【文章內(nèi)容簡介】 以內(nèi)。二、濾網(wǎng)風(fēng)量與均勻度量測1?說明 風(fēng)量量測的目的通常是用來計算換氣量，一般是在非單一流向型無塵室，或是量測空調(diào)系統(tǒng)中各式各樣的出風(fēng)口、回風(fēng)口、排氣口等的風(fēng)量時使用。只有在無法使用氣罩的場合（氣罩體積較大，有時會受限制），才能使用風(fēng)速乘以面積等於風(fēng)量的方式，用風(fēng)速來換算風(fēng)量。使用風(fēng)速換算風(fēng)量時，須注意出風(fēng)口之有效面積以及修正係數(shù)的取得。在回風(fēng)口和排氣口，使用換算法的準(zhǔn)確度非常差，應(yīng)儘量避免。 同樣氣罩通常可以量測送風(fēng)與回風(fēng)，正值代表送風(fēng)，負(fù)值代表回風(fēng)或排氣。須注意的是反向量測時，其量測範(fàn)圍通常會降低。 2?測試儀器： 風(fēng)量量測應(yīng)當(dāng)使用氣罩（Flow Measuring Hood），氣罩的量測範(fàn)圍是 15~2500 cfm，精確度要求為讀數(shù)的177。3%。 由於氣罩本身會產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應(yīng)盡量使用原廠氣罩。若有必要自行製造罩子，應(yīng)注意氣流順暢並且做詳細(xì)比對。氣罩的校正非常重要，必須主機(jī)連同罩子一起校正，才能得到準(zhǔn)確校正值。檢驗時必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，於正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。 3?測試步驟： (1) 在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量並編號。 (2) 使用恰當(dāng)尺寸氣罩將出風(fēng)口完全罩住，然後量測與計錄。 (3) 依驗收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)量，計算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對標(biāo)準(zhǔn)差，並標(biāo)明不合格測試點(diǎn)。 (4) 記錄所有原始數(shù)值，以及分析後的數(shù)值。 4?數(shù)據(jù)分析： 風(fēng)量均勻度的計算與風(fēng)速向同，都是由相對標(biāo)準(zhǔn)差來代表，其計算步驟如下。 1. 平均值：將所有風(fēng)量量測值取算數(shù)平均 QAM = (Q1+Q2+…+QN)/N 2. 標(biāo)準(zhǔn)差：計算所有風(fēng)量量測值的標(biāo)準(zhǔn)差 3. 相對標(biāo)準(zhǔn)差：相對標(biāo)準(zhǔn)差是一個百分比，將標(biāo)準(zhǔn)差除以平均值，再乘以100得到百分比 RSD= SDQ/QAM 100 如前述在垂直層流場合，當(dāng)然希望相對標(biāo)準(zhǔn)差愈低愈好。但是氣罩一般適用在非單一流向型無塵室，其濾網(wǎng)覆蓋率並非100﹪，因此計算相對標(biāo)準(zhǔn)差就沒意義。在一般空調(diào)更是不需計算相對標(biāo)準(zhǔn)差。5?驗收標(biāo)準(zhǔn)： 驗收基準(zhǔn)必須是由業(yè)主訂定，一般可接受範(fàn)圍與風(fēng)速相同，條列如下。 1. 相鄰兩點(diǎn)之風(fēng)量值，差距不可大於20﹪ 2. 量測之平均風(fēng)量，應(yīng)在設(shè)計規(guī)格之 177。5﹪以內(nèi) 3. 相對標(biāo)準(zhǔn)差應(yīng)在 177。15%以內(nèi) 三、氣流平行度量測1?測試目的 平行度量測的目的，是觀察在工作區(qū)域裡面氣流的運(yùn)動模式，同時也可以觀察儀器設(shè)備對氣流的影響。平行度量測應(yīng)該在氣流的風(fēng)速與均勻度都測試完畢且通過之後進(jìn)行，過早進(jìn)行可能得不到正確的數(shù)據(jù)，結(jié)果是重測。2?測試方法 一般而言平行度的量測，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質(zhì)棉線。在無塵室裡面一般不使用煙霧，因為煙霧所含微粒太多，恐怕會造成污染。