athlete晶圓植球機(jī)新程序建立(編輯修改稿)
2025-02-03 09:26 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 NTRY” 21，先選擇“ CENTER”將“ +”移至識(shí)別 DIE頂角中心 22， 然后選擇 “ PTN STRAT”定義識(shí)別范圍的起始位置 23，“ PTN SIZE”定義識(shí)別范圍的終止位置，即尺寸大小 。要求所框圖形是唯一的 24， 然后按 按“ EXECU”執(zhí)行 25， 選擇“ EXECUTE WAFER RECOGNITION”中 的“ FRONT”進(jìn)行檢查 26，檢查顯示屏左上角的 SCORE值是否大于 9000，若小于則需要按上述步驟重新調(diào)整 27，選擇“ WAFER RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“ BACK” 28，同樣方法進(jìn)行“ BACK”識(shí)別點(diǎn)的圖像登錄 和檢查 29， 返回到此界面，選擇“ PT MASK RECOGNITION POINT TRANSFER” 30，選擇“ LEFT”移動(dòng)到涂膠 MASK的左邊對(duì)位點(diǎn) 31，觀察機(jī)臺(tái) CAMERA的位置 左邊對(duì)位點(diǎn) 目前 CAMERA位置 32，利用“ TABLE JOG MOVE”移動(dòng)到對(duì)位點(diǎn)位置 33， 記下當(dāng)前“ TABLE JOG MOVE”中 X,Y坐標(biāo)值，如圖 X: Y: 34，選擇“ TYPE DATA”中的“ MASK RECOGNITION POINT” 35，將 X,Y坐標(biāo)值輸入進(jìn) PT MASK RECOG,.LEFT中的 X,Y 36，再次選擇“ PT MASK RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“ LEFT”檢查位置是否正確。若不正確則需要按上述重新調(diào)整。 37，點(diǎn)擊“【 REGISTER】 PRINTINT MASK RECOGNITION LEFT，按 OK讓軟件記住位置 38， 選擇“ PT MASK RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“ RIGHT” 39，同樣方法找到 RIGHT對(duì)位點(diǎn)的正確位置，記下當(dāng)前“ TABLE JOG MOVE”的坐標(biāo)值，例如： x’: y’:，那么補(bǔ)正 值 A=x’X==；B=y’Y== 40，將補(bǔ)正值
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