濕度傳感器ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-11 01:50 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 MgCr2O4TiO2 系、 TiO2V2O5 系 ZnOLi2OV2O5 系 、 ZnCr2O4 系 ZrO2MgO系、 Fe3O4 系 、 Ta2O5 系 （ 2)結(jié)構(gòu)： （ 以 MgCr2O4TiO2 系為例） (3)主要特性和性能 103 104 105 106 107 108 電阻 R( ) ?20 40 60 80 100 相對濕度（％） －濕度特性 103 104 105 106 107 108 電阻 R( ) ?20 40 60 80 100 相對濕度（％） －溫度特性 小于 10S MgCr2O4TiO2 系的 濕度傳感器的時間響應(yīng)特性 高溫負荷 高溫、高濕 常溫、常濕 油氣循環(huán) 穩(wěn)定性的檢測實驗 五、電容式高分子薄膜濕度傳感器 高分子薄膜 上部電極 下部電極 （ 1）結(jié)構(gòu)與制法 工藝流程： 合成 配料 浸漬 腐蝕 光刻 蒸金 清洗 磨片 蒸金 切割 焊線 熟化 測試 （ 2）感濕機理與特性 －濕度特性 f = 小于 5S
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