乾冰加熱水可以製造水霧，水霧對半導(dǎo)體是無污染，但是在製藥廠或生化無塵室，又怕細(xì)菌會粘著，因此也有缺點(diǎn)。PFA是polyfunctional alcohol（多功能酒精？），是一種水性溶液，基本上是水加染料，然後用超音波打成水霧，釋放出之後就形成可見霧氣。 煙霧或水霧的共同優(yōu)點(diǎn)是只要粒子夠小，煙霧可隨風(fēng)飄揚(yáng)，可正確的反映氣流運(yùn)動模式。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時間太短。量測平行度需要花一些時間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成污染。 另一種方式是使用輕質(zhì)細(xì)線，讓細(xì)線隨風(fēng)飄舞，然後測量氣流平行度。在早期由於棉線比較重，因此只有在風(fēng)速很強(qiáng)的地方才能使用。無塵室的風(fēng)速較低，恐怕吹不動棉線，平行度根本無法量測。在無塵室內(nèi)普遍使用新的高分子材料 FloViz，是用尼龍抽成單絲所製成，由於質(zhì)量很輕因此適合作無塵室平行度量測。測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然後在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細(xì)線，之後觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是量測細(xì)線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。3?測試儀器 1.支架2. 鉛垂線3. FloViz 細(xì)線 4?測試步驟 1. 用支架設(shè)立垂線作為基準(zhǔn)線。 2. 將細(xì)線在室內(nèi)懸吊，使其自然下垂，細(xì)線會隨空氣流向飄移。 3. 在離地2135mm處將鉛垂線與懸吊相交作為量測起點(diǎn)。 4. 在離地915mm處量測懸吊線偏移鉛垂線的量(mm)。 5. 偏移角=tan1(懸吊線徧移量/1220)。 6. 每3m3m區(qū)域量1點(diǎn)。 　 偏移角θ= 　若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網(wǎng)下施放煙霧，然後將鉛垂線的上端點(diǎn)移動到與煙霧相接觸，之後如上圖所示，將紅線當(dāng)成煙霧，再計算夾角就可以了。 5?使用三維超音波風(fēng)速計 三維超音波風(fēng)速計是實(shí)驗適用的精密量測儀器，拿進(jìn)半導(dǎo)體廠內(nèi)量測氣流平行度的機(jī)會不多，當(dāng)然由於其客觀性十足，準(zhǔn)確度自然較高。如果非用不可，其測試方式是把風(fēng)速計架好，校準(zhǔn)水平與方位，將探頭高度調(diào)整到1525mm，然後測量三維風(fēng)速。三維風(fēng)速的合量與垂直線的夾角，就是氣流的平行度。6?驗收標(biāo)準(zhǔn) 驗收標(biāo)準(zhǔn)當(dāng)然由設(shè)計規(guī)範(fàn)決定，一般都是14度。7?測試報告 測試報告需包括：1. 所有的量測位置 2. 垂直水平方向位移量或風(fēng)速 3. 偏移角 4. 與允收基準(zhǔn)的比較　 　 濾網(wǎng)面速量測實(shí)例Airflow velocity and airflow volume readings Row 1 2 3 4 A 720 96 725 97 730 97 740 99 B 700 93 720 96 720 96 725 97 C 670 89 715 95 725 97 730 97 D 690 92 710 95 720 96 760 101 E 710 95 720 96 720 96 740 99 F 700 93 720 96 725 97 730 97 濾網(wǎng)面速之?dāng)?shù)據(jù)分析 平均值 VAM VAM = (V1+V2+…+VN)/N VAM = fpm 標(biāo)準(zhǔn)差 SDv SDV = 相對標(biāo)準(zhǔn)差 RSDRSD = SDV /VAM = 濾網(wǎng)流量之?dāng)?shù)據(jù)分析平均值 QAM QAM = (Q1+Q2+…+QN)/N QAM = cfm 標(biāo)準(zhǔn)差 SDq SDQ = 相對標(biāo)準(zhǔn)差 RSD RSD = SDQ /QAM = 　 壓力量測一、說明 壓力量測的目的是確認(rèn)無塵室空調(diào)系統(tǒng)的壓力設(shè)定。