微機電系統(tǒng)第二章mems設計基礎(編輯修改稿)
2025-02-03 12:58 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 ? COMSOL Multiphysics ANSYS簡介 ? ANSYS軟件是融結(jié)構(gòu)、流體、電場、磁場、聲場分析于一體的大型通用有限元分析軟件。它能與多數(shù) CAD軟件接口，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的共享和交換，如 Pro/Engineer, NASTRAN, AutoCAD等， 是現(xiàn)代產(chǎn)品設計中的高級 CAE工具之一。 ? ANSYS有限元軟件包是一個多用途的有限元法計算機設計程序，可以用來求解結(jié)構(gòu)、流體、電力、電磁場及碰撞等問題。因此它可應用于以下工業(yè)領域：航空航天、汽車工業(yè)、生物醫(yī)學、橋梁、建筑、電子產(chǎn)品、重型機械、微機電系統(tǒng)、運動器械等。 ? ANSYS軟件主要包括三個部分： ? 前處理模塊（ preprocessing）、分析計算模塊（ solution）和后處理模塊（ postprocessing）。 1 ANSYS在 MEMS設計中的應用 ?直接耦合 方法 ——受到耦合許可的限制 ?序貫耦合 方法 ——對一個物理場進行分析后，將結(jié)果輸入到隨后的另一個物理分析中，只要非線性程度不高，序貫耦合分析是有效的 多物理場耦合問題 模塊 ——結(jié)構(gòu)、電磁、熱傳導、聲學、流體動力學等 ?靜態(tài)分析 ——求變形、電場、磁通密度及應力分布等 ?模態(tài)分析 ——求固有頻率和振型 ?諧波響應分析 ——求對諧波載荷（電流、電壓和力等）的響應 ?瞬態(tài)響應分析 ——求系統(tǒng)對任意隨時間變化載荷（電流、電壓和力等）的響應。 壓電分析問題 微細化處理問題 ?網(wǎng)格直接局部細分法 ?欠缺尺度效應的考慮 ANSYS分析基本過程 ANSYS分析過程包含三個主要的步驟： 1 創(chuàng)建有限元模型并劃分網(wǎng)格 2 施加載荷并求解 3 后處理過程 定義工程名稱和分析標題 定義單位 定義單元類型 定義單元實常數(shù)
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