【文章內(nèi)容簡介】
………………………… ( 1) ∮=λ F/D ……………………………… … ( 2) 式中:λ為超聲波波長 , F為焦距, D為晶片尺寸 。 由上述兩式可以看出,若要增大焦柱長度,則需增大焦距,減小晶片直徑,但同時聲束直徑會增大。根據(jù)理論研究結(jié)果,聚焦探頭焦點能量集中的效果在N/F值較大時為好。增加焦距減少晶片直徑,就會使N/F減小,聚焦探頭提高信噪比的能力減弱。 通常由于聚焦探頭焦柱直徑遠(yuǎn)小于壓電晶片直徑,利用焦柱區(qū)可準(zhǔn)確測定缺陷尺寸。在缺陷的尺寸評定中,如果測出的尺寸不大于焦柱截面積,則測出的是焦柱區(qū)尺寸;如果測出的尺寸遠(yuǎn)大于焦柱尺寸,則測出的是缺陷尺寸。因此焦點尺寸越小缺陷的尺寸測量 越準(zhǔn),但焦點尺寸越小檢測效率越低,因此需要結(jié)合檢測要求確定檢測用探頭參數(shù)。 2 試驗過程和檢測結(jié)果 不同形式探頭的參數(shù)測量 選取 I70512S平探頭與 I70512G聚焦探頭, 由公式 (1)和 (2)可推算出聚焦探頭的焦柱長度 L= 和焦點直徑∮ =。采用 GH901∮ 平底孔試塊進(jìn)行水浸探頭的聲場參數(shù)測試,測試結(jié)果如下表 1: 表 1 聚焦探頭與平探頭聲場參數(shù)測試結(jié)果 平底孔埋深 探頭 I70512G F= X mm mm mm mm mm mm Y mm mm mm mm mm mm I70512S F= X mm mm mm mm Y mm mm mm mm 選取 I70512S平探頭與 I70512G聚焦探頭,針對 GH738產(chǎn)品中某件有缺陷的產(chǎn)品進(jìn)行水浸 C掃描檢測。 試驗 參數(shù) 如下表 2: 表 2 聚焦探頭與平探頭的試驗參數(shù) 試驗參數(shù) 探頭 水距 步進(jìn) 電壓 能量 阻尼 轉(zhuǎn)速 重復(fù)頻率 I70512G 高 高 500 Ohm 20r/min 398Hz I70512S 高 高 500 Ohm 20r/min 398Hz 按照試驗參數(shù)進(jìn)行試驗,所得的試驗數(shù)據(jù)如下表 3: 表 3 聚焦探頭與平探頭掃查所得 試驗數(shù)