,之後觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角,或是量測細線與鉛垂線的夾角,就可決定氣流的平行度。3?測試儀器 1.支架2. 鉛垂線3. FloViz 細線 4?測試步驟 1. 用支架設立垂線作為基準線。 2. 將細線在室內懸吊,使其自然下垂,細線會隨空氣流向飄移。 3. 在離地2135mm處將鉛垂線與懸吊相交作為量測起點。 4. 在離地915mm處量測懸吊線偏移鉛垂線的量(mm)。 5. 偏移角=tan1(懸吊線徧移量/1220)。 6. 每3m3m區(qū)域量1點。   偏移角θ=  若是使用煙霧,其方式很類似,就是在濾網下施放煙霧,然後將鉛垂線的上端點移動到與煙霧相接觸,之後如上圖所示,將紅線當成煙霧,再計算夾角就可以了。 5?使用三維超音波風速計 三維超音波風速計是實驗適用的精密量測儀器,拿進半導體廠內量測氣流平行度的機會不多,當然由於其客觀性十足,準確度自然較高。如果非用不可,其測試方式是把風速計架好,校準水平與方位,將探頭高度調整到1525mm,然後測量三維風速。三維風速的合量與垂直線的夾角,就是氣流的平行度。6?驗收標準 驗收標準當然由設計規(guī)範決定,一般都是14度。7?測試報告 測試報告需包括:1. 所有的量測位置 2. 垂直水平方向位移量或風速 3. 偏移角 4. 與允收基準的比較    濾網面速量測實例Airflow velocity and airflow volume readings Row 1 2 3 4 A 720 96 725 97 730 97 740 99 B 700 93 720 96 720 96 725 97 C 670 89 715 95 725 97 730 97 D 690 92 710 95 720 96 760 101 E 710 95 720 96 720 96 740 99 F 700 93 720 96 725 97 730 97 濾網面速之數據分析 平均值 VAM VAM = (V1+V2+…+VN)/N VAM = fpm 標準差 SDv SDV = 相對標準差 RSDRSD = SDV /VAM = 濾網流量之數據分析平均值 QAM QAM = (Q1+Q2+…+QN)/N QAM = cfm 標準差 SDq SDQ = 相對標準差 RSD RSD = SDQ /QAM =   壓力量測一、說明 壓力量測的目的是確認無塵室空調系統(tǒng)的壓力設定。無塵室內維持相當的正壓以維持潔淨度,這已經是個 mon sense,在209的舊版本中,正壓有建議值,但是後來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25 Pascal之間。 壓力量測的時機,應該是在風速、風量、平行度等與氣流直接相關的測試結束之後立即量測,尤其不可在潔淨度量測完畢之後才量測壓力。因為如果壓力不對,要立刻調整以免影響潔淨度。量測時,所有門窗都必須關上,所有的風扇也必須維持正常運轉。 二、測試儀器: 壓力量測可使用傾斜管壓力計,指針式壓力計,或是電子式壓力計,總之只要量測範圍與精確度滿足要求即可。壓力計之精確度要求為讀數的 177。5%,量測範圍式壓力設計值而定,一般0~5mm Aq (0–50 Pascal)即可涵蓋室內外壓力差之量測。儀器需經校正合格且仍在有效期限內之才可以使用,檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。 三、測試步驟: 1. 必須在風速、風量、氣流等測試完成後,才能測試壓力,並且排氣與MAU要完全正常運轉。 2. 全部門與開口都要關閉。室外大氣壓力假設為 錶壓力。 3. 測定潔淨區(qū)域與相鄰較次級潔淨區(qū)域之壓差,再量測房間與Gowning room之間壓差,最後量測Gowning room與外部之壓差。 4. 建議壓差值為5~12Pa,並無強制規(guī)定。 5. 記錄所有數值。 四、驗收標準: 無塵室室內外壓差之驗收標準是由業(yè)主所指定。 五、使用發(fā)煙管:壓力量測的目的是確認氣流可以依照設計的方向移動。若是沒有規(guī)定壓力值,只需確認流向正確,或是在不方便量測的區(qū)域,可考慮使用發(fā)煙管檢視空氣流向,但是需要業(yè)主同意。發(fā)煙管在空調系統(tǒng)測試調整時,是非常方便可靠的工具之一。,雖然不提供數值,但是可以確認氣流流向、也可檢視洩漏,並且隨著煙霧的移動,可確認洩漏位置或縮小檢查範圍。無塵室完整性測試 另一個與壓力有關的測試是空間的完整性測試,完整性測試的英文原文是Integrity Test, Integrity 有完好無缺的意思,像濾網的洩漏測試,有些人就稱之為 Filter39。s Integrity Test。完整性測試的做法是在無塵室外〈如走廊、或是隔壁等級較差之處〉施放微粒,然後在室內牆版接縫處用微粒計數器掃描,檢查有無洩漏。但是隨著無塵室研究數據日益充實,專家發(fā)現(xiàn)只要維持適當正壓,污染微粒經由已經打上矽膠的牆縫侵入的機率微乎其微,因此現(xiàn)在都不做完整性測試。微粒雖然比較不會由牆縫入侵,但是會從配線的開口滲入,這點必須注意。 完整性測試已瀕臨淘汰,在此不多敘述,需要這項服務者請個別聯(lián)絡。 濾網洩漏測試 濾網的洩漏測試應當是無塵室測試中,最複雜、最耗時間的量測項目。洩漏測試的目的,是要確認:。濾網出廠前當然要經過洩漏測試,但是在搬運與安裝過程難保完全無損,而且濾網的重要性又大於一切,因此安裝完畢都要做一次掃描,以確認濾材無任何洩漏。另外,若是安裝不恰當,微粒會從邊框漏進無塵室風口。就算是FFU系統(tǒng),天花板上是負壓,若
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