sem結(jié)構(gòu)和原理ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-10 04:00 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 數(shù)碼沖印 ：數(shù)字照像后形成數(shù)字圖像 模擬照相系統(tǒng) ：記錄于黑白底片上 生物電子顯微技術(shù) 四 真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng) 機(jī)械泵 +擴(kuò)散泵，真空度優(yōu)于 105Torr 分子渦輪泵、離子泵 (超高分辨率掃描電鏡場(chǎng)發(fā)射電子槍使用） 生物電子顯微技術(shù) 掃描電鏡結(jié)構(gòu)方框圖 生物電子顯微技術(shù) 第二節(jié) SEM成像原理 一 電子束與樣品的相互作用 二 掃描電鏡的成像原理 生物電子顯微技術(shù) 1 信號(hào)的種類 : 參見圖 56 2 與 SEM成像有關(guān)的信號(hào) ① 二次電子 SE（ 10nm內(nèi)的信息 ) 定義：樣品（物質(zhì)）原子核外電子受入射電子激 發(fā)后逸出樣品表面時(shí) ,稱其為 SE 關(guān)系： SE數(shù)量 ↗ 圖像質(zhì)量 ↗ 圖像質(zhì)量：圖像反差、圖像噪波點(diǎn)清晰度 ② Xray（ 50~500nm) 倫琴射線， ?＝ ~10nm 分類：特征 Xray（硬） ，連續(xù) Xray（軟） 一 電子束與樣品的相互作用 生物電子顯微技術(shù) Xray A. 特征 Xray 波長和能量隨樣品中各元素的不同而異 ，用于定 量、定性分析 Z↗ 激發(fā)的特征 Xray能量 E↗ 波長 ↘ B. WDS： (WavelengthDispersive Spectrometer) 定量分析 :Be4~U92,分析感量 10－ 17～ 10－ 15g 優(yōu)點(diǎn)：分辨率高，分析范圍大，靈敏度高 缺點(diǎn)：速度慢，損傷和污染大 C. EDS： （ EnergyDispersive Spectrometer) 定性分析： Na11~U92 優(yōu)點(diǎn)：簡快
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