精功鑄錠爐培訓(xùn)ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-07 18:08 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 控制單元 ? 運(yùn)動控制單元控制下爐體及隔熱底板的升降動作。 ? 7）系統(tǒng)供電單元 ? 系統(tǒng)電源單元由總電源開關(guān)，控制柜內(nèi)配電保護(hù)裝置，及 UPS 等構(gòu)成。 ? 。 ? 多晶硅鑄錠爐工作順序?yàn)椋杭訜?、熔化、晶體生長、退火、冷卻，并包含突發(fā)情況出現(xiàn)時的急冷。 ? 控制原理及生產(chǎn)流程簡述如下： ? 通過工控機(jī)設(shè)置完各種工藝參數(shù)和預(yù)設(shè)定參數(shù)后，送達(dá) SNAP 智能控制器。將經(jīng)過 SiN 涂布處理的坩堝里裝入多晶硅料，并放置在熱交換臺上。關(guān)閉閉爐體及隔熱籠并抽真空。然后通過調(diào)整可控硅來控制變壓器輸出 3800A 的電流加到石墨加熱器，并通過 SNAP 智能控制器，自動溫度控制，加熱若干小時以使多晶硅料熔化。當(dāng)多晶硅料完全熔化后，根據(jù)工藝要求，緩慢降低隔熱底板，暴露出熱交換臺，使能量可以藉輻射方式散發(fā)至通有冷卻水的爐壁。熱交換臺的溫度下降會使硅溶液形成垂直的溫度梯度，此溫度梯度控制硅由底部開始凝固結(jié)晶。當(dāng)所有硅料凝固結(jié)晶后，硅錠再經(jīng)過熱退火，供入惰性氣體，控制冷卻方式等步驟消除熱應(yīng)力，以避免鑄塊出現(xiàn)裂縫及減少差排的發(fā)生。冷卻到規(guī)定溫度后，開爐出料。 （一）各主要部件安裝維護(hù)要點(diǎn)參考 1）隔熱籠體 隔熱籠體主要由炭纖維保溫板拼裝組成，炭纖維材料質(zhì)脆，易剝落形成粉塵，不慎與皮膚接觸，會引起搔癢，吸入會影響身體健康，故請在安裝、更換過程中穿戴好防護(hù)用品。安裝過程必須由 2 人同時協(xié)作完成，安裝時確保隔熱籠體不會出現(xiàn)較大晃動。 安裝時請注意每塊板的疊放位置以及疊放順序。嚴(yán)禁強(qiáng)力擠壓，避免損壞保溫板。如發(fā)現(xiàn)隔熱側(cè)板安裝位置過小，則將上下籠體的連接螺栓放松后再進(jìn)行裝配。不得使用扳手等工具來擰緊石墨螺栓，如發(fā)現(xiàn)配合過緊，則更換后再進(jìn)行裝配。所有隔熱板安裝完成后，擰緊上下籠體連接螺栓，但不能過緊，防止隔熱板被破壞。 2）結(jié)晶觀察組件 結(jié)晶觀察組件上安裝高溫計，通過它來判斷硅是否透頂，通過兩根擺臂可在高溫計與人工目測鏡來回切換，以方便觀測爐內(nèi)狀況。拆裝時，請注意結(jié)合面的清潔，嚴(yán)禁結(jié)合面磕傷、碰傷，對密封 O 型圈，安裝時宜涂拭適量真空密封脂，以增強(qiáng)爐體密封效果。 3）爐體提升傳動裝
環(huán)評公示相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1