【文章內(nèi)容簡介】 簡稱 MEMS)是指可批量制作的，集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信 號處理和控制電路，直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。自 1986 年美國斯坦福大學(xué)研制出第一個醫(yī)用微探針， 1988 年美國加州大學(xué) Berkeley 分校研制出第一個微電機以來，國內(nèi)外在MEMS 工藝、材料以及微觀機理研究方面取得了很大進展，開發(fā)出各種 MEMS內(nèi)蒙古科技大學(xué) 2021 屆機電一體化畢業(yè)論文 3 器件和系統(tǒng)，如各種微型傳感器（壓力傳感器、微加速度計、微觸覺傳感器），各種微構(gòu)件（微膜、微粱、微探針、微連桿、微齒輪、微軸承、微泵、微彈簧以及微機器人等）。 集成化 集成化既包含各種技術(shù)的相互滲透、相互融合和各種產(chǎn)品不同結(jié)構(gòu)的優(yōu)化與 復(fù)合，又包含在生產(chǎn)過程中同時處理加工、裝配、檢測、管理等多種工序。為了實現(xiàn)多品種、小批量生產(chǎn)的自動化與高效率，應(yīng)使系統(tǒng)具有更廣泛的柔性。 帶源化 是指機電一體化產(chǎn)品自身帶有能源，如太陽能電池、燃料電池和大容量電池。由于在許多場合無法使用電能。帶源化是機電一體化產(chǎn)品的發(fā)展方向之一。 綠色化 科學(xué)技術(shù)的發(fā)展給人們的生活帶來巨大變化，在物質(zhì)豐富的同時也帶來資源減少、生態(tài)環(huán)境惡化的后果。所以，人們呼喚保護環(huán)境，回歸自然，實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展，綠色產(chǎn)品概念在這種呼聲中應(yīng)運而生。綠色產(chǎn)品是 指低能耗、低材耗、低污染、舒適、協(xié)調(diào)而可再生利用的產(chǎn)品。在其設(shè)計、制造、使用和銷毀時應(yīng)符合環(huán)保和人類健康的要求，機電一體化產(chǎn)品的綠色化主要是指在其使用時不污染生態(tài)環(huán)境，產(chǎn)品壽命結(jié)束時，產(chǎn)品可分解和再生利用。 機電一體化的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢 機電一體化發(fā)展至今已經(jīng)成為一門自成一體的新型學(xué)科 , 隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展 , 必將被賦一予新的內(nèi)容。但其基本特征可概括為機電一體化是從系統(tǒng)的觀點出發(fā) , 綜合運用機械技術(shù)、微電子技術(shù)、自動控制技術(shù)、汁算機技術(shù)、信息技術(shù)、傳感測控技術(shù)、電力電子技術(shù)、接口技術(shù)、 信息變換技術(shù)以及軟件編程技術(shù)等群體技術(shù) , 根據(jù)系統(tǒng)功能目標和優(yōu)化組織目標 , 合理配置與布局各功能單元 , 在多功能、高質(zhì)量、高可靠性、低能耗的意義上實現(xiàn)特定功能價值 , 并使整個系統(tǒng)最終達到最優(yōu)化的系統(tǒng)工程技術(shù)。由此而產(chǎn)生的功能系統(tǒng) , 就成為一個機電一體化系統(tǒng)或機電一體化產(chǎn)品。因此 , “ 機電一體化” 涵蓋“ 技術(shù)” 和“ 產(chǎn)品” 兩個方面。只是 , 機電一體化技術(shù)是基于上述群體技術(shù)有機融合的一種綜合技術(shù) , 而不是機械技術(shù)、微電子技術(shù)以及其它新技術(shù)的簡單組合、拼湊。這是機電一體化與機械加電氣所形成的機械電氣化在概 念上的根本區(qū)別。 機械 工程技術(shù)由純技術(shù)發(fā)展到機械電氣化 , 仍屬傳統(tǒng)機械 , 其主要功能依然是代替和放大的體現(xiàn)。但一內(nèi)蒙古科技大學(xué) 2021 屆機電一體化畢業(yè)論文 4 一機電一體化的發(fā)展狀況機電一體化的發(fā)展大體可以分為個階段。 世紀年代以前為第一階段 , 這一階段稱為初級階段 , 在這一時期 , 人們不自覺地利用電子技術(shù)的初步成果來完善機械產(chǎn)品的性能 , 特別是在第二次世界大戰(zhàn)期間 , 戰(zhàn)爭極大地刺激了機械產(chǎn)品與電子技術(shù)的結(jié)合 , 這些機電相結(jié)合的軍用技術(shù) , 戰(zhàn)后轉(zhuǎn)為民用 , 對戰(zhàn)后經(jīng)濟的恢復(fù)起到了積極的作用。 