無塵室內(nèi)維持相當(dāng)?shù)恼龎阂跃S持潔淨(jìng)度，這已經(jīng)是個 mon sense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是後來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25 Pascal之間。 壓力量測的時機(jī)，應(yīng)該是在風(fēng)速、風(fēng)量、平行度等與氣流直接相關(guān)的測試結(jié)束之後立即量測，尤其不可在潔淨(jìng)度量測完畢之後才量測壓力。因為如果壓力不對，要立刻調(diào)整以免影響潔淨(jìng)度。量測時，所有門窗都必須關(guān)上，所有的風(fēng)扇也必須維持正常運(yùn)轉(zhuǎn)。 二、測試儀器： 壓力量測可使用傾斜管壓力計，指針式壓力計，或是電子式壓力計，總之只要量測範(fàn)圍與精確度滿足要求即可。壓力計之精確度要求為讀數(shù)的 177。5%，量測範(fàn)圍式壓力設(shè)計值而定，一般0~5mm Aq （0–50 Pascal）即可涵蓋室內(nèi)外壓力差之量測。儀器需經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)之才可以使用，檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。 三、測試步驟： 1. 必須在風(fēng)速、風(fēng)量、氣流等測試完成後，才能測試壓力，並且排氣與MAU要完全正常運(yùn)轉(zhuǎn)。 2. 全部門與開口都要關(guān)閉。室外大氣壓力假設(shè)為 錶壓力。 3. 測定潔淨(jìng)區(qū)域與相鄰較次級潔淨(jìng)區(qū)域之壓差，再量測房間與Gowning room之間壓差，最後量測Gowning room與外部之壓差。 4. 建議壓差值為5~12Pa，並無強(qiáng)制規(guī)定。 5. 記錄所有數(shù)值。 四、驗收標(biāo)準(zhǔn)： 無塵室室內(nèi)外壓差之驗收標(biāo)準(zhǔn)是由業(yè)主所指定。 五、使用發(fā)煙管：壓力量測的目的是確認(rèn)氣流可以依照設(shè)計的方向移動。若是沒有規(guī)定壓力值，只需確認(rèn)流向正確，或是在不方便量測的區(qū)域，可考慮使用發(fā)煙管檢視空氣流向，但是需要業(yè)主同意。發(fā)煙管在空調(diào)系統(tǒng)測試調(diào)整時，是非常方便可靠的工具之一。，雖然不提供數(shù)值，但是可以確認(rèn)氣流流向、也可檢視洩漏，並且隨著煙霧的移動，可確認(rèn)洩漏位置或縮小檢查範(fàn)圍。無塵室完整性測試 另一個與壓力有關(guān)的測試是空間的完整性測試，完整性測試的英文原文是Integrity Test， Integrity 有完好無缺的意思，像濾網(wǎng)的洩漏測試，有些人就稱之為 Filter39。s Integrity Test。完整性測試的做法是在無塵室外〈如走廊、或是隔壁等級較差之處〉施放微粒，然後在室內(nèi)牆版接縫處用微粒計數(shù)器掃描，檢查有無洩漏。但是隨著無塵室研究數(shù)據(jù)日益充實(shí)，專家發(fā)現(xiàn)只要維持適當(dāng)正壓，污染微粒經(jīng)由已經(jīng)打上矽膠的牆縫侵入的機(jī)率微乎其微，因此現(xiàn)在都不做完整性測試。微粒雖然比較不會由牆縫入侵，但是會從配線的開口滲入，這點(diǎn)必須注意。 完整性測試已瀕臨淘汰，在此不多敘述，需要這項服務(wù)者請個別聯(lián)絡(luò)。 濾網(wǎng)洩漏測試 濾網(wǎng)的洩漏測試應(yīng)當(dāng)是無塵室測試中，最複雜、最耗時間的量測項目。洩漏測試的目的，是要確認(rèn)：。濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過洩漏測試，但是在搬運(yùn)與安裝過程難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大於一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認(rèn)濾材無任何洩漏。另外，若是安裝不恰當(dāng)，微粒會從邊框漏進(jìn)無塵室風(fēng)口。就算是FFU系統(tǒng)，天花板上是負(fù)壓，若