【文章內容簡介】 概括描述 Purpose 目的 MDC360 層蒸鍍控制儀具備全自動、單層或多層蒸鍍控制功能。通過可靠的數(shù)字信號程控，可用于批量生產或實驗室研發(fā)以提高膜系特性的重復及可預測性。該設備具有功能強大的自我檢測系統(tǒng)，在自動運行模式過程中 ,雖在傳感器晶片失效情況下仍可無需人為操作完成預設鍍膜程序 .運行限制條件與中止功能可由操作員設定 . Feature 性能 得益于半導體技術的快速發(fā)展及低成本的微處理器的進度。 MDC360具備多項經濟實用的性能。 Extensive Program Storage 充足的程序儲 存庫 MDC360 具有可儲存 99 套運行程序， 999 種膜層定義 及 32 種完整的材料定義。當程序輸入后，可在不需要外接 電源狀態(tài)下至少存儲 5 年。 Dynamic measurement Update Rate 動態(tài)檢測更新速率 動態(tài)檢測是由 至 10Hz（赫茲）之間調整，使之達到 最佳分辨率及控制。 Superior Graphics Display優(yōu)良的圖象顯示 MDC360 配備了 256 64 像素液晶圖象顯示器使之具 備重要數(shù)據的 即時顯示；例如速率、速率偏離、膜厚及功率。 Program Security 程序安全 MDC360 配備了密碼編輯功能，以保證已儲存的程序 的完整及不被其他人隨意改動。 Designed for Unattended Operation 運行過程無需人為介入的設計。 MDC360 已具備真正的全自動運行至程序結束功能，并且合并了功能強大的內在監(jiān)測及超越異常中斷線路使異常中斷的可能性將至最低。 另外，需注意的是，報警的音量可以根據故 障和程序操作員的需要來調整。 Fail Safe Aborts 安全故障中止 在運行過程中如果出現(xiàn)故障，如自控無法滿足， MDC360 將中止程序運行，并且關閉所有輸出。同時， MDC360 還提供給操作者能夠中止速率控制錯誤或晶片故障時的途經。 Abort Status Retention 保持程序中斷狀態(tài) 當 MDC360 中斷蒸鍍運行時，相關的運行信息將被儲存起來。待故障排除后，被中止了的蒸鍍運行將可繼續(xù)運行。 Run Completion On crystal Failure 晶片失效時完成運行 MDC360 的內在監(jiān)測與中止運行功能是為了保護鍍膜安全，以及避免設備在運行過程中發(fā)生嚴重故障。運行過程中，晶片失效屬于例外情況，可以不必中止運行程序。在此狀態(tài)下， MDC360 可以設定為中止運行，但也可以設定為轉換備用晶片或以時間 /功率方式繼續(xù)進行。 Powerful system Interface 高性能系統(tǒng)界面 完全可程序化的、獨立的輸入和輸出使 MDC360 很容易使鍍膜系統(tǒng)界面組 合以控制最復雜的運行過程。同時，為避免接地回路故障，源極控制輸出是完全獨立絕緣的。 MDC360 還支持并接收光學鍍膜儀的光學膜厚終止信號。 Power Supply Noise Tolerance 電源干擾公差 完整的 RFI 濾波器與大容量的電器將可容許至 700ms(毫秒 )以下的電源中斷及高強度干擾而繼續(xù)工作。 International Standard Power Connector 國際標準電源接頭 電源接頭是經過國際認證及符合 IEC(國際電器技術協(xié)會 )標準。輸入電源可選擇 100 至 240 伏、 50 或 60 赫茲，并配備了高性能 RFI 干擾過濾器。 Field Upgradable 現(xiàn)場性能提升 插入式界面板和選項板可以使基礎設備個體在工作現(xiàn)場升級至系統(tǒng)最高級別。 Specification 技術指標 Measurement 測量 Frequency Resolution 頻率分辨率 Mass Resolution 質量分辨率 ng / ㎝ 2 Thickness Accuracy 厚度精確性 % + 1 count Measurement Update Rate 測量修正、更新率 到 10Hz 自動調節(jié) Display Update Rate 顯示修正、更新率 10Hz Sensor Crystal Frequency 傳感器晶片頻率 ,3,5,6,9,10 MHz Display 顯示 Thickness Display 膜厚顯示 Auto ranging: to 自動范圍： 至 千埃 Rate Display 速率顯示 Auto ranging: to 999197。/sec 自動范圍： 至 999 埃 /秒 Power Display 功率顯示 to 99 % Time to Go 尚需時間 0 to 9:59:59 H:MM:SS 小時：分鐘：秒鐘 Crystal Health % 晶體壽命 0 to 99% Layer Number 膜層序數(shù) 1 to 999 Graphics Display 圖象顯示 256X64 LCD with CCFL back lighting 帶 CCFL背光的 LCD Communication 通訊 RS232 serial port standard 標準串行接口 RS485 serial port optional 可選擇的 RS485 串行接口 IEEE488 bus interface optional 可選擇的 IEEE488 信息通路界面接口 Program Storage Capacity 程序儲存能力 Process 運行程序 99， use definable 可由使用者定義 的 Layer 膜層 999， use definable 可由使用者定義的 Material 材料 32， use definable 可由使用者定義的 Process Parameters 