從當時研制和開發(fā)的總體上看還處于自發(fā)狀態(tài)。由于當時電子技 術(shù)的發(fā)展尚未達到一定水平 , 機械技術(shù)與電子技術(shù)的結(jié)合還不可能廣泛和深入發(fā)展 ,已經(jīng)開發(fā)的產(chǎn)品也無法大量推廣使用。世紀一年代為第二階段 , 可稱為蓬勃發(fā)展階段 , 這一時期 , 計算機技術(shù)、控制技術(shù)、通信技術(shù)的發(fā)展 , 為機電一體化的發(fā)展奠定了堅實的技術(shù)基礎(chǔ)。大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路和微型計算機的迅猛發(fā)展 ,為機電一體化的發(fā)展提供了充分的物質(zhì)基礎(chǔ)。 世紀年代后期 , 開始了機電一體化技術(shù)向智能化方向邁進的新階段 , 機電一體化進人深人發(fā)展時期。一方面 , 光學(xué)、通信技術(shù)等進人了機電一體化 ,微細加工技術(shù)也在機電一體化中嶄露頭腳 , 出現(xiàn)了光機電一體化和微機電一體化等新分支另一方面對機電一體化系統(tǒng)的建模設(shè)計、分析和集成方法 ,機電一體化的學(xué)科體系和發(fā)展趨勢都進行了深入研究。同時 , 由于人工智能技術(shù)、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)及光纖技術(shù)等領(lǐng)域取得的巨大進步 , 為機電一體化技術(shù)開辟了發(fā)展的廣闊天地。這些研究 , 將促使機電一體化進一步建立完整的基礎(chǔ)和逐漸形成完整的科學(xué)體系。使人們有更好的發(fā)展，給人類帶來生活的方便。 機電一體化的發(fā)展趨勢機電一體化是集機械、電子、光學(xué)、控制、計算機、信息等多學(xué)科的交叉綜合 , 它的發(fā)展和進步依賴并促進相關(guān)技術(shù)的發(fā)展和進步。 因此 , 機電一體化的主要發(fā)展方向如下智能化智能化是世紀機電一體化技術(shù)發(fā)展的一個重要發(fā)展方向。人工智能在機電一體化建設(shè)的研究日益獲得重視 , 機器人與數(shù)控機床的智能化就是重要應(yīng)用。這里所說的“ 智能化” 是對機器行為的描述 , 是在控制理論的基礎(chǔ)上 , 吸收人工智能、運籌學(xué)、計算機科學(xué)、模糊數(shù)學(xué)、心理學(xué)、生理學(xué)和混沌動力學(xué)等新思想、新方法 , 模擬人類智能 , 使它具有判斷推理、邏輯思維、自主決策等能力 , 以求得到更高的控制目標。 模塊化是一項重要而艱巨的工程。由于機電一體化產(chǎn)品種類和生產(chǎn)廠家繁多 , 研制和開發(fā)具有標 準機械接口、電氣接口、動力接口、環(huán)境接口的機電一體化產(chǎn)品單元是一項十分復(fù)雜但又是非常重要的事。如研制集減速、智能調(diào)速、電機于一體的動力單元 , 具有視覺、圖像處理、識別和測距等功能的控制單元 , 以內(nèi)蒙古科技大學(xué) 2021 屆機電一體化畢業(yè)論文 5 及各種能完成典型操作的機械裝置。這樣 , 可利用標準單元迅速開發(fā)出新產(chǎn)品 , 同時也可以擴大生產(chǎn)規(guī)模這需要制定各項標準 , 以便各部件、單元的匹配和接口。由于利益沖突 , 近期很難制定國際或國內(nèi)這方面的標準 , 但可以通過組建一些大企業(yè)逐漸形成。顯然 , 從電氣產(chǎn)品的標準化、系列化帶來的好處可以肯定 , 無論是對生產(chǎn)標準機電一體化 單元的企業(yè)還是對生產(chǎn)機電一體化產(chǎn)品的企業(yè) , 規(guī)模化將給機電一體化企業(yè)帶來美好的前程。 網(wǎng)絡(luò)化世紀年代 , 計算機技術(shù)等的突出成就是網(wǎng)絡(luò)技術(shù)。網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的興起和飛速發(fā)展給科學(xué)技術(shù)、工業(yè)生產(chǎn)、政治、軍事、教育、日常生活都帶來了巨大的變革。各種網(wǎng)絡(luò)將全球經(jīng)濟、生產(chǎn)連成一片 , 企業(yè)間的競爭也將全球化。機電一體