激光其它測(cè)量技術(shù)ppt課件(編輯修改稿)
2025-01-31 20:35 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 ?? 測(cè)量過程 : 1) 設(shè)變焦鏡頭像平面上某點(diǎn)的光強(qiáng)為 I 39。 CCD1路的光強(qiáng)為： s 39。 CCD2路的光強(qiáng)為： R 39。 6濾光片的透射率為 TF 5鑒頻器的透射率為 T(f) CCD的轉(zhuǎn)化效率為 a 則 CCD1和 2的輸出電壓分別為 ?Vccd1 = aI s39。T(f) ???Vccd2 = aI R39。TF Vccd1 Vccd2 = βT(f) 2) 由 t查表查出每一點(diǎn)的頻率 f 已知 t=F(f) 3) 求出每一點(diǎn)的頻移 Δf=ff0 4) 求出每一點(diǎn)的速度 : Δf=V﹒ (UK)/λ DGV注意事項(xiàng) 1）由于兩 CCD要求像面完全重合 ,光程應(yīng)該盡量一致 2）測(cè)量為 CCD1與 CCD2輸出電壓的比值 ,因此兩 CCD 參數(shù)盡量一致 , 其物理參數(shù)盡量一致的同時(shí) ,曝光時(shí)間、 采樣間隔應(yīng)嚴(yán)格同步 3）由于求頻率是由鑒頻器的特性決定 , 鑒頻器應(yīng)該 恒壓、恒溫措施 167。 激光掃描測(cè)徑技術(shù) ? 激光掃描測(cè)量直徑是 1972年 Zygo公司發(fā)展起來的 一種技術(shù)，有人稱之為 Laser Telemetric system， 有人稱之為 Laser shadow Gauge ? 近在工件外形尺寸測(cè)量中得到廣泛應(yīng)用，應(yīng)用最 多的是側(cè)量線材直徑。 ? 其原理 : 用一束平行光以恒定的速度掃描線材，并由放在 線材對(duì)面的光電接收器接收，投射到光電接收器 上的光線在光束掃描線材時(shí)被遮斷，所以光電接 收器輸出的是一個(gè)方波脈沖，脈沖寬度與線材直 徑成正比。 一、轉(zhuǎn)鏡掃描測(cè)徑 設(shè)晶體的振蕩頻率為 v，電機(jī)轉(zhuǎn)速為 n，多面體的面數(shù) 為 N，透鏡焦距為 f，通光孔徑為 D，被測(cè)件掃描的 平均次數(shù)為 m，則電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的角速度 ω=2πn 反射光束轉(zhuǎn)動(dòng)的角速 2ω 線速度 : V=f *2ω=4πn f 一個(gè)計(jì)數(shù)脈沖對(duì)應(yīng)的間距為 : δ=V/v =4 πn f/v d直徑對(duì)應(yīng)的脈沖數(shù) : A=d/ δ= dv/4 πn f 所以 : d=4 πn f A/v 從公式上看 : v越大 ,分辨率越高 , f 越小分辨率越高 轉(zhuǎn)鏡掃描測(cè)徑儀由三部分組成 : 測(cè)量頭、數(shù)字顯示裝置以及電源。 測(cè)量頭由激光器、同步電機(jī)、多面體反射鏡、光學(xué)系統(tǒng) 和光電管等組成一個(gè)整體。根據(jù)被側(cè)件情況，必須相應(yīng)考 慮冷卻、通風(fēng)及防塵等措施。 數(shù)字顯示裝置可以顯示被測(cè)件直徑的絕對(duì)值或偏差值。 電源部分包括氦氖激光電源和同步電機(jī)專用電源。 轉(zhuǎn)鏡掃描側(cè)徑儀通常用于直徑較大的線材直徑側(cè)量。 根據(jù)不同參數(shù)的測(cè)量頭，可測(cè)直徑為 mm。儀器可 以設(shè)計(jì)成同時(shí)測(cè)量水平、垂直兩個(gè)方向的直徑，以便獲得 被測(cè)件的橢圓度。 二、音叉掃描測(cè)徑 對(duì)于線徑在 0. 5mm以下的物體，由于線徑小，掃描區(qū)間 窄，掃描鏡不需要大幅度的轉(zhuǎn)動(dòng)，因此可以采用音叉或電流 計(jì)等作為鏡偏轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置。 音叉掃描測(cè)徑方法適合于測(cè)量線徑 60一 200 um的金屬絲 或光導(dǎo)纖維， (當(dāng)絲無橫向運(yùn)動(dòng)時(shí)可達(dá) 500 um左右 )測(cè)量精度 為 1%。 1. 原理圖 ω ω 設(shè)掃描光點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)方程為 : s = A0 sinωt 光點(diǎn)在掃描方向橫切細(xì)線兩側(cè)的時(shí)間為 t1 和 t2,坐標(biāo)為 S1和 S2，則
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