程序參數(shù) Process Name 運行程序名稱 12 Character string 12 字母系列 Edit password 編輯密碼 4 Character string 4 字母系列 Run / View Password 運行、查看密碼 4 Character string 4 字母 系列 Layer 1 to 99 膜層 Material name, Thickness 材料名稱、厚度 Material Parameters 材料參數(shù) Material Name 材料名稱 10 Character string 10 字母字列 Sensor 傳感器 1 to 4 Crystal 晶片 1 to 8 Source 源極 1 to 4 Pocket 坩堝 1 to 8 Material Density 材料密度 to gm/㎝ 3 克米 /立方厘米 Acoustic Impedance 聲波阻抗 to gm/㎝ 2 sec 克米 /平方厘米 秒 Tooling Factor 修正系數(shù) to % Proportional gain 比例增益 0 to 9999 Integral Time constant 積分時間系數(shù) 0 to sec Derivative Time constant 微分時間系數(shù) 0 to sec Rise to Soak Time 上升至保持時間 0 to 9:59:59 H:MM:SS 小時：分鐘：秒鐘 Sock Power 保持功率 0 to 99% Soak Time 保持時間 0 to 9:59:59 Rise to Predeposit Time 上升預蒸鍍時段 0 to 9:59:59 Predeposit Power 預蒸鍍功率 0 to % Predeposit time 預蒸鍍時段 0 to 9:59:59 Rate Establish Error 速 率確定誤差 0 to 99% Deposition Rate(1 to 5) 蒸鍍速率 to 197。/sec 埃 /秒 Rate Ramp Start(1 to 4) 速率攀升 /下降開始 to K197。 千埃 Rate Ramp Stop(1 to 4) 速率攀升 /下降停止 to K197。 千埃 Time Setpoint 時間設定 0 to 9:59:59 0 至 9 小時 59 分 59 秒 Ramp to Feed Time 攀升 /下降伺服時間 0 to 9:59:59 0 至 9 小時 59 分 59 秒 Feed Power 伺服功率 0 to % Feed Time 伺服時間 0 to 9:59:59 Ramp to Idle Time 下降至停頓時間 0 to 9:59:59 Idle Power 停頓功率 0 to % Maximum Power 最大功率 0 to % Power alarm Delay 功率警報延遲 0 to 99 sec Minimum Power 最小功率 0 to % Rate Deviation Attention 速率偏離關注 0 to % Rate Deviation Alarm 速率偏離警報 0 to % Rate Deviation Abort 速率偏離中止 0 to %0 to % Sample Dwell % 采樣駐留 0 to % Sample Period 采樣周期 0 to 9:59:59 Crystal Fail 晶片失效 Switch, Time Power, or Halt 轉換，功率定時，或暫停 Backup Sensor 備用傳感器 1 to 4 Backup Crystal 備用晶片 1 to 8 Backup Tooling Factor 備用修正系數(shù) 0 to % Material Password 材料密碼 4 character string 4 字母系列 MDC360 裝有材料數(shù)據庫，其中包括許多常用材料名稱，它們的密度與聲阻抗數(shù)據。 Input / Output Capability 輸入 /輸出范圍 Sensor Input 傳感器輸入 2 Standard 2 optional BNC Inputs 2 標準輸入和 2 可選擇的 BNC 輸入 Source Outputs 源極輸出 2 Standard 2 optional fully isolated, , 5, 10 VOLTS@ 20ma. % resolution 完全絕緣的 2標準輸出和 2可選擇的輸出 ， 5， 10 伏， 20 毫安， %分辨率 Discrete Input 可編程分立輸入 8 Standard and 8 optional fully programmable inputs The passive I/O card (PN179216) has TTL level inputs activated by a short across the inputs pins. The active I/O card (PN179239) has inputs activated by 12 to 120 volts AC/dc across the input pins. Discrete Output 可編程分立輸出 8 standard and 8 optional full programmable, SPST relay, 120VA, 2A max. 8 標準輸出和 8 可選擇輸出。 SPST繼電器， 120 伏， 2 安培 Abort Output 1 standard and 1 optional SPST Relay, 中止輸出 120VA, 2A max. 1 標準輸出和 1 可選擇輸出。 SPST繼電器， 120 伏， 2 安培 Remote Power Handset 手提式功率遙控器 Front panel, RJH jack. 前面板 RJH 插座